“创意科技股份有限公司”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果22个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]静电吸着体以及具备所述吸着体的机器人手臂-CN202180066436.9在审
发明人：吕柯慧;辰己良昭;平野信介 -专利权人： 创意科技股份有限公司
申请日： 2021-09-22 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： B25J15/06 文献下载
摘要：本发明提供一种静电吸着体，耐久性优异，且能够通过静电力实现对被吸着物的更可靠的吸着、握持。一种静电吸着体以及具备所述吸着体的机器人手臂，其中所述静电吸着体的特征在于包括至少依次层叠有第一软质高分子有机物、电极及第二软质高分子有机物的层叠片，以及对所述电极施加电压的电源装置，且使用对所述电极施加电压而产生的静电力，使所述任意软质高分子有机物作为接触面来吸着握持被吸着物，所述第一软质高分子有机物和/或第二软质高分子有机物的拉伸弹性模量为1MPa以上且不到100MPa，并且体积电阻率为1×108Ω·cm～1×1013Ω·cm，电极为经导电处理的纤维结构物。
静电吸着以及具备机器人手臂

[发明专利]着脱装置-CN202080052475.9在审
发明人：尾沢胜 -专利权人： 创意科技股份有限公司
申请日： 2020-08-31 - 公布日： 2022-03-04 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供一种着脱装置，其利用静电吸盘方式，且即便为厚度薄的工件，工件着脱的响应性也优异。一种着脱装置，能够进行工件的吸附与脱离，其特征在于，所述着脱装置包括：可加工陶瓷层；密接活化层，设置于所述可加工陶瓷层上；电极层，设置于所述密接活化层上；以及介电质层，设置于所述电极层上，所述电极层由所述密接活化层与所述介电质层被覆，且所述介电质层的体积电阻率为109Ω·cm～1012Ω·cm。
装置

[发明专利]洗净装置-CN201980055806.1在审
发明人：辰己良昭;平野信介;多原主哲 -专利权人： 创意科技股份有限公司
申请日： 2019-08-23 - 公布日： 2021-04-09 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明提供一种洗净装置，可抑制真空状态下的静电吸附力的减少，并去除半导体制造装置的真空处理室内的异物。所述洗净装置包括：异物吸附部4，在绝缘体的内部设置有包含一对电极的吸附电极3；以及吸附控制部5，将控制开关接通来使所述吸附电极带电，使绝缘体的表面显现静电吸附力而可吸附异物；且所述吸附控制部5的控制开关是可进行外部操作的远程操作型的开关，针对在真空状态下被封闭的真空封闭空间内的所述洗净装置，将控制开关接通，由此可通过在真空状态下显现的静电吸附力来去除真空处理室内的异物。
洗净装置

[发明专利]静电吸附体-CN201980050356.7在审
发明人：金子大树;辰己良昭;平野信介 -专利权人： 创意科技股份有限公司
申请日： 2019-08-01 - 公布日： 2021-03-16 - 主分类号： B65H5/00 文献下载
摘要：提供一种静电吸附体，利用电性吸附力，同时特别是对布等绝缘性高的片状的被吸附物可表现出高吸附力。本发明的静电吸附体以静电吸附力吸附被吸附物，其特征在于包括：层叠片，依次层叠有厚度20μm～200μm的绝缘体、厚度1μm～20μm的电极层、及厚度20μm～200μm的树脂膜；以及电源装置，对所述电极层施加电压；至少所述树脂膜的拉伸弹性系数为1MPa以上且未满100MPa，并且其体积电阻率为1×1010Ω·cm～1×1013Ω·cm，且所述电极层包含具有正电极及负电极的双极型电极，通过对所述电极层施加电压所产生的静电吸附力，而将所述树脂膜作为吸附面来吸附被吸附物。
静电吸附

[发明专利]吸着垫-CN201980021754.6在审
发明人：辰己良昭;平野信介;坪井和树;金子大树 -专利权人： 创意科技股份有限公司
申请日： 2019-03-14 - 公布日： 2020-11-10 - 主分类号： A61B5/0408 文献下载
摘要：本发明提供一种能够通过电性吸着力而吸着及保持于人体的皮肤等被吸着物上的吸着垫。一种吸着垫，吸着于被吸着物而使用，所述吸着垫的特征在于包括：层叠薄片，依次层叠有厚度20μm～200μm的第一树脂薄膜、厚度1μm～20μm的电极层、及厚度20μm～200μm的第二树脂薄膜；以及电源装置，对所述电极层施加电压；且至少所述第二树脂薄膜的拉伸弹性模量为1MPa以上且未满100MPa，并且其体积电阻率为1×1010Ω·cm～1×1013Ω·cm，通过对所述电极层施加电压而产生的电性吸着力，可使所述第二树脂薄膜作为吸着面，吸着于被吸着物。
吸着

