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[发明专利]套刻工艺控制方法-CN201410099790.3在审
发明人：金乐群;赵新民;周孟兴 -专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司
申请日： 2014-03-18 - 公布日： 2015-09-23 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明公开一种套刻工艺控制方法，该方法包含以下步骤：将显影后检测获取的显影后套刻误差结果直接发送至自动工艺控制系统；自动工艺控制系统根据显影后套刻误差结果输出工艺控制的优化设置以改善工艺；将蚀刻后检测获取的套准偏移数据发送至自动工艺控制系统；自动工艺控制系统根据该结果对工艺设置作进一步优化。本发明在完成显影后检测后直接将误差结果发送给自动工艺控制系统，实现在一个批次产品在显影后检测完成后马上就可以给套刻控制提供快速的反馈报告，解决反馈时间延迟过长的问题。使套刻控制更稳定，减少套刻工艺的返工率。
刻工控制方法

[发明专利]一种校正及监测铜电镀中洗边位置的方法-CN201811012214.5有效
发明人：杨钰;李虎;于明非 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2018-08-31 - 公布日： 2020-11-06 - 主分类号： C25D7/12 文献下载
摘要：本发明提供一种校正及监测铜电镀中洗边位置的方法，自动工艺控制系统根据晶圆的洗边位置，建立理论马达位置与洗边位置的对应关系；机台对空白晶圆进行洗边操作，量测机台实时量测空白晶圆的洗边结果，把洗边结果反馈给自动工艺控制系统；判断实际洗边结果是否在规定范围内；根据实际洗边结果实时校正对应关系中的马达位置；自动工艺控制系统比较空白晶圆和图案晶圆的洗边位置，以得到差异比值，自动工艺控制系统根据对应关系及差异比值调整马达位置对图案片晶圆进行洗边操作本发明的有益效果是，向洗边装置中引入自动工艺控制系统，精确的校正洗边位置，定时监测洗边位置，简化了洗边位置的繁琐校正程序，提高了机台产能，节约人力资源。
一种校正监测电镀中洗边位置方法

[发明专利]半导体制造中的维护方法及系统-CN03130968.2无效
发明人：折本顺二 -专利权人：恩益禧电子股份有限公司
申请日： 2003-05-08 - 公布日： 2003-11-19 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：在自动工艺控制的设定中，各种工艺控制方法的维护方法是共用的。将该工序的流程名的工序名作成关键词，从输入输出装置6设定控制原工序、控制原工序测定项目名和控制目标工序、控制目标计算式、控制目标条件信息，将数据暂时存储到数据存储部8后，从设定指示部8向半导体生产控制控制系统2和自动工艺控制系统3进行自动工艺控制信息的更新的系统。
半导体制造中的维护方法系统

[发明专利]一种自动工艺包的设计装置-CN202211169109.9在审
发明人：肖萌萌;宋桂棉;陈子曦 -专利权人：上海履济技术服务中心
申请日： 2022-09-26 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： G05B19/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种自动工艺包的设计装置，该设计装置提供工艺包指令编辑单元和工艺包存贮单元；自动工艺包由多条工艺指令构成；工艺指令由执行条件和执行条件符合时的操作命令组成；所述执行条件为所述生物过程中检测到的因变量当前值与预设因变量值之间的数值关系，所述操作命令为生物过程的结果变量和结果变量值构成；生物反应器的控制系统通过调用该工艺包，可以实现全闭环自动控制，从而减少现场操作人员。
一种自动工艺设计装置

[实用新型]全自动晶圆片刻蚀清洗机-CN201220040831.8有效
发明人：王晓雁;王斌;尚保卫;马白云;马志勇;何思英 -专利权人：西安博纳自动化工程有限公司
申请日： 2012-02-08 - 公布日： 2013-04-03 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种全自动晶圆片刻蚀清洗机。它采用可升降并可360度旋转的防腐机械臂，机械臂上设有可装卸工件的夹持头；当工件被安装到夹持头后，设备在PC控制下带动工件按照人机界面中输入的工艺路线自动运行。本实用新型的有益效果是：整个工艺过程由机械臂自动完成，避免了人工操作带来的产品质量及安全生产的隐患；并且通过人机界面，可自如改动工艺线路及参数，可满足更多工艺要求。
全自动晶圆片刻蚀清洗

