专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]获取束流形状和能量探测单元响应特征的方法、装置-CN202010495575.0有效
  • 杨宏成;廖璨;吴玄 - 上海联影医疗科技股份有限公司
  • 2020-06-03 - 2023-08-22 - G01T1/161
  • 本申请涉及一种获取束流形状和能量探测单元响应特征的方法、装置、计算机设备和存储介质,通过获取能量探测单元中预设的参考点的束流强度值和能量探测单元中每个像素点的信号强度值,然后根据参考点的束流强度值、每个像素点的信号强度值,以及根据能量探测单元与光束中心处于不同的相对位置处的亮场图像确定的且表示能量探测单元中不同像素点的束流强度之间关系的束流强度关系,确定每个像素点的束流强度值,进一步根据能量探测单元中每个像素点的束流强度值,计算得到能量探测单元中的束流形状,并基于束流形状确定能量探测单元响应特征,该方法能够更加准确地描绘束流形状及能量探测单元响应的特征。
  • 获取流形能量探测单元响应特征方法装置
  • [发明专利]曝光系统以及光刻设备-CN202110436871.8在审
  • 湛宾洲;侯宝路 - 上海微电子装备(集团)股份有限公司
  • 2021-04-22 - 2022-10-25 - G03F7/20
  • 本发明提供一种曝光系统和光刻设备,所述曝光系统包括发光单元、照明单元、投影物镜单元以及能量探测单元,所述发光单元发射的光束经所述照明单元传输至所述投影物镜单元,所述投影物镜单元将所述光束投影在工件上,所述能量探测单元用于所述光源的能量监测,所述发光单元包括灯室以及光源,将所述光源设置于所述灯室的内部,所述能量探测单元设置于所述灯室的外部。本发明提高了能量探测单元(ED)的稳定性,有利于提高能量探测单元与工件的线性度,提升剂量控制稳定性和精度,进而提升尺寸均匀性(CDU)控制能力,并且减少能量探测单元标定周期,提高光刻产率。
  • 曝光系统以及光刻设备
  • [发明专利]一种激光退火装置-CN201511025829.8有效
  • 宋春峰;徐文 - 上海微电子装备(集团)股份有限公司
  • 2015-12-30 - 2019-11-26 - H01L21/268
  • 本发明涉及一种激光退火装置,包括载片台、第一能量探测器、第二能量探测器、第三能量探测器、空间光调制器、能量吸收单元、系统控制器以及与所述系统控制器分别相连的载片台控制器、反射率测量单元能量调制退火单元;载片台控制器与载片台相连并控制载片台运动,反射率测量单元发出的激光一部分进入第一能量探测器,另一部分入射至晶圆表面,经晶圆表面反射后入射至第二能量探测器,根据第一能量探测器与第二能量探测器的数值得到晶圆反射率;能量调制退火单元发出的激光一部分进入第三能量探测器,另一部分经空间光调制器入射至晶圆表面,经晶圆表面反射后入射至能量吸收单元;上述所得晶圆反射率的值输入空间光调制器的输入端。
  • 一种激光退火装置
  • [实用新型]红外测温仪-CN201120286968.7有效
  • 何相礼 - 浙江大合建设工程检测有限公司
  • 2011-08-09 - 2012-05-09 - G01J5/00
  • 红外测温仪,它至少包括光学单元、信号探测单元、信号处理单元和供电单元,光学单元将红外能量汇聚到信号探测单元上,信号探测单元输出信号由信号处理单元进行显示,信号探测单元是上下叠层封装在一起的两个红外敏感元红外探测器;本实用新型的优点是:由于红外探测仪的红外能量汇聚到一个叠层红外探测器。叠层红外探测器由两个上下叠层封装在一起的红外敏感元件组成,它们将汇聚到敏感元件上的红外能量转换为电信号传输到电路处理部分。
  • 红外测温
