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[发明专利]一种面向服装面料的静电吸附力建模方法-CN202011243891.5有效
发明人：李新荣;刘汉邦;刘立东;冯文倩 -专利权人：天津工业大学
申请日： 2020-11-10 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： G06F30/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种面向服装面料的静电吸附力建模方法，属于织物静电吸附力检测领域，该方法包括：建立织物结构单元模型；计算织物相对介电常数；建立织物静电吸附力模型，把织物模型的对应参数和计算的相对介电常数带入织物静电吸附力模型，并用商业数学软件计算静电吸附力。本发明结合织物的结构参数和织物的介电特性，建立的一种面向服装面料的静电吸附力模型，可以有效预测电场对不同服装面料所产生的静电吸附力的大小，并应用椭圆表示织物的针编弧和沉降弧，与实际的织物更为接近，能够充分反应织物的结构参数对静电吸附力大小的影响
一种面向服装面料静电吸附力建模方法

[发明专利]一种多层纤维织物的抓取方法、系统及其收卷方法-CN201911320523.3有效
发明人：谈源;陈玉祥;刘勇俊;陈香伟;何小伟;王志强;钮青 -专利权人：常州市新创智能科技有限公司
申请日： 2019-12-19 - 公布日： 2020-12-25 - 主分类号： B65H19/28 文献下载
摘要：本发明涉及纤维织物生产技术领域，具体涉及一种多层纤维织物的抓取方法，包括以下步骤：对纤维织物的种类进行识别；通过静电对多层纤维织物的最顶层进行吸附，其中，静电的初始吸附力根据纤维织物的种类不同进行调整；通过静电所吸附的顶层纤维织物抬高，且在抬高的过程中静电吸附端向后移动；移动至设定位置后增大静电的吸附力，获得工作吸附力；在工作吸附力的吸附下将顶层织物移动至收卷位置。在本发明中，静电的吸附相对于真空吸盘的吸附可以忽略纤维织物上所存在的孔隙，整个吸附过程中吸附力稳定且可靠，不存在真空吸附过程中的泄压情况，因此可在纤维织物移动过程中达到更为精准的位置要求。
一种多层纤维织物抓取方法系统及其

[发明专利]静电卡盘装置及晶片静电吸附方法-CN202010388706.5在审
发明人：蒋志超;罗兴安;胡淼龙;张春雷;王林 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2020-05-09 - 公布日： 2020-08-14 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：公开了静电卡盘装置及晶片静电吸附方法。该静电卡盘装置包括承载盘，承载盘的表面上设置有多个加热元件，晶片位于多个加热元件的表面上；吸附电极，位于承载盘的内部，吸附电极上施加有吸附电压以产生与晶片之间的吸附力；多个力传感器，位于承载盘的内部且邻近多个加热元件，多个力传感器测量多个加热元件上的多个吸附力；以及控制器，与多个力传感器相连接以获得多个吸附力，与吸附电极相连接以提供吸附电压，控制器根据多个吸附力的值调节吸附电压。本申请的静电卡盘装置在承载台内部设置了多个力传感器，根据采集到的吸附力来对吸附电压进行动态调整，使得静电卡盘装置可以根据晶片的翘曲变化动态改变吸附电压，从而补偿晶片的翘曲。
静电卡盘装置晶片吸附方法

[发明专利]真空贴合设备与基板贴合方法-CN201510578374.6在审
发明人：钟小华;杨柳 -专利权人：武汉华星光电技术有限公司
申请日： 2015-09-11 - 公布日： 2015-11-25 - 主分类号： B32B37/10 文献下载
摘要：本发明提供一种真空贴合设备及基板贴合方法，通过将真空贴合设备的上夹持装置分为多个区块单元，其中每个区块单元包括一静电吸附模块与设于该静电吸附模块上的压力感应传感器，所述压力感应传感器可监测相应的区块单元与上基板之间的静电吸附力，并且在监测到该静电吸附力低于规定值时反馈给控制单元，所述控制单元通过增加静电压来提高该区块单元与上基板之间的吸附力，防止真空贴合过程因静电吸附力不足导致上基板提前掉落的问题，同时对静电吸附模块上的静电压进行监控，防止静电吸附电极被击穿，提升真空贴合的成功率，降低生产成本。
真空贴合设备方法