[发明专利]一种半导体工艺设备中工艺任务的启动方法、装置-CN202010821443.2在审
发明人：吴芳娜;史思雪 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2020-08-14 - 公布日： 2020-11-13 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本申请提供了一种半导体工艺设备中工艺任务启动的方法、装置，该方法包括：生成半导体工艺设备当前工艺任务的工艺区域关系列表；确定所有待启动工艺任务，生成每一个待启动工艺任务的工艺区域关系列表；基于当前工艺任务的工艺区域关系列表和每一个待启动工艺任务的工艺区域关系列表，按第一预设规则确定所有所述待启动工艺任务中是否包括可启动工艺任务；当所有待启动工艺任务中包括可启动工艺任务时，按第二预设规则从所有可启动工艺任务选择出目标可启动工艺任务，并启动目标可启动工艺任务。由此，在任意一个时刻均不会出现目标可启动工艺任务和当前工艺任务针对的物料出现在两个相同的工艺区域但出现顺序相反的情况，避免死锁发生，提升生产效率。
一种半导体工艺设备工艺任务启动方法装置

[发明专利]冲压零件自动工艺排布的方法、电子设备及存储介质-CN202310219921.6在审
发明人：孙虎平;罗仁平;王燕;高晶;赵锟;陈开朗;毛青谊;冯傲;蔡惠钦;罗贤晖 -专利权人：上汽通用汽车有限公司;泛亚汽车技术中心有限公司
申请日： 2023-03-08 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： B21D35/00 文献下载
摘要：DSP1F224185ZX本发明公开一种冲压零件自动工艺排布的方法、电子设备及存储介质，方法包括：获取工艺要素并分别存入三维图形软件的要素容器；对所述工艺要素进行分组操作；为分组后的所述工艺要素生成对应的工具体；确定所述工具体之间的干涉状态；根据所述工艺要素的分组条件和所述干涉状态，对所述工艺要素进行排列组合。本发明通过对各工艺要素进行最小单位特征离散、分组和生成对应的工艺要素的工具体，最后对具有相同分组的工艺要素和其所对应的工具体无重叠的工艺要素进行排列组合。从而实现对冲压零件的自动工艺排布，不仅提高了工艺排布的效率，而且有效降低出错概率。
冲压零件自动工艺排布方法电子设备存储介质

[实用新型]自动工艺咖啡机-CN200620088157.5无效
发明人：沈斌;李睿;刘亚杰 -专利权人：沈斌
申请日： 2006-08-23 - 公布日： 2007-09-05 - 主分类号： A47J31/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种自动咖啡机，属于日用小家电技术领域。提供一种具有工艺特色的可以与高档家具组合成一体的咖啡机。优点是结构紧凑，自动化程度高，具有较好的工艺价值。
自动工艺咖啡机

[发明专利]纸模智能自动成型工艺-CN201910014893.8有效
发明人：于向仪;欧伟杰;詹婷婷;于晓北;陈栋 -专利权人：广东卡雷尔环保科技有限公司
申请日： 2019-01-08 - 公布日： 2020-10-23 - 主分类号： D21J3/00 文献下载
摘要：本申请公开了纸模智能自动成型工艺，包括注浆、涌浆、捞浆、预排水、移动工作台、搬运、再移动工作台、热压定型和再搬运、三移动工作台及循环操作等步骤实现智能自动成型纸模。本申请纸模智能自动成型工艺通过注浆、涌浆工艺步骤，可有效将沉淀于纸浆槽内的纸浆混合物涌起，继而可于提高纸浆的均匀度，从而有利于成型湿纸模，避免湿纸模厚度不均，且通过左右双工位热压定型湿纸模以成型干纸模，
智能自动成型工艺

[发明专利]一种用于加工蝶阀阀座的模压设备-CN201110269228.7无效
发明人：赵凤华 -专利权人：天津市富利达橡胶制品有限公司
申请日： 2011-09-13 - 公布日： 2013-03-27 - 主分类号： B29C51/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于加工蝶阀阀座的模压设备，包括机架，机架上安装有相互配合的上模和下模，所述的下模的两侧设有与下模的阀杆孔位置相应的工艺杆以及用于驱动工艺杆伸缩的驱动机构。本发明用于加工蝶阀阀座的模压设备中，通过驱动机构带动工艺杆可以自动的伸缩，插入或拔出下模的阀杆孔。
一种用于加工蝶阀阀座模压设备

