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[实用新型]一种新型制靶装置-CN201520538418.8有效
发明人：周道怀;汪奇;陶道昌 -专利权人：安徽今上显示玻璃有限公司
申请日： 2015-07-23 - 公布日： 2015-11-11 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型制靶装置，它包括一均热盘，所述均热盘内水平等距的预设有加热孔道；至少一加热管，每一所述加热管对应安装于所述加热孔道内；一铜背板，所述铜背板设置于所述均热盘的上表面。本实用新型的新型制靶装置，它改进了现有技术中的缺陷，可用于ITO镀膜行业的ITO硅靶、铌靶以及其他一切金属靶的邦定，加热快，加热均匀，温升平稳，能有效的提高靶材制作过程中邦定的质量，提高靶材的质量；而且由于铟在空气中易于氧化，使用本装置可以缩短整个制靶邦定的过程，从而有效的减少了靶材制作过程中稀有贵重金属铟的消耗，节约了成本。
一种新型装置

[发明专利]一种高迁移率透明导电氧化物薄膜及其制备方法-CN202111156884.6有效
发明人：黄仕华;李林华;郝亚非 -专利权人：浙江师范大学
申请日： 2021-09-30 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种高迁移率透明导电氧化物薄膜及其制备方法，TCO薄膜生长采用反应射频磁控溅射法，在室温下生长碲与钪共掺杂的氧化铟TCO薄膜；溅射用靶材为铟靶、碲靶、钪靶，溅射工作气体为氩气，反应气体为氧气；在TCO薄膜生长之前，溅射室只通入氩气，对三靶进行15‑30分钟的预溅射，去除靶材表面吸附的杂质以及表面氧化物，当TCO薄膜开始生长时，氩气和氧气经过混气室充分混合以后进入溅射室，氩气与氧气的流量之比为50:1~20:1，溅射气压为0.1~0.4 Pa；铟靶溅射功率200 W，碲靶溅射功率为20~30 W，钪靶溅射功率为1~2 W；基底沉积温度为室温，溅射时间为10~20分钟。
一种迁移率透明导电氧化物薄膜及其制备方法

[发明专利]一种一次离心绑定多节ITO旋转靶材的方法-CN202011603008.9有效
发明人：史伟;卫义成;郑保昌;欧阳光华;何伟 -专利权人：湖南柯盛新材料有限公司
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2023-02-24 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种一次离心绑定多节ITO旋转靶材的方法，属于ITO旋转靶材加工技术领域，该方法包括以下步骤：S1、预处理：对ITO靶管内壁和背管外表面进行金属化处理；S2、组装：将背管从电热管上方往下插入，以使背管插设在安装座顶面插槽内，并使安装座上的定位筒插设在背管内；将多节ITO靶管由下往上依次套在背管上，上下相邻ITO靶管通过密封圈密封，最下节的ITO靶管插设在安装座顶面插槽内，ITO靶管与背管之间设有间隙；S3、灌铟；S4、离心绑定。本发明先将待绑定的ITO靶管一次组装好，然后再进行整体灌铟和转动离心，使得熔化后的铟紧贴ITO靶管内壁，绑定率较好。
一种一次离心绑定 ito 旋转方法

[发明专利]一种靶材的喷砂方法-CN202210282242.9有效
发明人：姚力军;窦兴贤;王学泽;王青松;胡全 -专利权人：合肥江丰电子材料有限公司
申请日： 2022-03-21 - 公布日： 2023-04-21 - 主分类号： B24C1/08 文献下载
摘要：本发明提供了一种靶材的喷砂方法，所述喷砂方法包括如下步骤：(1)对靶材的非溅射面进行第一喷砂处理，得到第一喷砂面；(2)第一喷砂面表面覆盖保护层，进行第二喷砂处理，得到第二喷砂面；(3)升温去除第二喷砂面表面的保护层，保持温度进行压缩气体吹扫，得到具有干燥喷砂面的靶材；步骤(2)所述保护层的材质包括铟和/或锡。本发明通过第一喷砂处理之后设置材质包括铟和/或锡的保护层，不仅能够实现对靶材非溅射面的喷砂处理，还能最大程度降低喷砂面清洗后的氧化风险，提高喷砂质量，生产合格率能够达到99％以上。
一种喷砂方法

