[发明专利]带有内嵌电容的电阻串分压装置

权利要求书

1.一种带有内嵌电容的电阻串分压装置，所述电阻串分压装置应用于 半导体集成电路晶片中，其特征在于，所述电阻串分压装置包括多于一个的 电阻，所述电阻依次串联形成电阻串；相邻电阻之间有电压输出端，可作为 分压输出连接端；

沿所述电阻串方向有与所述电阻串并行分布的内嵌电容；所述内嵌电容 由三层构成，包括第一极板和第二极板，及间隔两个极板中间的绝缘介电层； 所述电阻串构成所述的内嵌电容的第一极板；第二极板接交流的接地端。

2.根据权利要求1所述的带有内嵌电容的电阻串分压装置，其特征在 于，所述电阻的构成材料包括单晶硅、多晶硅、铜或铝。

3.根据权利要求1所述的带有内嵌电容的电阻串分压装置，其特征在 于，所述内嵌电容的第二极板的构成材料包括单晶硅、多晶硅、铜或铝。

4.根据权利要求1所述的带有内嵌电容的电阻串分压装置，其特征在 于，所述内嵌电容绝缘介电层的构成材料包括氧化硅SiO₂，氮化硅Si₃N₄， 氧化铪HfO₂或氧化锆ZrO₂。

5.根据权利要求1至4任一项所述的带有内嵌电容的电阻串分压装置， 其特征在于，所述绝缘介电层的厚度取值范围为2nm至50nm。