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[发明专利]一种基于高温烧结法得到的氧化铟钛钽铈靶材及其制备方法-CN202310691428.4在审
发明人：谭洪蕾;邵学亮;李开杰 -专利权人：先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2023-06-12 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： C04B35/01 文献下载
摘要：本发明属于半导体技术领域，公开了一种基于高温烧结法得到的氧化铟钛钽铈靶材的制备方法，采用氧化铟铈钽钛前驱体经过烧结得到氧化铟钛钽铈靶材；所述烧结的工艺参数为：将氧化铟铈钽钛前驱体置于烧结炉中，以0.5‑1℃/min升温至600‑800℃，保温2‑3h，以0.8‑1.2℃/min升温至1200‑1350℃，进行保温时间为5～10h，继续以0.8‑1.2℃/min升温至1450‑1520℃，进行保温6‑8h，自然降温得到氧化铟钛钽铈靶材；氧化铟铈钽钛前驱体中含有氧化铟、氧化钛、氧化钽、氧化铈；氧化铟、氧化钛、氧化钽、氧化铈的摩尔比为81‑87：2‑8：1‑3：5‑11。该靶材采用梯度烧结的方式，实现了氧化铟钛钽铈靶材的导热性能的提高和电子迁移率的改善。同时，本发明还提供了该靶材。
一种基于高温烧结得到氧化铟钛钽铈靶材及其制备方法

[发明专利]氧化锡掺杂靶材、提高氧化锡掺杂靶材表面氧空位的方法-CN202310678791.2在审
发明人：罗斯诗;李开杰;邵学亮;顾德盛;张兴宇 -专利权人：先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2023-06-09 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明属于半导体技术领域，公开了一种提高氧化锡掺杂靶材表面氧空位的方法，在真空、烧结温度为1300‑1600℃条件下，将氧化锡掺杂靶材前驱体、单质钛置于同一环境中，保温一段时间得到氧化锡掺杂靶材。该方法通过选用在烧结温度下能够迅速与氧结合的金属与前驱体进行非接触式共烧，可显著提高氧化锡掺杂靶材表面氧空位。同时，本发明还提供了该氧化锡掺杂靶材。
氧化掺杂提高表面空位方法

[发明专利]一种低锆含量氧化铟铈钽钛靶材及其制备方法-CN202310691429.9在审
发明人：李开杰;邵学亮;罗斯诗;顾德盛;张兴宇 -专利权人：先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2023-06-12 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： C04B35/01 文献下载
摘要：本发明属于氧化物靶材制备技术领域，公开了一种低锆含量氧化铟铈钽钛靶材及其制备方法。所述制备方法为：按质量比为98.73～99.42:0.43～0.19:0.64～0.30:0.20～0.09称取氧化铟、氧化铈、氧化钽和氧化钛粉末，将氧化铈、氧化钽和氧化钛粉末加入到分散剂水溶液中分散研磨，得到浆料一，然后加入氧化铟粉末分散研磨，得到浆料二，再加入粘结剂分散研磨得到浆料三；通过喷雾造粒，混料和筛分，得到混合氧化物粉末经干压和冷等静压，最后热处理，得到低锆含量氧化铟铈钽钛靶材。本发明通过限定各氧化物粉末的成分配比及配合特定的制备工艺，可显著提高靶材的相对密度和降低靶材因研磨带入的锆含量。
一种含量氧化铟铈钽钛靶材及其制备方法

[发明专利]一种Ln系元素掺杂In-Zn基氧化物靶材的金相显示方法-CN202310691431.6在审
发明人：谭洪蕾;邵学亮;李开杰;顾德盛;罗斯诗 -专利权人：先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2023-06-12 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： G01N21/84 文献下载
摘要：本申请属于靶材检测技术领域，公开了一种Ln系元素掺杂In‑Zn基氧化物靶材的金相显示方法，包括以下步骤，使用砂纸打磨、使用抛光液抛光、使用腐蚀液腐蚀、腐蚀后冲洗、干燥、金相显微镜下观察Ln系元素掺杂In‑Zn基氧化物靶材的表面，得到金相组织图像；所述腐蚀液有氢氟酸、盐酸、水制备得到，所述氢氟酸、盐酸、水的体积比为1～1.2：1～1.2：20，通过上述方法进行金相显示，得到了一种成像准确、晶界清晰的Ln系元素掺杂In‑Zn基氧化物靶材的金相组织图像。
一种 ln 元素掺杂 in zn 氧化物金相显示方法

