[发明专利]对准装置和对准方法

摘要

本发明提供一种使加工掩模和基板位置对准并且精度高地紧贴的技术。在使在分离的状态下进行了位置对准的加工掩模（31）和基板（32）靠近移动来紧贴时，一边进行位置对准一边进行靠近移动。因此，即使在靠近移动中产生位置对准的误差，也能够消除该误差。即使基板（32）的垂下部分与加工掩模（31）接触，也一边进行位置对准一边进一步进行靠近移动。

主权项

一种对准装置，具有：掩模保持装置，配置有加工掩模；基板支架，配置有加工对象物；水平移动装置，通过使所述掩模保持装置和所述基板支架的任一个或双方移动来改变所述加工掩模与所述加工对象物之间的相对的位置；靠近移动装置，进行所述掩模保持装置和所述基板支架接近的靠近移动；拍摄装置，对配置于所述掩模保持装置的所述加工掩模的掩模对准标记和配置于所述基板支架的所述加工对象物的基板对准标记一起进行拍摄，得到拍摄结果；以及控制装置，控制所述水平移动装置、所述靠近移动装置和所述拍摄装置来工作，所述控制装置求取根据所述拍摄结果得到的所述加工掩模和所述加工对象物的相对的位置与进行了位置对准的状态下的相对的位置之间的误差距离和误差方向，以使所述误差距离变小的方式使所述水平移动装置工作，其中，所述控制装置被设定为一边利用所述靠近移动装置进行所述靠近移动，一边重复进行：拍摄工序，使所述拍摄装置工作来得到所述拍摄结果；误差检测工序，根据所述拍摄结果来求取所述误差距离和所述误差方向；以及移动工序，利用所述水平移动装置以使所述误差距离变小的方式开始所述加工掩模和所述加工对象物的相对移动。