[发明专利]半导体装置在审
申请号: | 201410323364.3 | 申请日: | 2014-07-08 |
公开(公告)号: | CN104282651A | 公开(公告)日: | 2015-01-14 |
发明(设计)人: | 山本靖和;宫胁胜巳 | 申请(专利权)人: | 三菱电机株式会社 |
主分类号: | H01L23/488 | 分类号: | H01L23/488;H01L23/498;H01L23/373 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 何立波;张天舒 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
技术领域
本发明涉及一种能够提高产品的品质以及生产率的半导体装置。
背景技术
在光模块、移动电话用功率放大器中,为了提高电气特性和实现小型化,需要进行狭窄相邻安装,即,以狭窄间隔高密度地安装半导体芯片、电容器部件。在当前的安装方法中,通过转印或者滴涂将Ag膏状树脂涂敷在芯片焊盘(die-pad)上,利用自动芯片接合装置使部件载置在该Ag膏状树脂上。另外,还提出了通过导电带安装部件的方法(例如,参照专利文献1的0013至0014段以及图3)。
专利文献1:日本实开平6-21244号公报
在利用Ag膏状树脂进行安装的情况下,Ag膏状树脂从芯片端部和部件端部探出。特别是在狭窄相邻安装中,从两者探出的Ag膏状树脂在狭窄间隙中重合,树脂量变多。因此,Ag膏状树脂爬升至半导体和电子部件的上表面,上表面电极与下表面侧的配线短路。另外,在导电带上安装有流过大电流、发热量大的有源部件的情况下,散热性和电流容量不足,部件可能发生故障。因此,存在产品的品质和生产率降低的问题。
发明内容
本发明就是为了解决上述问题而提出的,其目的在于得到能够提高产品的品质和生产率的半导体装置。
本发明所涉及的半导体装置的特征在于,具有:基板;第1以及第2焊盘,它们相邻地设置在基板上;导电带,其粘贴至所述第1以及第2焊盘,在所述第1焊盘的内侧具有通孔;导电粘结剂,其涂敷在所述通孔内,具有比所述导电带高的热传导率;半导体芯片,其通过所述导电粘结剂安装在所述第1焊盘上;以及电子部件,其通过所述导电带安装在所述第2焊盘上。
发明的效果
通过本发明,能够提高产品的品质和生产率。
附图说明
图1是表示本发明的实施方式所涉及的半导体装置的斜视图。
图2是表示本发明的实施方式所涉及的半导体装置内部的俯视图。
图3是表示本发明的实施方式所涉及的半导体装置的主要部分的剖面图。
图4是表示对比例所涉及的半导体装置的剖面图。
图5是表示对比例所涉及的半导体装置的剖面图。
标号的说明
1基板,2焊盘(第1焊盘),3焊盘(第2焊盘),6导电带,7通孔,8导电粘结剂,9半导体芯片,10电子部件,11下表面电极,13上表面电极,15金属导线
具体实施方式
图1是表示本发明的实施方式所涉及的半导体装置的斜视图。但是,图1中切除一部分而显示出装置内部。图2是表示本发明的实施方式所涉及的半导体装置内部的俯视图。图3是表示本发明的实施方式所涉及的半导体装置的主要部分的剖面图。
基板1为陶瓷材料或者有机材料。在基板1上表面设置有具有焊盘2、3、4以及配线5的电路。焊盘2、3相邻地配置,经由配线5进行连接。为了提高焊接性和导线接合性,在焊盘2、3、4的最表层作为表面处理而实施了镀Au处理。
导电带6粘贴在焊盘2、3上。导电带6是通过加热而硬化并保持接合强度的芯片接合膜等。导电带6在焊盘2的内侧具有通孔7。导电粘结剂8涂敷在通孔7内。导电粘结剂8为Ag膏状树脂(Ag环氧树脂、Ag聚酰亚胺树脂)或者焊料等,具有比导电带6高的热传导率。
半导体芯片9通过导电带6和导电粘结剂8安装在焊盘2上。电子部件10通过导电带6安装在焊盘3上。半导体芯片9是流过大电流、发热量大的有源部件。电子部件10为电容器、电感器、开关等。
在半导体芯片9的下表面设置有下表面电极11,在半导体芯片9的上表面设置有上表面电极12、13。下表面电极11经由导电粘结剂8而与焊盘2连接。通孔7的尺寸比半导体芯片9的外形尺寸略小。由于导电带6具有厚度,因此导电粘结剂8在导电带6的通孔7内,留在下表面电极11与焊盘2之间。
半导体芯片9的上表面电极12经由金属导线14而与焊盘4连接,上表面电极13经由金属导线15而与电子部件10连接。通过树脂16对半导体芯片9、电子部件10、以及金属导线14、15进行了封装。
接下来,与对比例进行比较而说明本实施方式的效果。图4以及图5是表示对比例所涉及的半导体装置的剖面图。在对比例中,在半导体芯片9和电子部件10的安装中仅使用导电粘结剂8。因此,如图4所示,如果使半导体芯片9与电子部件10的间隔变近,则从部件探出的导电粘结剂8爬升至半导体芯片9与电子部件10的上表面,上表面电极13和下表面侧的焊盘2等短路。因此,如图5所示,必须扩大半导体芯片9与电子部件10的间隔。
另一方面,在本实施方式中,利用涂敷在导电带6的通孔7中的导电粘结剂8安装半导体芯片9。半导体芯片9作为盖子起作用,因此,能够防止导电粘结剂8从通孔7泄漏而扩展。因此,能够使半导体芯片9和电子部件10的间隔变近。其结果,能够将产品小型化,由于对部件间进行连接的金属导线15的长度变短,因此电气特性提高。另外,在半导体芯片9的安装中使用具有高热传导率的导电粘结剂8。由此,能够确保散热性和电流容量。其结果,能够提高产品的品质以及生产率。此外,即使通过导电带6对作为非有源部件的电子部件10进行安装,也不会发生问题。
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