  • [发明专利]一种能量-空间耦合测量的核辐射探测器及其探测方法-CN202310902460.2在审
  • 王方宝;陈亮;张斯龙;何世熠;欧阳晓平 - 西北核技术研究所
  • 2023-07-21 - 2023-10-10 - G01T1/24
  • 本发明涉及一种能量‑空间耦合测量的核辐射探测器及其探测方法;解决传统半导体探测器获取高能粒子位置信息困难的问题以及闪烁体探测器成像精度与探测效率的矛盾;探测器包括供电单元、半导体辐射探测单元以及设置在半导体辐射探测单元上表面的有机发光成像单元;半导体辐射探测单元的一端与供电单元的负极连接,另一端与有机发光成像单元的输入端连接,有机发光成像单元的输出端与供电单元的正极连接;半导体辐射探测单元用于沉积辐射能量,将其转换为带电的载流子,产生电信号,并测量辐射射线的能量信息,有机发光成像单元用于收集半导体辐射探测单元产生的载流子并进行复合发光,记录辐射射线的空间信息;本发明还提出探测器的探测方法。
  • 一种能量空间耦合测量核辐射探测器及其探测方法
  • [实用新型]一种叶绿素荧光探测-CN200920107492.9无效
  • 黄文江;刘良云;孙刚;郑文刚;杨贵军;杨小冬;李伟国;马智宏;常红;宋晓宇 - 北京市农林科学院
  • 2009-04-22 - 2010-05-12 - G01N21/64
  • 本实用新型公开了一种叶绿素荧光探测仪,包括:能量探测单元,用于探测植被在自然光照条件下的入射能量和植被反射能量并将所获能量的模拟量信号传输至信号处理单元;信号处理单元,将接受到的能量的模拟量信号滤波、放大并转化为数字信号;中央控制单元,控制信号处理单元进行模数转换并将得到的数字信号输入能量计算模型,得到植被冠层的荧光强度。本实用新型所提供的叶绿素荧光探测仪与传统的激光脉冲调制荧光仪相比,使用简便快捷、结果真实可靠,更容易推广到航空或卫星平台,实现荧光探测从接触式的点测量到航空或卫星遥感大面积监测的技术飞越。
  • 一种叶绿素荧光探测仪
  • [发明专利]激光能量稳定装置及其稳定方法-CN201610891094.5在审
  • 文侨;卢建新;李冀 - 深圳大学
  • 2016-10-12 - 2018-04-20 - H01S3/13
  • 本发明属于激光能量控制领域,特别涉及激光能量稳定装置及其稳定方法。激光能量稳定装置包括用于输出脉冲激光的脉冲激光器,分光单元,衰减单元,功率探测单元和负反馈控制单元。本发明通过脉冲激光器输出脉冲激光,所述脉冲激光经分光单元分为第一束脉冲激光和第二束脉冲激光,其中第一束脉冲激光传播到衰减单元,第二束脉冲激光入射到功率探测单元,功率探测单元探测第二束脉冲激光的功率以得出光功率值,负反馈控制单元根据功率探测单元测量的光功率值计算并控制衰减单元对第一束脉冲激光的衰减率,从而实现脉冲激光能量稳定。
  • 激光能量稳定装置及其方法
  • [实用新型]激光能量稳定装置-CN201621117601.1有效
  • 文侨;卢建新;李冀 - 深圳大学
  • 2016-10-12 - 2017-05-31 - H01S3/13
  • 本实用新型属于激光能量控制领域,特别涉及激光能量稳定装置。激光能量稳定装置包括用于输出脉冲激光的脉冲激光器,分光单元,衰减单元,功率探测单元和负反馈控制单元。本实用新型通过脉冲激光器输出脉冲激光,所述脉冲激光经分光单元分为第一束脉冲激光和第二束脉冲激光,其中第一束脉冲激光传播到衰减单元,第二束脉冲激光入射到功率探测单元,功率探测单元探测第二束脉冲激光的功率以得出光功率值,负反馈控制单元根据功率探测单元测量的光功率值计算并控制衰减单元对第一束脉冲激光的衰减率,从而实现脉冲激光能量稳定。
  • 激光能量稳定装置

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