[发明专利]一种新型低掺杂高导电性多元氧化物靶材及制备方法-CN202310329109.9在审
发明人：黄信二;黄煜翔 -专利权人：赣州市创发光电科技有限公司
申请日： 2023-03-30 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： C04B35/01 文献下载
摘要：本发明目的是提供种一种新型低掺杂高导电性多元氧化物靶材及制备方法，由添加第三种氧化物元素在氧化铟铪材料中，氧化铟铪材料的制作可以采用大气烧结降低设备投入成本，藉由第三种元素的添加提高靶材密度及导电性,氧化铟铪镀膜长波长透光性高有助于异质结太阳能电池透光度提高首创使用注浆成型加高温烧结的方式来制作相关镀膜材料(靶材)，靶材均匀性高有利于提高镀膜材料均匀性及提高镀膜的质量，适合大规模量产。
一种新型掺杂导电性多元氧化物制备方法

[实用新型]一种平面靶材背面金属化设备-CN201820097326.4有效
发明人：黄作;莫斌;农浩;武建良;陆映东;黄誓成 -专利权人：广西晶联光电材料有限责任公司
申请日： 2018-01-19 - 公布日： 2018-10-19 - 主分类号： B05C5/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种平面靶材背面金属化设备，该设备包括热台、靶材推杆、数控推杆传动丝杆、数控三轴龙门滑台、超声波涂铟机和热台温控箱，热台是由N个单温区热台组成，数控推杆传动丝杆通过丝杆安装块分别安装在热台的丝杆安装槽内，数控推杆传动丝杆的一端安装有丝杆电机，靶材推杆设置有N‑1根，靶材推杆间隔一个单温区热台宽度的距离通过推杆安装块安装在数控推杆传动丝杆上，数控三轴龙门滑台安装在热台上，超声波涂铟机安装在数控三轴龙门滑台的本实用新型可实现自动涂铟、多温区流水作业，可提高操作效果和工作效率，降低工人的劳动强度并改善作业环境。
热台传动丝杆数控推杆推杆靶材滑台龙门三轴数控背面金属化本实用新型平面靶材超声波温区丝杆安装槽工作效率丝杆电机推杆安装作业环境安装块多温区方向轴温控箱丝杆

[发明专利]一种溅镀用IZO掺杂靶材及其制备方法-CN202211626321.3在审
发明人：谭洪蕾;邵学亮;李开杰;钟小华 -专利权人：先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2022-12-15 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： C04B35/01 文献下载
摘要：本发明属于半导体材料制备技术领域，公开了一种溅镀用IZO掺杂靶材及其制备方法。所述IZO掺杂靶材由氧化铟、氧化锌和掺杂氧化物组成；所述IZO掺杂靶材中Zn与In的原子比为Zn/(Zn+In)＝0.1％～7％；所述掺杂氧化物为氧化钽、氧化铈、氧化钛、氧化锗或氧化镓。所述制备方法为：将氧化铟粉末、氧化锌粉末、掺杂氧化物粉末与水、分散剂和粘结剂混合制浆，得到浆料；将所得浆料进行喷雾造粒，得到造粒粉末，然后经过干压和冷等静压后，进行常压烧结，得到所述溅镀用IZO掺杂靶材本发明IZO掺杂靶材具有较低的ZnO加入量，且掺杂元素具有更多的选择，同时能够达到较高的致密度和导电性。
一种溅镀用 izo 掺杂及其制备方法