[发明专利]一种仿鱼鳍结构的静电吸附式软体抓手-CN201711135772.6有效
发明人：陈锐;宋瑞洲;陈来;柏龙;江沛 -专利权人：重庆大学
申请日： 2017-11-16 - 公布日： 2020-11-03 - 主分类号： B25J15/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种仿鱼鳍结构的静电吸附式软体抓手，包括软体抓手本体和静电吸附电极，所述静电吸附电极为柔性电极并贴附固定于软体抓手本体的抓握面；所述软体抓手本体为鳍条式抓手，该结构可实现对物体的自适应包覆式紧密贴合，通过给静电吸附电极施加电压能使软体抓手与被吸附物体表面之间产生静电吸附力。将软体抓手与静电吸附技术结合在一起，既能依靠静电吸附力来吸附物体，又能依靠软体抓手对物体的表面紧密贴合产生的夹持力来抓取物体，达到同时运用夹持力和静电吸附力来抓取物体，实现对不同形状大小物体的适应性抓取
一种鱼鳍结构静电吸附软体抓手

[发明专利]晶圆键合方法及晶圆键合设备-CN202110571780.5在审
发明人：吴星鑫 -专利权人：武汉新芯集成电路制造有限公司
申请日： 2021-05-25 - 公布日： 2021-08-24 - 主分类号： H01L21/18 文献下载
摘要：本发明提供一种晶圆键合方法及晶圆键合设备，晶圆键合方法包括：将静电吸附卡盘通过静电吸附力吸附上晶圆，下晶圆固定在下卡盘，并将上晶圆和下晶圆对准；将静电吸附卡盘的顶针下压上晶圆的中心区域，使上晶圆向下弯曲并与下晶圆的中心区域接触；调整静电吸附力的大小，使上晶圆在其重力和静电吸附力作用下逐步脱离静电吸附卡盘，并与下晶圆键合。通过静电吸附卡盘吸附上晶圆，在上晶圆下落与下晶圆键合的过程中，通过调整静电吸附力的大小，使上晶圆在其重力和静电吸附力作用下逐步脱离静电吸附卡盘，实现上晶圆下落过程中工艺可控，键合波由中心向四周扩展不受影响，完成晶圆键合；同时减小真空卡盘真空吸附方式对晶圆造成的扭曲。
晶圆键合方法设备

[发明专利]一种负压和静电复合的仿生机器人吸附装置及方法-CN201810616768.X在审
发明人：刘永;黄呈伟;刘彧菲 -专利权人：南京理工大学
申请日： 2018-06-15 - 公布日： 2018-11-23 - 主分类号： B64C27/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种负压和静电复合的仿生机器人吸附装置及方法。该装置包括三层顺次设置的静电膜、弹性膜、弹性压板，弹性膜为整个吸附装置提供柔性和支撑；弹性压板一侧设置静电发生模块、单向阀体、链接管、真空泵，静电膜一侧设置吸盘；吸盘设置于静电膜中央，吸盘的底部固定在弹性压板上该方法为：静电发生模块固定在弹性压板上，静电膜利用静电发生模块产生的高压静电提供静电吸附力，并且为吸盘提供密封，获得更大的负压吸附力；负压吸附在产生负压吸附力的同时，进一步缩短静电膜与被吸附物体的距离，获得更大的静电吸附力。
静电膜吸盘弹性压板静电发生吸附装置接管仿生机器人负压吸附力静电吸附力单向阀体静电弹性膜真空泵负压复合负压吸附高压静电模块固定吸盘设置三层吸附密封粗糙栖息支撑

