[发明专利]一种过渡金属氧化物p-n异质结及其制备方法无效

专利信息
申请号: 200810079980.3 申请日: 2008-12-09
公开(公告)号: CN101419947A 公开(公告)日: 2009-04-29
发明(设计)人: 王淑芳;何立平;陈明敬;于威;李晓苇;傅广生 申请(专利权)人: 河北大学
主分类号: H01L23/00 分类号: H01L23/00;H01L21/04;C23C14/28;C23C14/08
代理公司: 石家庄汇科专利商标事务所 代理人: 王 琪
地址: 071002河*** 国省代码: 河北;13
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摘要:
搜索关键词: 一种 过渡 金属 氧化物 异质结 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种过渡金属氧化物p-n异质结,其特征在于:所述的p-n异质结由p型导电材料铋锶钴氧Bi2Sr2Co2O8和n型导电材料掺铌钛酸锶Sr1-xNbxTiO3构成,其中0.01≥x≥0.004。

2.根据权利要求1所述过渡金属氧化物p-n异质结,其特征在于:所述的Bi2Sr2Co2O8/Sr1-xNbxTiO3p-n异质结是采用脉冲激光沉积在掺铌钛酸锶Sr1-xNbxTiO3基底上外延生长一层铋锶钴氧Bi2Sr2Co2O8薄膜实现的。

3.根据权利要求1所述过渡金属氧化物p-n异质结,其特征在于:所述的铋锶钴氧Bi2Sr2Co2O8薄膜的厚度在0.2-2×10-7m之间。

4.一种根据权利要求1-3任一项权利要求所述过渡金属氧化物p-n异质结的制备方法,其特征包括如下步骤:

A、烧结富Bi的铋锶钴氧Bi2+xSr2Co2O8陶瓷靶材,其中0.2≥x≥0.1;

B、把步骤A烧结的富Bi的铋锶钴氧Bi2+xSr2Co2O8陶瓷靶材装在脉冲激光沉积反应室中的靶托上;

C、将掺铌钛酸锶Sr1-xNbxTiO3基底依顺序用纯度为99.99%的丙酮、酒精、和去离子水超声清洗后,放置在脉冲激光沉积反应室中的加热器上;

D、将反应室真空抽到1×10-3Pa以下,然后将基底温度升至680-730℃,最后向反应室充入40-55Pa纯度为99.99-99.999%的氧气;

E、将基底用脉冲激光沉积反应室中的基底挡板挡住,预沉积1-5分钟,所用激光频率为3-10HZ、激光能量密度为(1.5-2)×104J/m2

F、去掉基底挡板,开始正式沉积,沉积时间依所需要的薄膜厚度而定为1-10分钟,沉积时激光频率为4Hz,能量密度为(1.5-2)×104J/m2

G、沉积完毕后,关掉激光器和加热器电源,同时迅速向反应室中充入1×105Pa纯度为99.99-99.999%的氧气,让基底在氧环境下快速降温;

H、待基底温度降到50℃以下,把样品从脉冲激光沉积反应室中取出即得到p型导电材料铋锶钴氧Bi2Sr2Co2O8和n型导电材料掺铌钛酸锶Sr1-xNbxTiO3构成的p-n异质结。

5.根据权利要求4所述过渡金属氧化物p-n异质结的制备方法,其特征在于步骤A所述烧结富B i的铋锶钴氧Bi2+xSr2Co2O8陶瓷靶材包括:

a、将纯度为99.9%以上的Bi2O3、SrCO3和Co3O4粉末按Bi2+XSr2Co2O8化学配比称量,其中0.2≥x≥0.1;

b、将上述粉末混合均匀后放在球磨机中研磨5-10个小时;

C、将研磨好的粉末放在氧化铝坩埚内,然后放人高温炉中进行预烧结。烧结温度为650-700℃,时间为3-10个小时;

d、将烧结好的粉末取出,放在球磨机中研磨3-10个小时,然后压成直径在20-40mm之间,重量为10-20克的小圆饼状,最后将此小圆饼放在高温炉中烧结,烧结温度为860-880℃,时间为10-20个小时。

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