[发明专利]一种四边无引脚封装件及其封装工艺、制作工艺有效
申请号: | 201410281990.0 | 申请日: | 2014-06-23 |
公开(公告)号: | CN104167400A | 公开(公告)日: | 2014-11-26 |
发明(设计)人: | 郭桂冠 | 申请(专利权)人: | 苏州日月新半导体有限公司 |
主分类号: | H01L23/495 | 分类号: | H01L23/495;H01L23/31;H01L21/60;H01L21/56 |
代理公司: | 广州市红荔专利代理有限公司 44214 | 代理人: | 张文 |
地址: | 215021 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 四边 引脚 封装 及其 工艺 制作 | ||
技术领域
本发明涉及无引脚封装的加工领域,具体涉及一种四边无引脚封装的封装工艺。
背景技术
QFN是一种无引脚封装,呈正方形或矩形,封装底部中央位置有一个大面积裸露焊盘用来导热,围绕大焊盘的封装外围四周有实现电气连结的导电焊盘。由于QFN封装不像传统的SOIC与TSOP封装那样具有鸥翼状引线,内部引脚与焊盘之间的导电路径短,自感系数以及封装体内布线电阻很低,所以它能提供卓越的电性能。此外,它还通过外露的引线框架焊盘提供了出色的散热性能,该焊盘具有直接散热通道,用于释放封装内的热量。通常将散热焊盘直接焊接在电路板上,并且PCB中的散热过孔有助于将多余的功耗扩散到铜接地板中,从而吸收多余的热量。
无引脚封装的封装工艺有多种,如aQFN框架采用半蚀刻(half etching)工艺后,其框架正面排列着许多规则排列的圆柱状铜凸点(顶面半径在0.230mm左右,高度0.08mm),而aQFN框架背面是一整块铜合金层,在完成后段封裝之后,利用酸性或是碱性溶液对产品背面的铜合金引脚进行选择性蚀刻。MIS工艺采用QFN的双面蚀刻,但提前在背面刷上塑封料(compound),再进行封裝工艺。 MIS 工艺在金属基材上进行引线框的内引脚、外引脚及连接线的金属电镀及蚀刻,而后进行塑封料的预包封,使金属、塑封料等不同材质融入一体。
但上述封装工艺均是逐片操作,加工速度较慢,且上述封装方法由于基本是先封装,然后再进行引脚的镀层处理,则在封装过程中,引脚容易受损或受到氧化,从而对后续生产及使用造成影响,即现有的封装工艺不仅生产效率低下而且不能很好的保护封装件。
发明内容
本发明的目的在于提供的四边无引脚封装的封装工艺,能够提高生产效率,一次性加工两版产品,并且创新的蚀刻工艺能够避免四边无引脚的受损及氧化,大大提高产品使用寿命。
为实现上述目的,本发明公开的技术方案是:一种四边无引脚封装件,包括基板基体,多个引脚内埋于基板基体并凸出于所述基板基体,基板基体上设有IC芯片、多个导线触片,每个引脚凸出于所述基板基体的一端设有阻焊层;所述IC芯片与所述基板基体之间设有阻焊层,所述IC芯片与多个导线触片之间通过键合线相连接;所述IC芯片、引脚设有阻焊层的一端、导线触片、键合线均封装于塑封体内;所述每个引脚的另一端上均电镀有镀镍层或镍球或镀金层或金球。
优选的,所述镀镍层的厚度是0.1mm-0.3mm。
本发明公开了一种四边无引脚封装件的封装工艺,取待封装的四边无引脚芯片结构,所述四边无引脚芯片结构包括基板基体,多个引脚内埋于基板基体并凸出于所述基板基体,基板基体上设有IC芯片、多个导线触片,每个引脚凸出于所述基板基体的一端设有阻焊层;所述IC芯片与所述基板基体之间设有阻焊层,所述IC芯片与多个导线触片之间通过键合线相连接;所述IC芯片、引脚设有阻焊层的一端、导线触片、键合线均封装于塑封体内;所述塑封体位于所述基板基体的一侧,所述基板基体的另一侧封闭有铜层;将所述基板基体上的铜层完全蚀刻,原本被铜层封闭的引脚裸露,在裸露的引脚上做电镀处理。
优选的,所述电镀处理是指在裸露的引脚上电镀锡层或锡球或金层或金球。
所述封装工艺中,优选的,利用含有硫酸、H2O2的混合溶液将基板基体上的铜层完全蚀刻。所述的将基板基体上的铜层完全蚀刻时,是采用含有H2SO4、H2O2 、Cu2+ 的混合溶液进行蚀刻,其中,混合溶液中H2SO4的含量范围是75g/L-125g/L,H2O2 的含量范围是155g/L-205g/L,Cu2+ 的含量范围是10g/L-75g/L。优选的,混合溶液中H2SO4的含量范围是80g/L-120g/L,H2O2 的含量范围是160g/L-200g/L,Cu2+ 的含量范围是15g/L-70g/L。
本发明还公开了一种四边无引脚封装件的制作工艺,包括如下步骤:
步骤a、制作基板基体:取一载板,在载板的两面分别压合铜层,将铜层均蚀刻变薄,在载板两面的铜层上分别电镀铜柱;待铜柱电镀结束后,在载板的两侧均层压基体,基体的外侧镀金属层,载板两面的铜柱均封装于相应的基体内;
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