[发明专利]蓝宝石基材及其制备方法有效
| 申请号： | 200780048793.2 | 申请日： | 2007-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN101600820A | 公开（公告）日： | 2009-12-09 |
| 发明（设计）人： | B·V·塔尼克拉;M·A·辛普森;P·钦纳卡鲁潘;R·A·瑞祖托;I·K·切瑞安;R·维丹瑟姆 | 申请（专利权）人： | 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/20 | 分类号： | C30B29/20 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 张宜红;王 颖 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蓝宝石 基材 及其 制备 方法 | ||
1.一种蓝宝石基材，其包括：
大致平坦的表面，其具有选自a-平面、r-平面、m-平面和c-平面取向 的晶体取向，nTTV不大于0.037μm/cm2，其中nTTV是相对于大致平坦的 表面的表面积进行标准化之后的总厚度变化，基材的直径不小于9.0cm，所 述基材的n-翘曲度不大于0.190μm/cm2，其中n-翘曲度是相对于大致平坦 表面的表面积进行标准化之后的基材翘曲度。
2.如权利要求1所述的蓝宝石基材，其特征在于，nTTV不大于0.035 μm/cm2。
3.如权利要求1所述的蓝宝石基材，其特征在于，所述大致平坦的 表面的粗糙度Ra不大于
4.如权利要求1所述的蓝宝石基材，其特征在于，所述基材的n-平 坦度不大于0.100μm/cm2，其中n-平坦度是相对于大致平坦表面的表面积 进行标准化之后的大致平坦表面的平坦度。
5.如权利要求1所述的蓝宝石基材，其特征在于，所述基材的n-弯 曲度不大于0.100μm/cm2，其中n-弯曲度是相对于大致平坦表面的表面积 进行标准化之后的基材弯曲度。
6.如权利要求1所述的蓝宝石基材，其特征在于，所述蓝宝石基材 的大致平坦的表面的位错密度不大于1E8/cm2。
7.如权利要求1所述的蓝宝石基材，其特征在于，所述大致平坦的 表面的表面积不小于70cm2。
8.如权利要求1所述的蓝宝石基材，其特征在于，所述基材的直径不 小于10.0cm。
9.一种蓝宝石基材，其包括：
大致平坦的表面，其具有选自a-平面、r-平面、m-平面和c-平面取向 的晶体取向，TTV不大于3.00μm，其中TTV是大致平坦的表面的总厚度 变化，基材的n-翘曲度不大于0.190μm/cm2，其中n-翘曲度是相对于大致 平坦表面的表面积进行标准化之后的基材翘曲度，基材的直径不小于9.5 cm，厚度不大于525μm。
10.如权利要求9所述的蓝宝石基材，其特征在于，厚度不大于500 μm。
11.如权利要求9所述的蓝宝石基材，其特征在于，所述大致平坦的 表面的粗糙度Ra不大于
12.如权利要求9所述的蓝宝石基材，其特征在于，所述基材的n- 平坦度不大于0.100μm/cm2，其中n-平坦度是相对于大致平坦表面的表面 积进行标准化之后的大致平坦表面的平坦度。
13.如权利要求12所述的蓝宝石基材，其特征在于，所述表面积不 小于70cm2。
14.一种蓝宝石基材，其包括：
大致平坦的表面，其具有选自a-平面、r-平面、m-平面和c-平面取向 的晶体取向，nTTV不大于0.032μm/cm2，其中nTTV是相对于大致平坦的 表面的表面积进行标准化之后的总厚度变化，所述基材的直径不小于9.0 cm，所述基材的n-翘曲度不大于0.190μm/cm2，其中n-翘曲度是相对于大 致平坦表面的表面积进行标准化之后的基材翘曲度。
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