[发明专利]一种稀土元素掺杂氧化铟锡镓靶材及其制备方法-CN202310643576.9在审
发明人：顾德盛;邵学亮;王奇峰;张兴宇;罗斯诗 -专利权人：先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2023-06-01 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： C04B35/01 文献下载
摘要：本发明属于靶材制备技术领域，公开了一种稀土元素掺杂氧化铟锡镓靶材及其制备方法。所述制备方法为：将稀土金属氧化物粉末、氧化镓粉末、第一分散剂经湿法研磨，得到浆料一；加入氧化锡粉末、第二分散剂经湿法研磨，得到浆料二；加入氧化铟粉末、第三分散剂经湿法研磨，得到浆料三；加入粘结剂经湿法研磨，得到浆料四；然后喷雾造粒、混料和筛分，再进行冷压及冷等静压成型，高温烧结得到稀土元素掺杂氧化铟锡镓靶材。本发明的制备方法通过特定的分步研磨工艺结合特定的分散剂、粘结剂，可显著提升靶材的相对密度至99％以上，并通过稀土元素掺杂改善靶材内部载流子的浓度，进一步改善氧化物靶材及器件的电阻率。
一种稀土元素掺杂氧化铟锡镓靶材及其制备方法

[发明专利]一种氧化铝掺杂氧化钛镨靶材及其制备方法-CN202310643575.4在审
发明人：罗斯诗;李开杰;邵学亮;顾德盛;张兴宇 -专利权人：先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2023-06-01 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： C04B35/10 文献下载
摘要：本发明属于靶材制备技术领域，公开了一种氧化铝掺杂氧化钛镨靶材及其制备方法。所述氧化铝掺杂氧化钛镨靶材由以下质量百分含量的组分组成：氧化铝99.3％～99.8％，氧化钛0.5％～0.1％，氧化镨0.2％～0.1％。所述制备方法为：将氧化钛、氧化镨粉末和第一分散剂经湿法研磨得到浆料一；然后加入氧化铝粉末、水和第二分散剂分散湿法研磨得到浆料二；再加入粘结剂经湿法研磨得到浆料三；然后依次经喷雾造粒、与热塑性粘结剂混合后注射成型、加热脱脂处理和烧结处理，得到氧化铝掺杂氧化钛镨靶材。本发明所得靶材具有高致密度、高均匀性的优点。
一种氧化铝掺杂氧化钛镨靶材及其制备方法

[实用新型]一种轻触调节色温和亮度LED灯具-CN202320238643.4有效
发明人：邵华杰;邵华贵;邵丰卓;邵学亮 -专利权人：浙江炬星照明有限公司
申请日： 2023-02-17 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： F21V23/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种轻触调节色温和亮度LED灯具，包括底座和顶板，所述底座上端和顶板上端之间固定设有弯曲支撑柱，所述顶板下端固定设有灯板，所述灯板下端固定设有若干灯珠，所述顶板一端固定设有侧板一，另一端固定设有侧板二，所述侧板二下端固定设有侧板三，所述顶板下端面前后两侧均设有内嵌槽，所述内嵌槽内均设有灯罩板，所述灯罩板两侧上端均固定设有转柱，所述转柱分别与所述内嵌槽两端转动连接，所述侧板二远离所述顶板的一面对应所述转柱的位置均设有电机槽，所述电机槽内固定设有电机，所述电机的输出端穿过所述侧板二与对应的所述转柱固定连接；本实用新型光照区域大小可改变且开关可轻触调节。
一种轻触调节色温亮度 led 灯具

