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[发明专利]OLED器件的有机薄膜蒸镀装置-CN201510573830.8在审
发明人：郎丰伟;田朝勇 -专利权人：四川虹视显示技术有限公司
申请日： 2015-09-10 - 公布日： 2017-03-22 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种OLED器件的有机薄膜蒸镀装置，包括用于放置有机物的坩埚，坩埚通过坩埚固定装置安装在腔体底部，坩埚固定装置穿设于腔体的底部；坩埚内设有搅拌轴，搅拌轴的下端穿过坩埚固定装置连接在腔体外部的旋转机构上本发明所提供的有机薄膜蒸镀装置，在坩埚内安装搅拌轴，将搅拌轴连接在真空腔体外部的旋转机构上，为了防止有机物凝固，在等待蒸镀的一段时间内，旋转坩埚内的搅拌轴，旋转机构使搅拌轴在蒸镀有机薄膜的过程中也一直保持旋转
oled 器件有机薄膜装置

[发明专利]基板处理装置及其真空形成方法-CN201010532704.5无效
发明人：吴芝瑛;李仁河;朴完雨;黄在君 -专利权人：亚威科股份有限公司
申请日： 2010-10-29 - 公布日： 2011-06-08 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明涉及一种基板处理装置，包括：多个工作线，其分别包括设置于真空腔体与空气之间的第1预真空腔体及第2预真空腔体；泵部，用于形成该第1预真空腔体及第2预真空腔体内部的真空状态；及，平衡阀，其设置于该第1预真空腔体与第2预真空腔体之间，用于均化该第1预真空腔体与该第2预真空腔体之间的真空度，该基板处理装置可以通过缩短预真空腔体的真空形成时间来缩短整个工程时间，并可以防止在预真空腔体的真空及大气压状态转换过程中基板受损的现象
处理装置及其真空形成方法

[发明专利]一种真空腔进样系统-CN202010795831.8在审
发明人：杨宏;褚赛赛;李小芳;龚旗煌;池彬;赵嘉峰 -专利权人：北京大学;费勉仪器科技（上海）有限公司
申请日： 2020-08-10 - 公布日： 2020-11-03 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明提供了一种真空腔进样系统，用于解决现有技术中真空腔进样系统容易破坏其他腔室的真空环境、无法实现大气进样的技术问题；包括：中转腔和真空存样腔；所述真空存样腔包括第一法兰、样品固持装置和第一传样装置；所述第一法兰设置第一阀门；所述中转腔包括第二法兰、第三法兰、真空泵、传样台和第二传样装置；实施本发明的技术方案，中转腔连接真空腔体，设置真空存样腔，并通过闸阀隔离中转腔、真空存样腔和外部腔体，可在不破坏外部腔体真空环境的前提下完成进样；设置常压进样门，可实现常压进样；真空存样腔通过CF法兰连接中转腔，可拆卸，并设置手提支架，可实现样品的转移和快速切换。
一种空腔系统

[实用新型]一种真空腔进样系统-CN202021644793.8有效
发明人：杨宏;褚赛赛;李小芳;龚旗煌;池彬;赵嘉峰 -专利权人：北京大学;费勉仪器科技（上海）有限公司
申请日： 2020-08-10 - 公布日： 2021-01-19 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种真空腔进样系统，用于解决现有技术中真空腔进样系统容易破坏其他腔室的真空环境、无法实现大气进样的技术问题；包括：中转腔和真空存样腔；所述真空存样腔包括第一法兰、样品固持装置和第一传样装置；所述第一法兰设置第一阀门；所述中转腔包括第二法兰、第三法兰、真空泵、传样台和第二传样装置；实施本实用新型的技术方案，中转腔连接真空腔体，设置真空存样腔，并通过闸阀隔离中转腔、真空存样腔和外部腔体，可在不破坏外部腔体真空环境的前提下完成进样；设置常压进样门，可实现常压进样；真空存样腔通过CF法兰连接中转腔，可拆卸，并设置手提支架，可实现样品的转移和快速切换。
一种空腔系统

[实用新型]一种真空镀膜机上料快装结构-CN201720030444.9有效
发明人：姚华光 -专利权人：安徽普威达真空科技有限公司
申请日： 2017-01-12 - 公布日： 2017-08-29 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空镀膜机上料快装结构，包括端面盲法兰、腔体外壳、靶源、锁紧螺栓、端面法兰、快锁端盖、钢化玻璃、高介电常数隔套和支撑密封盘，所述端面盲法兰与腔体外壳紧密相连，所述靶源位于腔体外壳的内表面，腔体外壳与端面法兰之间通过锁紧螺栓相连接，腔体外壳与端面法兰之间设有钢化玻璃，所述支撑密封盘安装工件，所述支撑密封盘通过快锁端盖与端面法兰紧密相连。本实用新型结构简单，便于待镀工件的快速安装，提高上下料的效率，防止工件表面的擦伤，大大降低真空腔体维护使用成本。
一种真空镀膜机上料快装结构

