[发明专利]工件对准装置有效
申请号: | 201280012699.2 | 申请日: | 2012-03-09 |
公开(公告)号: | CN103415919A | 公开(公告)日: | 2013-11-27 |
发明(设计)人: | 麦考林·N·丹尼尔;威廉·T·维弗;查理斯·T·卡尔森 | 申请(专利权)人: | 瓦里安半导体设备公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/68 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 臧建明 |
地址: | 美国麻萨诸塞*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 工件 对准 装置 | ||
1.一种对准装置,包括:
支架;
二轨条,经组态以使工件通过所述轨条之间,所述轨条配置于所述支架上;以及
指状物,由所述支架突出一距离,且所述指状物经组态以配置于用于所述工件的载具上。
2.根据权利要求1所述的对准装置,其中所述工件为太阳能电池。
3.根据权利要求1所述的对准装置,其中所述支架经组态以移动。
4.根据权利要求1所述的对准装置,其中所述轨条由包括聚醚醚酮的材料制造,以及其中所述指状物由包括铁氟龙的材料制造。
5.根据权利要求1所述的对准装置,还包括:臂,连接至所述支架;以及弹簧,介于所述支架与所述臂之间。
6.根据权利要求1所述的对准装置,其中所述工件配置在输送带上,且所述对准装置还包括制动器,所述制动器在第一方向上移动所述支架以远离所述输送带。
7.根据权利要求6所述的对准装置,其中所述支架可在垂直于所述第一方向的第二维度上移动,且所述对准装置还包括介于所述支架与所述制动器之间的弹簧。
8.根据权利要求1所述的对准装置,其中所述指状物定义出角状表面。
9.一种工件承载设备,包括:
输送带;
载具,经组态以支承工件;
支架;
二轨条,配置于所述支架上且分开一距离,所述轨条定位于所述输送带上;以及
指状物,由所述支架突出一段距离,所述指状物经组态以配置于所述载具上。
10.根据权利要求9所述的工件承载设备,其中所述工件为太阳能电池。
11.根据权利要求9所述的工件承载设备,其中所述载具经组态以在平行于所述输送带的平面上移动。
12.根据权利要求9所述的工件承载设备,其中所述轨条由聚醚醚酮的材料制造,以及其中所述指状物由包括铁氟龙的材料制造。
13.根据权利要求9所述的工件承载设备,还包括:臂,连接至所述支架;以及弹簧,介于所述支架与所述臂之间。
14.根据权利要求9所述的工件承载设备,还包括制动器,所述制动器在第一方向上移动所述支架以远离所述输送带。
15.根据权利要求14所述的工件承载设备,其中所述支架可在垂直于所述第一方向的第二维度上移动,且所述工件承载设备还包括介于所述支架与所述制动器之间的弹簧。
16.根据权利要求9所述的工件承载设备,其中所述指状物定义出角状表面。
17.一种对准方法,包括:
将输送带上的多数个工件运送朝向载具;
在第一方向上移动所述载具,使得所述多数个工件配置于所述载具中的多个位置;
于所述移动期间,沿着所述载具运行对准装置的指状物;以及
于所述运行期间,使用所述对准装置在垂直于所述第一方向的平面上将所述多数个工件中的每一个工件对准于所述输送带上。
18.根据权利要求17所述的对准方法,其中所述工件为太阳能电池。
19.根据权利要求17所述的对准方法,还包括在所述第一方向上改变所述对准装置的位置。
20.根据权利要求17所述的对准方法,还包括当所述输送带在卸除所述载具时,在所述第一方向上改变所述对准装置的位置由第一位置到第二位置,以及为了所述运送,将所述对准装置回到所述第一位置。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造