[实用新型]一种光色感知可色温调节LED灯具-CN202320390035.5有效
发明人：邵华杰;邵华贵;邵丰卓;邵学亮 -专利权人：浙江炬星照明有限公司
申请日： 2023-03-06 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： H05B45/22 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光色感知可色温调节LED灯具，包括灯架、灯罩、灯板和LED灯珠，所述灯架内侧固定设有固定板，所述固定板上设若干透气孔一，所述固定板下端固定设有灯板，所述灯板远离所述固定板的一面固定设有若干LED灯珠，所述LED灯珠包括数量相同的低色温灯珠和高色温灯珠，所述固定板上端两侧均设有散热结构，所述固定板上端固定设有若干隔断板，所述隔断板之间均设有电源设备，所述灯架外前侧设有内嵌槽，所述内嵌槽内嵌入设有光传感器，所述光传感器外侧固定设有透镜，所述内嵌槽上设有线孔一与所述灯架内侧相通；本实用新型具有色温调节功能且可有效散热。
一种感知色温调节 led 灯具

[实用新型]一种微动感知工位LED灯具-CN202320319495.9有效
发明人：邵华杰;邵华贵;邵丰卓;邵学亮 -专利权人：浙江炬星照明有限公司
申请日： 2023-02-27 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： F21V21/088 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种微动感知工位LED灯具，包括盒体，所述盒体一侧通过两个连接架固定设有抓夹结构，所述盒体上端固定设有若干万向调节架，所述万向调节架中心与所述盒体相通，所述万向调节架上端均固定设有灯罩，所述灯罩内均固定设有LED灯，所述盒体远离所述抓夹结构的一侧设有两个感应摄像头，所述盒体内设有感应装置；本实用新型对眼睛不会产生伤害且能实现感应开关。
一种微动感知 led 灯具

[实用新型]一种可拼接调色温LED灯具-CN202320162430.8有效
发明人：邵华杰;邵华贵;邵丰卓;邵学亮 -专利权人：浙江炬星照明有限公司
申请日： 2023-02-09 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： F21V3/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可拼接调色温LED灯具，包括顶板，所述顶板下端两侧固定设有侧板，所述侧板与侧板之间设有灯芯结构，所述侧板与所述侧板对应的一面均设有环形槽，所述灯芯结构外套设有灯罩，所述灯罩两端均固定设有环形卡座，所述环形卡座卡设在对应的所述环形槽内，所述顶板下端一侧设有内嵌槽，所述内嵌槽一侧相通设有电机槽，所述电机槽内固定设有电机，所述电机的输出端与齿轮盘一侧固定连接，所述齿轮盘下端穿出所述内嵌槽，所述灯罩对应所述齿轮盘的一侧外环绕固定设有若干齿尖，所述齿尖与所述齿轮盘相匹配；本实用新型可调色温、且不影响光照亮度、灯具大小可根据需求改变。
一种拼接调色 led 灯具

[发明专利]一种低电阻氧化锡掺杂氧化钼或钨靶材及制备方法-CN202310691424.6在审
发明人：罗斯诗;李开杰;邵学亮;顾德盛;张兴宇 -专利权人：先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2023-06-12 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明属于靶材制备技术领域，公开了一种低电阻氧化锡掺杂氧化钼或钨靶材及制备方法。所述靶材由摩尔比为97～99.5:3～0.5的氧化锡和氧化钼或氧化钨组成。其制备方法为：将氧化钼粉或氧化钨粉和分散剂加入到水中搅拌分散研磨得到浆料一；然后加入氧化锡粉、水和分散剂搅拌分散研磨得到浆料二；再加入粘结剂搅拌分散研磨，喷雾造粒，混料和筛分，得到混合粉；将所得混合粉进行模压以及冷等静压，然后在400～600℃温度及空气下进行脱脂热处理，升温至1300～1600℃在氧气气氛下进行烧结，得到靶材。本发明采用原子半径与锡接近的氧化钼或氧化钨进行掺杂，在合适掺杂比例的情况下可显著提高靶材密度并降低靶材电阻。
一种电阻氧化掺杂氧化钼钨靶材制备方法