[发明专利]自由装卸型的发电装置-CN201280013127.6有效
发明人：辰己良昭;河合慈;森山纮行;菅原利文 -专利权人： 创意科技股份有限公司
申请日： 2012-03-14 - 公布日： 2013-12-11 - 主分类号： H01L31/042 文献下载
摘要：提供一种自由装卸型的发电装置，能够简便地变更设置位置，能够有效地使用太阳能电池进行发电。本发明的自由装卸型的发电装置，具备薄膜状的太阳能电池和对设置场所的安装对象物自由装卸该薄膜状太阳能电池的装卸单元，该发电装置的特征在于：上述装卸单元由粘接薄膜或者静电吸盘构成，该粘接薄膜具有表现出范德华力而能够进行反复的粘接的装卸面，该静电吸盘通断连接到夹在两个绝缘层之间的吸附电极的电源，在至少一个绝缘层的表面自由地表现出静电吸附力，从而形成装卸面。
自由装卸发电装置

[发明专利]工件加热装置及工件处理装置-CN201180062765.2有效
发明人：辰己良昭;河合慈;天满康之;菅原利文 -专利权人： 创意科技股份有限公司
申请日： 2011-12-20 - 公布日： 2013-09-04 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明涉及一种工件加热装置及使用其的工件处理装置，能够通过高的均热性对工件进行加热，并且能够进行精细的温度控制，而且，能够防止卡盘部件的变形等，并能够长期可靠性良好地进行使用。一种工件加热装置，层叠卡盘部件和加热器部件，能够由加热器部件加热被吸附在卡盘部件侧的工件，该卡盘部件具有工件吸附用的工件吸附电极，该加热器部件具有工件加热用的发热体，其中，加热器部件在与卡盘部件相对的面和发热体之间具有吸附卡盘部件的卡盘吸附电极，而能够拆装地层叠卡盘部件和加热器部件，并将该工件加热装置载置在基础底座上。
工件加热装置处理

[发明专利]静电吸附构造体及其制造方法-CN201080028921.9有效
发明人：藤泽博;河合慈;辰己良昭 -专利权人： 创意科技股份有限公司
申请日： 2010-06-29 - 公布日： 2012-05-23 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供一种电气地吸附被吸附物而使用的静电吸附构造体、并且在使用时紧固的一体构造被维持并在使用之后可以自由地变更构造体的结构的静电吸附构造体及其制造方法。具有在2个电介体之间夹入了电极的多个片部件、和至少1个吸附电源，层叠多个片部件并通过吸附电源向对向的片部件的电极之间施加电压，从而使对向的片部件之间电气地吸附固定，并且使被吸附物吸附到表面最外层或者背面最外层处的片部件中的某一方或者两方的最外层片部件的电介体而使用，在使用之后，如果解除施加电压，则可以使层叠了的片部件相互分离，并且，通过固定单元使多个片部件一边相互对位一边层叠，从而可靠地并且简便地得到这样的静电吸附构造体。
静电吸附构造及其制造方法

[发明专利]具有间隔物的静电吸盘-CN201110102505.5有效
发明人：朴龙雄;辰巳良昭;宫下欣也 -专利权人： PMT有限公司;创意科技股份有限公司
申请日： 2011-04-21 - 公布日： 2011-11-09 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明涉及吸盘表面上形成有多个间隔物的静电吸盘，沿吸盘表面边缘形成有堤部，并将由堤部围成的空间内从吸盘表面突出的多个间隔物通过机械加工成形为角锥或圆锥形状。本发明的静电吸盘，通过使间隔物的末端形成为尖的形状，来使被吸附物，即基板和间隔物之间的接触部分最小化，以使冷却剂，即He气体均匀地供给到整个被吸附物表面，并且通过机械加工来形成间隔物，具有可提高间隔物耐久性的效果。
具有间隔静电吸盘

[发明专利]静电卡盘的检查方法以及静电卡盘装置-CN200980141492.3有效
发明人：藤泽博 -专利权人： 创意科技股份有限公司
申请日： 2009-10-19 - 公布日： 2011-09-14 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：提供一种能够判别在双极型静电卡盘内的哪个吸附电极的周边在静电电容中发生异常的方法以及装置。在该检查方法中，在静电卡盘(4)的电介质(6)内设有正辅助电极(12)、负辅助电极(14)，并将它们与接地电位部连接。而且，测量在没有载置被吸附物(2)的状态下从卡盘电源(26)向静电卡盘(4)施加或者断开的直流电压+V、-V时的、流过吸附电极(8、10)、辅助电极(12、14)的电流I1～I4的瞬态电流，并且算出电流I5(＝I1-I2或者I3-I4)的瞬态电流，将所得到的瞬态电流分别与规定的基准值进行比较，判定静电卡盘(4)内的静电电容的异常。
静电卡盘检查方法以及装置