[发明专利]一种废旧靶材中铟回收的方法-CN202310690593.8在审
发明人：赵明勇;樊繁;徐灿辉;王莉莉 -专利权人：广西华锡集团股份有限公司
申请日： 2023-06-12 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： C22B7/00 文献下载
摘要：本发明公开一种废旧靶材中铟回收的方法，包括如下步骤：（1）浸出：向ITO靶材废料加入盐酸溶液，于超声波下加热搅拌，浸出一定时间，过滤，得酸溶渣和浸出液；（2）电解分离锡：将浸出液置于电解槽中进行微电流电解，过滤，取滤液；（3）电解分离铟：将所述滤液，再次进行微电流电解，取沉淀于槽底的下沉海绵铟；（4）压团、干燥：将所述下沉海绵铟压团、干燥、熔铸后，得到成品。本发明有效避免了传统锌粉置换时存在的“铟包锌”等现象的发生，海绵铟中锌含量大大降低，继而获得铟的品位99.998%，符合行业标准，不需要强电流电解，降低了能耗。
一种废旧靶材中铟回收方法

[实用新型]一种氧化铌靶材-CN201922094891.2有效
发明人：童晓鸣 -专利权人：厦门点睛巨石纳米科技有限公司
申请日： 2019-11-29 - 公布日： 2020-07-10 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种氧化铌靶材，包括铜板，所述铜板包括正面和背面，所述铜板的正面设有嵌合槽，所述嵌合槽内嵌合有由若干块氧化铌拼接而成的靶材，所述靶材与嵌合槽槽底之间设有一层金属铟，沿着所述铜板边沿设有若干固定通孔本实用新型靶材结构简单、设计合理，可满足对靶材较大尺寸的要求，此外，铜板和水冷槽的设计使得靶材的散热效果好，从而可防止溅射过程中靶材龟裂甚至断裂而影响溅射。
一种氧化铌靶材

[发明专利]非晶氧化铟锡薄膜的制备方法-CN201610242203.0在审
发明人：马志锋;刘玉华;张莉 -专利权人：宜昌南玻显示器件有限公司
申请日： 2016-04-19 - 公布日： 2016-08-10 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种非晶氧化铟锡薄膜的制备方法，包括如下步骤：提供衬底；以及将所述衬底置于磁控溅射设备腔体内，在真空条件下、以氢气的体积百分含量为1％～3％的氩氢混合气体为工艺气体，以氧化铟锡为靶材，控制所述衬底的温度为‑50℃～100℃，在所述衬底上磁控溅射沉积非晶氧化铟锡薄膜。这种非晶氧化铟锡薄膜的制备方法，采用常规结晶氧化铟锡膜所用的氧化铟锡靶材(氧化铟质量比为85％～93％)，在氧化铟锡镀膜过程中以氢气的体积百分含量为1％～3％的氩氢混合气体为工艺气体，氢气具有良好的分散性从而利于均匀分布，无须增加昂贵的检测设备监控水分压，制得的非晶氧化铟锡薄膜的优良稳定性。
氧化薄膜制备方法

[实用新型]一种ITO废靶的连续回收装置-CN201920988250.9有效
发明人：王育林 -专利权人：韶关市凯迪技术开发有限公司
申请日： 2019-06-28 - 公布日： 2020-04-10 - 主分类号： B65G33/14 文献下载
摘要：本实用新型涉及ITO废靶材的回收利用设备技术领域，公开了一种ITO废靶的连续回收装置，包括炉体和设于所述炉体外侧壁上的感应线圈，所述炉体的侧壁上连接有向所述炉体进料的第一螺旋进料管，所述第一螺旋进料管上连接有向所述第一螺旋进料管进料的第二螺旋进料管、第三螺旋进料管，所述第二螺旋进料管上通过管道连通有炭仓，所述第三螺旋进料管上通过管道连通有回收靶材仓，所述第二螺旋进料管、第三螺旋进料管的进料速度比值为0.1至0.2。本实用新型的连续回收装置，通过将废靶材和炭粉进行高效的配比、混合，便于对ITO废靶材中的铟、锡进行连续还原反应回收，实现对靶材中铟的高效回收和利用。
一种 ito 连续回收装置