[发明专利]氧化铟钛钽铈靶材及其制备方法和镀膜玻璃片-CN202310678825.8在审
发明人：罗斯诗;李开杰;邵学亮;顾德盛;张兴宇 -专利权人：先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2023-06-09 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： C04B35/01 文献下载
摘要：本发明属于半导体技术领域，公开了一种氧化铟钛钽铈靶材，由氧化铟铈钽钛前驱体经过干压和冷等静压处理后烧结得到，氧化铟铈钽钛前驱体中的金属氧化物由氧化铟、氧化铈、氧化钽、氧化钛以重量比98.73～99.42：0.43～0.19：0.64～0.30：0.20～0.09的比例组成。该靶材采用干压和冷等静压处理后烧结的工艺，结合配方优化，可改善镀膜玻璃的方阻、透过率、迁移率。同时，本发明还提供了该靶材的制备方法和镀膜玻璃。
氧化铟钛钽铈靶材及其制备方法镀膜玻璃片

[发明专利]一种高迁移率氧化铟钛铈钽靶材及其制备方法-CN202310678924.6在审
发明人：张兴宇;邵学亮;王奇峰;李开杰;罗斯诗;顾德盛 -专利权人：先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2023-06-09 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： C04B35/01 文献下载
摘要：本发明属于氧化物靶材制备技术领域，公开了一种高迁移率氧化铟钛铈钽靶材及其制备方法。所述制备方法为：按质量比为97.95～98.47:0.23～0.35:0.50～0.75:0.80～1.12称取氧化铟、氧化钛、氧化铈和氧化钽粉末；将上述粉末加入到分散剂水溶液中搅拌分散后研磨，得到浆料一，再加入黏结剂进行预分散和研磨得到浆料二；将浆料二通过喷雾造粒，混料和筛分，得到混合粉末；将混合粉末经过干压和冷等静压后进行热处理，得到高迁移率氧化铟钛铈钽靶材。本发明通过对靶材中各组分进行调节，可显著提高靶材的迁移率和导电性能。
一种迁移率氧化铟钛铈钽靶材及其制备方法

[发明专利]一种氧化铟掺杂钛钽铈靶材及其制备方法-CN202310678889.8在审
发明人：顾德盛;邵学亮;李开杰;罗斯诗;张兴宇 -专利权人：先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2023-06-09 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： C04B35/01 文献下载
摘要：本发明属于氧化物靶材制备技术领域，公开了一种氧化铟掺杂钛钽铈靶材及其制备方法。所述制备方法为：按摩尔比为90.5～92.5:1.5～2.5:3～5:1.5～2.5称取氧化铟、氧化钛、氧化钽和氧化铈粉末，然后与分散剂加入到纯水中搅拌分散均匀，湿法研磨得到浆料一；再加入氧化铟粉末、分散剂和水经过湿法研磨得到浆料二；再加入粘结剂混合后经过湿法研磨得到浆料三；通过喷雾造粒，再进行混料和筛分，得到混合粉末；最后经过模压和冷等静压后脱脂、烧结，得到氧化铟掺杂钛钽铈靶材。本发明通过限定各氧化物粉末的成分配比及配合特定的制备工艺，可显著提高靶材的各项性能。
一种氧化掺杂钛钽铈靶材及其制备方法

[发明专利]一种氧化铝靶材及其制备方法-CN202211615768.0在审
发明人：刘文杰;高日旭;余芳;邵学亮;童培云 -专利权人：先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2022-12-15 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： C04B35/111 文献下载
摘要：本申请涉及氧化物靶材生产技术领域，公开了一种氧化铝靶材及其制备方法，包括以下步骤：制备氧化铝粉末；将氧化铝粉末装入模具中压制成型，制得氧化铝坯体；将氧化铝坯体进行冷等静压处理，得到高密度氧化铝坯体；空气气氛下在常压烧结炉中，承烧板上铺一层烧结后的氧化铝砂，将高密度氧化铝坯体放置在氧化铝砂上层，以0.5‑1℃/min的升温速率，升温至1000℃，且在升温过程中，每升高200℃保温2‑4h；升至1000℃后保温2‑4h，再以0.01‑0.3℃/min的速率升温至1500‑1600℃，且在升温过程中，每升高30‑200℃保温2‑10h；通过该制备方法所制备出的靶材，在拥有3.97g/cm3密度的同时，其尺寸最大可以达到1.5×1.0m，极大地提高了靶材的尺寸上限；此外，还公开了一种氧化铝靶材。
一种氧化铝及其制备方法

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