[发明专利]封装用键合丝及其制备方法在审
申请号: | 201310652526.3 | 申请日: | 2013-12-05 |
公开(公告)号: | CN103681570A | 公开(公告)日: | 2014-03-26 |
发明(设计)人: | 黄崧哲;殷树元 | 申请(专利权)人: | 昆山矽格玛材料科技有限公司 |
主分类号: | H01L23/49 | 分类号: | H01L23/49;H01L21/48;C23C14/16 |
代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人: | 吴开磊 |
地址: | 215334 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 封装 用键合丝 及其 制备 方法 | ||
技术领域
本发明涉及封装领域,具体而言,涉及封装用键合丝及其制备方法。
背景技术
在传统的封装焊接工艺中,常用金含量99.99%以上的纯金线将晶片与导线架焊接,因为黄金的价格逐年攀高,封装金线的成本占比就越来越高,所以目前多采用银合金线、纯银线甚至铜线来取代传统金线。
然而银合金线或者银线在使用过程中自身易被氧化或者被硫化,且在高温高湿的环境下会发生银离子漂移的问题;铜线也因易被氧化,直接造成产品合格率下降。
发明内容
本发明的目的在于提供封装用键合丝及其制备方法,以解决上述的问题。
本发明实施例中提供了一种封装用键合丝,包括中心母线,所述中心母线的外表面镀有钯膜。
本发明实施例中还提供了一种封装用键合丝的制备方法,包括:
A.制备中心母线;
B.采用真空镀的方式,在所述中心母线的外表面镀有钯膜;
C.将镀有所述钯膜的所述中心母线进行多次拉伸;
D.清洗;
E.退火得成品。
本发明实施例提供的封装用键合丝及其制备方法,与现有技术中相比,将中心母线的外表面镀上钯膜后,钯膜能够有效减缓中心母线的氧化,当中心母线中包含银时,能够改善银漂移问题,且镀钯膜方式简单,易操作。
附图说明
图1为本发明实施例1中封装用键合丝的结构示意图;
图2为本发明实施例2中封装用键合丝的结构示意图;
图3为本发明实施例3中封装用键合丝的结构示意图;
图4为本发明实施例4中封装用键合丝的结构示意图;
图5为本发明实施例5中封装用键合丝的结构示意图;
图6为本发明对实施例4中中心母线的银漂移测试图;
图7为本发明对实施例4中封装用键合丝的银漂移测试图。
具体实施方式
下面通过具体的实施例子并结合附图对本发明做进一步的详细描述。
本发明实施例中提供了一种封装用键合丝,包括中心母线,中心母线的外表面镀有钯膜。
本发明实施例中还提供了一种封装用键合丝的制备方法,包括:
A.制备中心母线;
B.采用真空镀的方式,在中心母线的外表面镀有钯膜;
C.将镀有钯膜的中心母线进行多次拉伸;
D.清洗;
E.退火得成品。
将中心母线的外表面镀上钯膜后,钯膜能够有效减缓中心母线的氧化,当中心母线中包含银时,能够改善银漂移问题,且镀钯膜方式简单,易操作。
下面,通过一些具体实施例来详细描述该封装用键合丝:
一种封装用键合丝,包括中心母线,中心母线的外表面镀有钯膜,钯膜能够减缓氧化,且当中心母线中含有银的时候,钯膜能够改善银漂移问题,且电阻率较纯金线相当,电阻率小于3×10-8ΩM。
在钯膜的上面还镀有金膜,镀钯后再镀金能够进一步减缓氧化,硫化的发生速度,并改善银漂移,提高封装用键合丝的实用性。
钯膜的厚度为0.01-0.3微米;金膜的厚度为0.01-0.3微米。原则上,厚度越薄,成本越低。但是也不能够小于0.01微米,因为小于0.01微米后实际使用时抗氧化效果及防范阴离子漂移效果不好。
中心母线的横截面直径为80-200微米。具体数值,在不同的实施例中可以选取不同的值,只要便于后续拉伸至不同直径的成品即可。
中心母线包括以下任一种:金银合金线、铜线;相对传统的金线相比,本发明采用金银合金线能够大幅降低成本,铜线也能够降低成本,且能够直接避免银漂移。
当中心母线包括金银合金时,制备金银合金的金的纯度大于99.99%,银的纯度大于99.99,银的质量百分比含量为80-99.99wt%,金的质量百分比含量为19.99-0.00wt%,金和银的质量百分比之和为99.99%,所含的铋的含量小于30ppm,总杂质含量低于100ppm;控制金、银的纯度,控制杂质含量能够减缓氧化,适当调整金、银的配比,能够制备与传统的封装用键合丝性能相似的金银合金键合丝。
当中心母线包括铜线时,制备铜线的铜为纯度大于99.99%的单晶无氧铜,提高产率,减缓氧化效果。
如下为五个具体实施例:
实施例1:
如图1,中心母线为银线201;镀有钯膜101,膜厚为0.05微米,键合丝的横截面直径为150微米。
实施例2:
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