[发明专利]静电吸盘及其制造方法-CN200980141296.6有效
发明人：辰巳良昭;藤田隆仁;天满康之;藤泽博 -专利权人： 创意科技股份有限公司
申请日： 2009-10-13 - 公布日： 2011-09-14 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：提供一种静电吸盘，能够减少从基板吸附面向基板的污染物附着，能够最优地保持基板的接触面积并且高效地进行经由静电吸盘的冷却。该静电吸盘将由弹性材料构成的具备多个凸部的弹性吸附层设为基板吸附面，并经由该弹性吸附层来吸附/保持基板，当将弹性吸附层中的凸部的高度设为h(m)，将基板吸附面中的单位面积上的凸部的数量设为n(个/m2)，将凸部中的顶面的面积设为A(m2)，形成凸部的弹性材料的弹性率设为E(Pa)，以吸附力F(Pa)来吸附/保持整体的平整度为Wh(m)的基板时，在吸附力F作用的方向上凸部收缩的量δ(m)满足下述关系式(1)，且基板吸附面中的单位面积上的凸部顶面的总面积的比例ξ为10％以上，5Wh≥δ≥0.5Wh，δ＝(h/nA)·(F/E)…(1)。
静电吸盘及其制造方法

[发明专利]双面吸附结构体以及使用了它的展示/告示装置、集尘装置、以及植物育成装置-CN200980136276.X有效
发明人：辰己良昭;藤泽博;河合慈 -专利权人： 创意科技股份有限公司
申请日： 2009-09-10 - 公布日： 2011-08-17 - 主分类号： H02N13/00 文献下载
摘要：本发明提供一种双面吸附结构体，能够极为容易地反复使用，没有材料浪费等问题，而且也没有能量问题、并且能够应用于展示/告示装置、集尘装置等各种用途。该双面吸附结构体具备：静电吸盘部(2)，具有由绝缘材料形成为平板状且具有表背两面的电介质(3)、以及埋设于该电介质的内部的内部电极(4)，在对上述内部电极(4)施加了电压时上述电介质的表背两面分别成为吸附面；以及电源部(5)，对上述静电吸盘部(2)的内部电极施加电压，其中，上述电源部(5)具备太阳能电池(6)、和对由该太阳能电池(6)发出的电力进行升压的升压电路(7)。另外，本发明是具备使用该双面吸附结构体形成的展示/告示用的显示单元的展示/告示装置，本发明是具备使用该双面吸附结构体形成的集尘单元的集尘装置，而且本发明是使用该双面吸附结构体形成的植物育成装置。
双面吸附结构以及使用展示告示装置集尘植物育成

[发明专利]静电吸盘-CN200980136283.X有效
发明人：辰己良昭;藤泽博 -专利权人： 创意科技股份有限公司
申请日： 2009-09-14 - 公布日： 2011-08-17 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：提供一种电力自给型的静电吸盘(8)，能够在基板的处理中进行发电并且供给吸附电极(3)所使用的电力。该静电吸盘(8)在产生光能而处理基板的基板处理装置(11)中吸附保持基板，其特征在于，具有：具备吸附电极(3)的电极片(5)、在上表面侧层叠电极片(5)的金属基盘(1)、得到供给吸附电极(3)的电力的内部电源、以及对由内部电源得到的电力的电压进行升压的升压电路(7)，内部电源为太阳能电池(6)，在基板的处理中将光能转换为电力而使电极片(5)吸附保持基板。
静电吸盘

[发明专利]静电吸盘装置和基片的吸附状态判断方法-CN200980134448.X无效
发明人：藤泽博 -专利权人： 创意科技股份有限公司
申请日： 2009-08-26 - 公布日： 2011-08-03 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供具有能够迅速且正确地把握基片的吸附状态的吸附判断单元的静电吸盘装置，并提供能够迅速且正确地把握静电吸盘装置中的基片的吸附状态的基片的吸附状态判断方法。该静电吸盘装置在金属基盘的上表面侧具有吸附基片的静电吸盘，其特征在于：具有用来判断基片的吸附状态的吸附判断单元。该基片的吸附状态判断方法是在静电吸盘装置中判断基片的吸附状态的方法，该静电吸盘装置在金属基盘的上表面侧具有吸附基片的静电吸盘，其特征在于：利用热流束传感器得到通过静电吸盘传递的来自基片的热流，从而判断基片的吸附状态。
静电吸盘装置吸附状态判断方法

[发明专利]双极型静电卡盘-CN200980126286.5无效
发明人：藤泽博;辰己良昭 -专利权人： 创意科技股份有限公司
申请日： 2009-06-30 - 公布日： 2011-06-08 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供一种施加电压时的基板吸附性优良并且停止施加电压时的残余电荷的减少性优良的双极型静电卡盘。该双极型静电卡盘是至少具备具有第一以及第二电极的电极层、形成吸附基板的基板吸附面的上部绝缘层的双极型静电卡盘，当将电极层的表面相对于xy方向分割为具有规定的宽度L的多个假想单元的情况下，形成第一电极的第一电极部和形成第二电极的第二电极部相对于x方向的假想单元交替排列地配置，并且相对于y方向的假想单元交替排列地配置。
双极型静电卡盘

1
2
下一页»
尾页
共 22 条