[实用新型]一种应用于锗单晶生长的供气系统有效
| 申请号： | 201320735964.1 | 申请日： | 2013-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN203613303U | 公开（公告）日： | 2014-05-28 |
| 发明（设计）人： | 王霈文;冯德伸;左建龙 | 申请（专利权）人： | 北京国晶辉红外光学科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/08 | 分类号： | C30B29/08;C30B15/00 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 刘秀青 |
| 地址： | 100088 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 应用于 锗单晶 生长 供气 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种应用于锗单晶生长的供气系统，其特征在于，它包括液氩气源，通过主管道与若干分管道相连通，该些分管道分别连接至单晶炉；
该主管道上设有用于控制液氩气源通断的总阀门；该些分管道上设有分阀门及减压表。
2.根据权利要求1所述的供气系统，其特征在于：所述液氩气源为两个带独立阀门的液氩罐，均连接至所述主管道。
3.根据权利要求2所述的供气系统，其特征在于：该液氩罐设有高压自动放气装置。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的供气系统，其特征在于：所述分阀门为电动球阀。
5.根据权利要求4所述的供气系统，其特征在于：所述电动球阀和所述减压表的两侧各设有一个手动球阀。
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