专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种一次离心绑定多节ITO旋转靶材的方法-CN202011603008.9有效
  • 史伟;卫义成;郑保昌;欧阳光华;何伟 - 湖南柯盛新材料有限公司
  • 2020-12-30 - 2023-02-24 - C23C14/35
  • 本发明公开了一种一次离心绑定多节ITO旋转靶材的方法,属于ITO旋转靶材加工技术领域,该方法包括以下步骤:S1、预处理:对ITO靶管内壁和背管外表面进行金属化处理;S2、组装:将背管从电热管上方往下插入,以使背管插设在安装座顶面插槽内,并使安装座上的定位筒插设在背管内;将多节ITO靶管由下往上依次套在背管上,上下相邻ITO靶管通过密封圈密封,最下节的ITO靶管插设在安装座顶面插槽内,ITO靶管与背管之间设有间隙;S3、灌铟;S4、离心绑定。本发明先将待绑定的ITO靶管一次组装好,然后再进行整体灌铟和转动离心,使得熔化后的铟紧贴ITO靶管内壁,绑定率较好。
  • 一种一次离心绑定ito旋转方法

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