[发明专利]燃料电池的电极组件及其制备方法-CN201911407806.1有效
发明人：艾勇诚;潘牧;宛朝辉;刘昌伟;艾波;周涛 -专利权人：武汉理工氢电科技有限公司
申请日： 2019-12-31 - 公布日： 2021-03-23 - 主分类号： H01M4/86 文献下载
摘要：该燃料电池的电极组件包括：膜层，以及与膜层贴合且可脱离的静电辅助膜，使膜层和静电辅助膜连接的静电吸附力和真空吸附力；膜层和静电辅助膜通过静电吸附力和真空吸附力连接以使膜层能够与静电辅助膜无损地分离；其中通过上述设置增加了膜层的机械强度和尺寸稳定性，从而能实现有效抓取、输送以及卷对卷输送，同时脱离静电辅助膜时，又不会粘走膜层表面的催化剂及损伤膜层，保证膜层品质佳。
燃料电池电极组件及其制备方法

[发明专利]一种静电吸附搬运方法及设备-CN202310757710.8在审
发明人：温燕修;刁红涛;张均龙;王韫;吕光 -专利权人：海目星激光科技集团股份有限公司
申请日： 2023-06-26 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： B65H5/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种静电吸附搬运方法及设备，采用两个上下交错静电吸附皮带，所述静电吸附皮带的表面具有静电吸附力以吸附极片，静电吸附皮带运行时极片随皮带表面移动进行输送，当极片移动至另一个静电吸附皮带的正下方时，通过一吹气组件将极片吹起上浮，然后被吸附至另一个静电吸附皮带上。本发明通过静电吸附皮带上产生的静电吸附力对极片进行吸附，相比于现有的真空吸附来说，不存在皮带与负压腔间因负压产生的摩擦力，因此可极大降低电机负载，能耗较低，同时也避免了真空吸附时产生的噪音。另外，通过吹气组件产生正压吹气使极片与吸附面分离，隔断静电吸附力，从而实现极片快速交接，从而提高极片的输送速度。
一种静电吸附搬运方法设备

[发明专利]用于处理腔室载具的静电吸附力测量工具-CN201780072686.7在审
发明人：斯里尼瓦斯·D·内曼尼;高塔姆·皮莎罗蒂;塞沙德里·拉马斯瓦米;尚布休·N·罗伊;尼兰詹·库马尔 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2017-11-06 - 公布日： 2019-07-19 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：描述静电吸附力工具，所述静电吸附力工具可在工件载具上使用以用于微机械和半导体处理。一个范例包含工件配件，用于在被静电吸盘的静电吸附力抓取时保持工件；臂，所述臂耦合至所述工件配件以经由所述工件配件牵引所述工件侧向地跨过所述吸盘；和测力计，所述测力计耦合至所述臂以测量所述工件配件被所述臂牵引以移动所述工件所使用的力的量
静电吸附力配件耦合测力计载具牵引测量吸盘抓取半导体处理处理腔室静电吸盘侧向地微机械跨过移动

[发明专利]静电吸附体-CN201980050356.7在审
发明人：金子大树;辰己良昭;平野信介 -专利权人：创意科技股份有限公司
申请日： 2019-08-01 - 公布日： 2021-03-16 - 主分类号： B65H5/00 文献下载
摘要：提供一种静电吸附体，利用电性吸附力，同时特别是对布等绝缘性高的片状的被吸附物可表现出高吸附力。本发明的静电吸附体以静电吸附力吸附被吸附物，其特征在于包括：层叠片，依次层叠有厚度20μm～200μm的绝缘体、厚度1μm～20μm的电极层、及厚度20μm～200μm的树脂膜；以及电源装置，对所述电极层施加电压10Ω·cm～1×1013Ω·cm，且所述电极层包含具有正电极及负电极的双极型电极，通过对所述电极层施加电压所产生的静电吸附力，而将所述树脂膜作为吸附面来吸附被吸附物。
静电吸附

