[发明专利]一种过渡金属氧化物p-n异质结及其制备方法无效
申请号: | 200810079980.3 | 申请日: | 2008-12-09 |
公开(公告)号: | CN101419947A | 公开(公告)日: | 2009-04-29 |
发明(设计)人: | 王淑芳;何立平;陈明敬;于威;李晓苇;傅广生 | 申请(专利权)人: | 河北大学 |
主分类号: | H01L23/00 | 分类号: | H01L23/00;H01L21/04;C23C14/28;C23C14/08 |
代理公司: | 石家庄汇科专利商标事务所 | 代理人: | 王 琪 |
地址: | 071002河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 过渡 金属 氧化物 异质结 及其 制备 方法 | ||
1.一种过渡金属氧化物p-n异质结,其特征在于:所述的p-n异质结由p型导电材料铋锶钴氧Bi2Sr2Co2O8和n型导电材料掺铌钛酸锶Sr1-xNbxTiO3构成,其中0.01≥x≥0.004。
2.根据权利要求1所述过渡金属氧化物p-n异质结,其特征在于:所述的Bi2Sr2Co2O8/Sr1-xNbxTiO3p-n异质结是采用脉冲激光沉积在掺铌钛酸锶Sr1-xNbxTiO3基底上外延生长一层铋锶钴氧Bi2Sr2Co2O8薄膜实现的。
3.根据权利要求1所述过渡金属氧化物p-n异质结,其特征在于:所述的铋锶钴氧Bi2Sr2Co2O8薄膜的厚度在0.2-2×10-7m之间。
4.一种根据权利要求1-3任一项权利要求所述过渡金属氧化物p-n异质结的制备方法,其特征包括如下步骤:
A、烧结富Bi的铋锶钴氧Bi2+xSr2Co2O8陶瓷靶材,其中0.2≥x≥0.1;
B、把步骤A烧结的富Bi的铋锶钴氧Bi2+xSr2Co2O8陶瓷靶材装在脉冲激光沉积反应室中的靶托上;
C、将掺铌钛酸锶Sr1-xNbxTiO3基底依顺序用纯度为99.99%的丙酮、酒精、和去离子水超声清洗后,放置在脉冲激光沉积反应室中的加热器上;
D、将反应室真空抽到1×10-3Pa以下,然后将基底温度升至680-730℃,最后向反应室充入40-55Pa纯度为99.99-99.999%的氧气;
E、将基底用脉冲激光沉积反应室中的基底挡板挡住,预沉积1-5分钟,所用激光频率为3-10HZ、激光能量密度为(1.5-2)×104J/m2;
F、去掉基底挡板,开始正式沉积,沉积时间依所需要的薄膜厚度而定为1-10分钟,沉积时激光频率为4Hz,能量密度为(1.5-2)×104J/m2;
G、沉积完毕后,关掉激光器和加热器电源,同时迅速向反应室中充入1×105Pa纯度为99.99-99.999%的氧气,让基底在氧环境下快速降温;
H、待基底温度降到50℃以下,把样品从脉冲激光沉积反应室中取出即得到p型导电材料铋锶钴氧Bi2Sr2Co2O8和n型导电材料掺铌钛酸锶Sr1-xNbxTiO3构成的p-n异质结。
5.根据权利要求4所述过渡金属氧化物p-n异质结的制备方法,其特征在于步骤A所述烧结富B i的铋锶钴氧Bi2+xSr2Co2O8陶瓷靶材包括:
a、将纯度为99.9%以上的Bi2O3、SrCO3和Co3O4粉末按Bi2+XSr2Co2O8化学配比称量,其中0.2≥x≥0.1;
b、将上述粉末混合均匀后放在球磨机中研磨5-10个小时;
C、将研磨好的粉末放在氧化铝坩埚内,然后放人高温炉中进行预烧结。烧结温度为650-700℃,时间为3-10个小时;
d、将烧结好的粉末取出,放在球磨机中研磨3-10个小时,然后压成直径在20-40mm之间,重量为10-20克的小圆饼状,最后将此小圆饼放在高温炉中烧结,烧结温度为860-880℃,时间为10-20个小时。
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