[实用新型]一种真空镀膜腔-CN201721786641.X有效
发明人：孙建凤 -专利权人：昆山艾斯博精密金属科技有限公司
申请日： 2017-12-20 - 公布日： 2018-09-04 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种真空镀膜腔，包括真空腔体，位于所述真空腔体内部上方设有蒸发源和位于所述蒸发源内部下方的用于承载被镀膜物的基台，所述真空腔体下设有与所述真空腔体一体成型的底壁；所述基台设置在所述底壁的上方且与所述底壁组合构成一与外部排气泵相通的燕尾槽本实用新型的真空镀膜腔，基台与底壁组合构成一与外部排气泵相通的燕尾槽结构；燕尾槽形状的排气口使得提高排气效率的效果；燕尾槽与基台构成的排气口，使得在排气泵排气时，使气体集中经被镀膜物表面后排出，从而使得基台附近颗粒污染得到改善
基台底壁真空镀膜腔真空腔体排气泵本实用新型镀膜物排气口燕尾槽蒸发源相通燕尾槽结构燕尾槽形状一体成型的原子层沉积镀膜装置惰性气体颗粒污染排气效率气体分布体内部真空腔外部镀膜排气后排清洗承载

[实用新型]一种电力设备低噪声箱体结构-CN202122304698.4有效
发明人：马裕超;莫娟;郑中原;李想;徐金;樊宝珍;杨臻;李毅刚 -专利权人：中国电力科学研究院有限公司;国网天津市电力公司电力科学研究院;国网天津市电力公司;国家电网有限公司
申请日： 2021-09-23 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： H02B1/54 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种电力设备低噪声箱体结构，包括：箱体和降噪层；所述降噪层包括依次覆盖于所述箱体外表面的吸声腔体和真空板；所述吸声腔体为具有开孔的空腔结构；所述开孔朝向所述箱体外表面。本实用新型利用吸声腔体中的开孔进行空气共振，耗散声波能量，并通过真空板阻断声音向外传递。
一种电力设备噪声箱体结构

[发明专利]一种锡铜二元合金真空抽滤高效分离的设备及方法-CN202310251935.6在审
发明人：李一夫;周生安;杨斌;刘大春;徐宝强;田阳;陈秀敏;徐俊杰;张环;马进萍;陈昌明 -专利权人：昆明理工大学
申请日： 2023-03-15 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： C22B7/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种锡铜二元合金真空抽滤高效分离的设备及方法，属于有色金属火法冶金技术领域。该锡铜二元合金真空抽滤高效分离的设备，所述真空腔体顶部设有能上下拆卸的外壳，真空腔体顶部中空位置且位于外壳内部设有滤筒，滤筒外部均匀设有发热体，外壳顶部设有通气孔，通气孔上通过截止阀管道连接氩气瓶，氩气瓶上设有流量阀，滤筒底部均匀设有滤孔，滤孔正下方且位于真空腔体内部设有锡液缸，真空腔体底部连接真空泵。
一种二元合金真空高效分离设备方法

[发明专利]一种塑料基底硬质减反射膜及其镀膜方法-CN202011513686.6有效
发明人：原清海;王奔;谢雨江 -专利权人：上海米蜂激光科技有限公司
申请日： 2020-12-21 - 公布日： 2021-04-09 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：该反射膜的镀膜装置包括真空腔体，真空腔体底部设置电子束蒸发镀膜装置，还包括设置于真空腔体外的旋转装置和磁控溅射镀膜装置，磁控溅射镀膜装置与旋转装置固定连接，旋转装置驱动磁控溅射镀膜装置做转动升降式运动，使磁控溅射镀膜装置能够移入和/或移出真空腔体。
一种塑料基底硬质减反射膜及其镀膜方法

[实用新型]一种用于PLD中可实现与脉冲激光同步的脉冲气路装置-CN202022222549.9有效
发明人：谢雪琴 -专利权人：谢雪琴
申请日： 2020-10-04 - 公布日： 2021-06-11 - 主分类号： C23C14/28 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于PLD中可实现与脉冲激光同步的脉冲气路装置，包括真空腔体，所述真空腔体下端一侧连接有连续进气管，所述真空腔体一侧内壁固定设有脉冲进气喷嘴，且所述脉冲进气喷嘴一端正对靶材，所述脉冲进气喷嘴另一端伸出所述真空腔体外且通过法兰固定连接有脉冲进气管
一种用于 pld 实现脉冲激光同步装置