[发明专利]一种应用于蚀刻机静电吸盘的控制方法及供电电源-CN202111344220.2在审
发明人：李佳 -专利权人：华科电子股份有限公司
申请日： 2021-11-15 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供了一种应用于蚀刻机静电吸盘的控制方法及供电电源，根据晶圆的额定规格数据，进行晶圆电荷检测演示操作，预估晶圆承载负电荷的阈值；基于所述阈值，检测晶圆实际负电荷含量值，通过电荷量分析计算，获取晶圆负电荷产生的吸附力数据；根据所述吸附力数据，提取吸附力控制参数，基于所述吸附力控制参对静电吸盘的正电荷含量值进行调控，获取调控结果；根据所述调控结果，将静电吸盘的正电荷量与晶圆的负电荷量进行等量匹配，控制静电吸盘操作晶圆进行蚀刻作业，本发明可以控制静电吸盘吸附晶圆的从而完成精确的蚀刻工作，并且因为静电吸盘和晶圆之间适配的正负电荷进行紧密吸附可以保证蚀刻设备和操作人员的安全。
一种应用于蚀刻静电吸盘控制方法供电电源

[实用新型]一种关于静电吸附的实验室物理研究装置-CN201920694166.6有效
发明人：于新天 -专利权人：于新天
申请日： 2019-05-16 - 公布日： 2020-02-14 - 主分类号： G09B23/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种涉及物理技术领域的关于静电吸附的实验室物理研究装置，包括底座，底座的上端安装有操作台，操作台上设有转动装置，转动装置通过转轴连接底座的电机，转动装置上固定安装有静电棒及通过静电作用吸附于静电棒端头的吸附片，电机连接安装在底座上用于控制其转速的继电器组件和检测其转速的电机转速测量装置，该装置通过设置转动装置及相关转速检测结构，利用离心力与吸附力的作用力与反作用力检测静电吸附作用力的大小，对吸附力进行计算，实现实验室内对静电吸附力大小的研究，有利于为静电吸附的进一步研究提供数据支撑，本实用新型结构简单、实用性强、易于使用和推广。
转动装置底座静电吸附本实用新型静电棒吸附力电机转速测量装置操作台物理技术领域继电器组件静电吸附力电机连接反作用力静电作用数据支撑物理研究转速检测转轴连接上端吸附片检测端头吸附电机室内研究

[发明专利]一种静电吸附力测试平台及其测力方法-CN201810894782.6有效
发明人：陈锐;张卓;宋瑞洲 -专利权人：重庆大学
申请日： 2018-08-08 - 公布日： 2020-09-29 - 主分类号： G01L5/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种静电吸附力测试平台及其测力方法，包括平台底座、基底板、基底框架、十字形滚珠丝杠驱动装置、静电吸附膜和吸附膜支架以及配套的控制采集界面窗口；所述基底框架和十字形滚珠丝杠驱动装置均安装于平台底座，基底板竖立安装于基底框架；所述吸附膜支架安装于十字形滚珠丝杠驱动装置，通过所述十字形滚珠丝杠驱动装置驱动吸附膜支架沿基底板的切向和法向移动；所述静电吸附膜布置于吸附膜支架并且与基底板平行；本发明的一种静电吸附力测试平台及测力方法，能够在同一平台上分别准确便捷地测量得到静电吸附膜的法向和切向静电吸附力，测量过程合理，测量准确。
一种静电吸附力测试平台及其测力方法

[发明专利]半导体设备及提高静电吸盘吸附晶圆能力的方法-CN201910426711.8在审
发明人：贾超超;刘佑铭 -专利权人：芯恩（青岛）集成电路有限公司
申请日： 2019-05-22 - 公布日： 2020-11-24 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体设备及提高静电吸盘吸附晶圆能力的方法，半导体设备包括：静电吸盘，用于吸附晶圆；光源，用于将发射的光线照射于吸附在静电吸盘上的晶圆上，以增大晶圆内载流子的浓度，从而增大静电吸盘对所述晶圆的吸附力本发明的半导体设备通过设置光源对吸附于静电吸盘上的晶圆进行照射，可以增大晶圆内部的载流子浓度，从而增大静电吸盘与晶圆接触的吸附点的电流，从而增大静电吸盘对晶圆的吸附力。
半导体设备提高静电吸盘吸附能力方法

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