[发明专利]光伏生产设备及其维护和检测方法-CN201811036016.2在审
发明人：杨斌 -专利权人：君泰创新（北京）科技有限公司
申请日： 2018-09-06 - 公布日： 2018-12-18 - 主分类号： G05B19/05 文献下载
摘要：所述光伏生产设备维护和检测方法包括检测光伏生产设备的工作模式，若光伏生产设备处于非自动工艺模式，则发送关闭工艺参数加密处理的控制指令。若光伏生产设备处于自动工艺模式，则发送终止正在执行工艺控制指令。在所述光伏生产设备中，增设加密关闭功能，使得所述光伏生产设备能够实时控制打开或者关闭工艺参数加密处理过程。所述光伏生产设备及其维护和检测方法，在保证光伏生产设备的工艺参数安全的前提下，通过在可编程逻辑控制器中增设加密关闭功能，提供更便捷、安全的光伏生产设备及其维护和检测方法和工艺设备的维护方法。
生产设备光伏检测维护关闭功能自动工艺加密可编程逻辑控制器加密处理过程增设发送终止工艺控制工艺设备工作模式加密处理控制指令实时控制检测光安全发送指令申请保证

[发明专利]全自动工业连续化废旧轮胎处理方法-CN200610043459.5无效
发明人：王新明;牛斌;窦利德;王富昌 -专利权人：王新明
申请日： 2006-04-07 - 公布日： 2006-09-06 - 主分类号： C10G1/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种全自动工业连续化废旧轮胎处理方法，该方法主要包括废旧轮胎破碎、低温解聚裂化、炭黑还原生产等过程。本发明由于实现了全自动工业连续化无人操作，并采用了远程恒温供热和常压低温解聚裂化等先进工艺。所以，整个生产工艺生产安全，稳定、可靠，效率高，无污染，运行成本低，热效率高，综合利用高。
全自动工业连续废旧轮胎处理方法

[发明专利]一种高速智能分切机-CN201110214707.9无效
发明人：许炯 -专利权人：杭州大华工控技术有限公司
申请日： 2011-07-28 - 公布日： 2012-02-01 - 主分类号： G05B19/414 文献下载
摘要：本发明涉及一种高速智能分切机，包括人机界面、运动控制器、驱动控制器、分布式I/O系统、中央处理器、自动操作模块、自动工艺参数设置模块、自动维护模块，所述的自动操作模块与自动工艺设置模块相连。本发明所述的分切机，为客户提供解决方案，减少机器对操作人员的依赖程度，通过在自动控制系统对分切工作进行自动控制，使分切机在标准状态下自动运行，从而保证获得基本的工作质量和效率。
一种高速智能分切机

[实用新型]一种用于加工蝶阀阀座的模压设备-CN201120341144.5有效
发明人：赵凤华 -专利权人：天津市富利达橡胶制品有限公司
申请日： 2011-09-13 - 公布日： 2012-06-20 - 主分类号： B29C51/26 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于加工蝶阀阀座的模压设备，包括机架，机架上安装有相互配合的上模和下模，所述的下模的两侧设有与下模的阀杆孔位置相应的工艺杆以及用于驱动工艺杆伸缩的驱动机构。本实用新型用于加工蝶阀阀座的模压设备中，通过驱动机构带动工艺杆可以自动的伸缩，插入或拔出下模的阀杆孔。
一种用于加工蝶阀阀座模压设备

[实用新型]一种高速智能分切机-CN201120272248.5有效
发明人：许炯 -专利权人：杭州大华工控技术有限公司
申请日： 2011-07-28 - 公布日： 2012-07-11 - 主分类号： G05B19/18 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种高速智能分切机，包括人机界面、运动控制器、驱动控制器、分布式I/O系统、中央处理器、自动操作模块、自动工艺参数设置模块、自动维护模块，所述的自动操作模块与自动工艺设置模块相连。本实用新型所述的分切机，为客户提供解决方案，减少机器对操作人员的依赖程度，通过在自动控制系统对分切工作进行自动控制，使分切机在标准状态下自动运行，从而保证获得基本的工作质量和效率。
一种高速智能分切机

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