[发明专利]一种靶材结构及其制作方法-CN202111027798.5有效
发明人：温质康;乔小平;苏智昱 -专利权人：福建华佳彩有限公司
申请日： 2021-09-02 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明涉及一种靶材结构及其制作方法，所述靶材结构包括铜背板，铜背板上设有靶材，所述靶材分隔成若干块设在铜背板上，每块靶材与铜背板之间设有绑定金属层，所述绑定金属层由铜铟合金成型，若干块靶材之间形成靶材间隙，所述靶材间隙设有填充物。本发明通过在靶材间隙处设置填充物，该填充物在磁控溅射的环境中，不会被高能电子轰击出原子，其化学结构稳定，由于靶材间隙中的铜背板是直接裸露的，该方案在靶材间隙填充填充物物不仅可以阻挡高能电子直接轰击裸露的铜背板，阻挡溅射出来的铜原子污染靶材材料以及器件中的薄膜纯度，而且作为靶材之间的中间填充物，有利于综合靶材由于热胀冷缩而产生的向左右拉伸的应力，减少靶材开裂和变形的风险。
一种结构及其制作方法

[发明专利]一种氧化物靶材及其制备方法、薄膜晶体管、显示装置-CN201810004209.3在审
发明人：张文林;宁策;胡合合;李正亮 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2018-01-03 - 公布日： 2018-06-19 - 主分类号： C04B35/453 文献下载
摘要：本申请公开了一种氧化物靶材及其制备方法、薄膜晶体管、显示装置，用以减少氧化物半导体中的氧空位缺陷，从而提高氧化物半导体迁移率。本申请实施例提供了一种氧化物靶材，所述氧化物靶材的组成元素包括：氧，铟，锌，以及钪。
氧化物靶材氧化物半导体薄膜晶体管显示装置制备氧空位缺陷组成元素迁移率申请

[发明专利]一种旋转靶材的绑定密封结构-CN202110605681.4在审
发明人：雷雨;周志宏;肖世洪;周昭宇;汪政军;刘芳 -专利权人：广州市尤特新材料有限公司
申请日： 2021-05-31 - 公布日： 2021-07-20 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明涉及磁控溅射靶材制备技术领域，特别涉及一种旋转靶材的绑定密封结构。密封结构包括设在相邻两节靶管之间的间隙垫片，间隙垫片粘接上下两个靶管的端面，两节靶管外壁在该间隙处粘接一圈高温胶带，还包括粘接在高温胶带外周的导热金属片和围在金属片外的紧固层，金属片和紧固层一起通过卡箍固定在靶管外周该旋转靶材的绑定密封结构对多节靶管之间的间隙进行密封处理，减少间隙内的氧含量，使得金属铟在绑定过程中不容易在空气中氧化，提升铟与靶材/背管的贴合率。两节靶管外壁的高温胶带外还粘接了导热金属片，然后才在金属片外设置紧固层，该金属片为绑定密封结构提供支撑，以免靶管受热变型导致密封失效，增强了密封性能。
一种旋转绑定密封结构

[实用新型]一种旋转靶材的绑定密封结构-CN202121203926.2有效
发明人：雷雨;周志宏;肖世洪;周昭宇;汪政军;刘芳 -专利权人：广州市尤特新材料有限公司
申请日： 2021-05-31 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型涉及磁控溅射靶材制备技术领域，特别涉及一种旋转靶材的绑定密封结构。密封结构包括设在相邻两节靶管之间的间隙垫片，间隙垫片粘接上下两个靶管的端面，两节靶管外壁在该间隙处粘接一圈高温胶带，还包括粘接在高温胶带外周的导热金属片和围在金属片外的紧固层，金属片和紧固层一起通过卡箍固定在靶管外周该旋转靶材的绑定密封结构对多节靶管之间的间隙进行密封处理，减少间隙内的氧含量，使得金属铟在绑定过程中不容易在空气中氧化，提升铟与靶材/背管的贴合率。两节靶管外壁的高温胶带外还粘接了导热金属片，然后才在金属片外设置紧固层，该金属片为绑定密封结构提供支撑，以免靶管受热变型导致密封失效，增强了密封性能。
一种旋转绑定密封结构