[发明专利]放射线敏感性组合物以及固化膜

权利要求书

1.一种放射线敏感性组合物，其含有：

[A]水解缩合物，该水解缩合物包含由铝、锆、钛、锌和锡构成的群组中选出的至少一种元素和硅；以及

[B]放射线敏感性酸产生剂或放射线敏感性碱产生剂。

2.如权利要求1所述的放射线敏感性组合物，其中[A]成分的水解缩合物含有下述式(1)和式(2)所表示的键，

-Si-X¹-        (1)

式中，X¹为氧、氮或碳，

-M-X²-        (2)

式中，M为铝、锆、钛、锌或锡；X²为氧、氮或碳。

3.如权利要求2所述的放射线敏感性组合物，其中上述元素Si、M、X¹和X²的各电负性χ^Si、χ^M、χ^X1和χ^X2满足以下关系式(3)，

χ^X1-χ^Si＜χ^X2-χ^M            (3)。

4.如权利要求1所述的放射线敏感性组合物，其中[A]成分的水解缩合物含有来自于下述式(4)所表示的水解性化合物的部分，以及来自于下述式(5)所表示的水解性化合物的部分，

(R¹)_n-Si-(OR²)_4-n    (4)

式中，R¹各自独立地为氢或碳原子数为1～20的非水解性有机基团；R²各自独立地为氢、碳原子数为1～6的烷基、碳原子数为1～6的酰基或碳原子数为6～15的芳基；n为0至3的整数，

(R³)_m-M-(OR⁴)_p-m    (5)

式中，M为铝、锆、钛、锌或锡；R³各自独立地为氢或碳原子数为1～20的非水解性有机基团；R⁴各自独立地为氢、碳原子数为1～6的烷基、碳原子数为1～6的酰基或碳原子数为6～15的芳基；p为元素M的价数；m为0至3的整数，p-m≥1。

5.如权利要求4所述的放射线敏感性组合物，其中[A]成分的水解缩合物包含上述式(4)和上述式(5)所表示的水解性化合物的共缩合物。

6.如权利要求1至5任一项所述的放射线敏感性组合物，其放射线敏感性特性为正型。

7.由权利要求1至6任一项所述的放射线敏感性组合物所形成的固化膜。