[发明专利]用于大曲率非平面器件的低温等离子体刻蚀装置及方法-CN202210202792.5有效
发明人：高国涵;范斌;罗倩;吴湘;邵俊铭;雷柏平;汪利华;杜俊峰;边疆;杨虎 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2022-03-02 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于大曲率非平面器件的低温等离子体刻蚀装置及方法，该装置含有真空腔体顶盖、真空腔体底座、曲面导电匀气板、工艺气体通道、曲面器件、阳极样品台、真空排气通道和低温等离子体。真空腔体顶盖和真空腔体底座组成真空腔体，真空腔体顶盖和真空腔体底座接地，可打开装入样品也可闭合接入真空系统。曲面导电匀气板与真空腔体顶盖导电连接，工艺气体通过工艺气体通道进入真空腔体，通过真空排气通道离开真空腔体，曲面器件置于阳极样品台表面，在RF射频电源激励下形成低温等离子体弥漫于真空腔体内。
用于曲率平面器件低温等离子体刻蚀装置方法

[实用新型]一种热管和均热板相结合的散热装置-CN201320060158.9有效
发明人：汤清安;李永安 -专利权人：汤清安;李永安
申请日： 2013-02-01 - 公布日： 2014-01-29 - 主分类号： H01L23/367 文献下载
摘要：本实用新型提供一种热管和均热板相结合的散热装置，包括均热板、散热体，其中均热板设置为空腔，散热体表面为多层鳍片结构，中部位置设置有一个方形空腔，内置有风扇，该方形空腔两侧设置有若干柱形空腔，与该装置底部均热板空腔形成密封腔体，该密封腔体抽成真空后盛放适量水、氨、酒精、丙酮、氮、氦等易挥发性工质。在使用过程中，LED等电子元器件紧贴该散热装置散热板下表面，均热板吸收电子元器件热量使密封腔体内部易挥发工质挥发流动至柱形腔体上部，通过散热体外表面鳍片结构与外部空气进行热传导，将热量散布到空气中，结合散热体中部设置的风扇
一种热管均热相结合散热装置

[实用新型]一种真空点胶机-CN201820792619.4有效
发明人：吴彬;辛怀书 -专利权人：昆山泽旭自动化科技有限公司
申请日： 2018-05-25 - 公布日： 2019-02-15 - 主分类号： B05C15/00 文献下载
摘要：本实用新型属于点胶设备技术领域，公开了一种真空点胶机。该真空点胶机包括点胶机构、送料机构及真空箱体，其中，送料机构穿过所述真空箱体设置，真空箱体包括沿送料机构上产品的输送方向依次连通设置的预真空腔体、真空腔体及去真空腔体，点胶机构设置于去真空腔体的内顶面。本实用新型通过设置真空腔体，点胶机构位于真空腔体的内顶面，对送料机构输送至真空腔体内的产品进行点胶，能够避免点胶时将空气封在产品表面，减少气泡的产生率，提高胶水固化后的强度、密封性；同时，通过在真空腔体的前后分别设置预真空腔体及去真空腔体，能够保证真空腔体内的真空度，一定程度上避免了空气从前后两侧进入真空腔体。
真空腔体送料机构点胶机构真空箱体点胶机本实用新型预真空腔体内顶面真空腔点胶体内产品表面点胶设备胶水固化依次连通产生率密封性穿过保证

[发明专利]战斗机驾驶舱玻璃罩表面物理气相沉积设备-CN202010250488.9在审
发明人：成林 -专利权人：昆山浦元真空技术工程有限公司
申请日： 2020-04-01 - 公布日： 2020-06-19 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种战斗机驾驶舱玻璃罩表面物理气相沉积设备，真空计能测量由真空泵抽真空的真空腔体内的真空度并传信于控制系统，充气系统能给真空腔体内充不同气体，工件内侧面能拆拆卸的安装于真空腔体内的工件定位装置上，真空腔体内的离子轰击板能对工件外侧表面进行等离子清洗，真空腔体内的磁控阴极恰能包覆于工件外侧表面外部并与工件外侧表面保持设定距离，磁控阴极能在工件表面溅射沉膜，冷却系统能给磁控阴极和真空泵进行冷却，控制系统控制真空泵
战斗机驾驶舱玻璃罩表面物理沉积设备

[实用新型]战斗机驾驶舱玻璃罩表面物理气相沉积设备-CN202020456437.7有效
发明人：成林 -专利权人：昆山浦元真空技术工程有限公司
申请日： 2020-04-01 - 公布日： 2021-05-25 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种战斗机驾驶舱玻璃罩表面物理气相沉积设备，真空计能测量由真空泵抽真空的真空腔体内的真空度并传信于控制系统，充气系统能给真空腔体内充不同气体，工件内侧面可拆卸的安装于真空腔体内的工件定位装置上，真空腔体内的离子轰击板能对工件外侧表面进行等离子清洗，真空腔体内的磁控阴极恰能包覆于工件外侧表面外部并与工件外侧表面保持设定距离，磁控阴极能在工件表面溅射沉膜，冷却系统能给磁控阴极和真空泵进行冷却，控制系统控制真空泵
战斗机驾驶舱玻璃罩表面物理沉积设备