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[实用新型]一种高精度均温快速升温装置-CN201320753197.7有效
发明人：不公告发明人 -专利权人：山东希格斯新能源有限责任公司
申请日： 2013-11-26 - 公布日： 2014-07-09 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：一种高精度均温快速升温装置，用于连续生产线连续镀膜设备上对于基板进行快速升温均温装置，该装置包含至少多根碳中波近红外灯管，位于基板的前后面，该加热装置还包括密封灯管罩，将横穿真空腔体，灯管穿在灯管罩内部，用于灯管在大气中加热，在辐射给真空中的基板。该加热装置还包含一层均热板、反射板、温度监控装置，所述均热板用于基板加热保证温度的均匀性；所述反射板用于热量保持和再次热量重复利用；该加热器在真空镀膜产线上能快速将大面积基板升温并能保持很好的温度均匀性，并且加热灯管引线点在真空腔体外，不会因为供电后，在真空腔体内产生两电极打弧起辉现象，也不会因为维护而破坏真空，可以在真空腔体外面更换维护加热装置。
一种高精度快速升温装置

[实用新型]一种保温隔热人防门-CN202020880454.3有效
发明人：黄志聪;吴松 -专利权人：安徽百益科技有限公司
申请日： 2020-05-23 - 公布日： 2021-04-23 - 主分类号： E06B5/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种保温隔热人防门，包括门体和门框，其特征在于：所述门体包括设置在门体中心部的保温腔体，所述保温腔体内部形成空腔，所述空腔内设有真空层，所述真空层内充有保温材料，所述保温腔体两侧设有保温板，所述保温板外部设有隔音板，所述隔音板内填充有隔音棉，所述隔音板的外部设有防护钢板，本实用新型通过设计门体内部设有保温腔体，保温腔体为一种空腔结构，空腔结构内设有真空层，真空层内充有保温材料，保温效果好，在保温腔体的两侧设有保温板，进一步提高了人防门的保温效果，在保温板的外部设有隔音板和防水砂浆，起到隔音、防水效果。
一种保温隔热人防

[实用新型]等离子体增强化学气相沉积设备-CN201721629939.X有效
发明人：胡冬冬 -专利权人：江苏鲁汶仪器有限公司
申请日： 2017-11-29 - 公布日： 2018-08-10 - 主分类号： C23C16/50 文献下载
摘要：本实用新型公开一种等离子体增强化学气相沉积设备，包括：真空腔体(10)，设置有多个加热元件；加热台(20)，设置在真空腔体的内部；匀气装置(30)，设置在真空腔体的内部，并位于加热台的上方，且朝向加热台出气；以及进气装置(40)，设置在真空腔体的外部，并与匀气装置相通，所述等离子体增强化学气相沉积设备还包括：通孔(11)，设置所述真空腔体(10)的位置高于所述加热台(20)的腔壁上，并且通过透明密封件(50)而与真空腔体实现密封连接，以及红外热像仪(60)，其设置在真空腔体的外侧，并经由透明密封件对加热台的温度进行探测。
真空腔体等离子体增强化学气相沉积设备加热台本实用新型透明密封件匀气装置红外热像仪范围比较加热元件进气装置密封连接出气腔壁通孔测量探测相通外部

[实用新型]一种升降式可限制最高真空压力装置-CN201921529001.X有效
发明人：王岩松;郭炳昌 -专利权人：征图新视（江苏）科技股份有限公司
申请日： 2019-09-12 - 公布日： 2020-08-14 - 主分类号： F16K17/12 文献下载
摘要：本实用新型涉及低真空技术领域，尤其是一种升降式可限制最高真空压力装置，底板上叠设有阀座，底板上开设有中心孔，中心孔内设有供真空腔体外大气进入真空腔体内的升降阀盘，升降阀盘在中心孔内上下移动，当真空腔体内部真空压力大于升降阀盘设计的重力时，升降阀盘控制阀盘开启；当真空腔体内部真空压力小于升降阀盘设计的重力时，升降阀盘控制阀盘关闭，利用计算的重力与真空压力作用的关系，设计出一定重量的升降阀盘，可借由升降阀盘重力调节自动升降启闭以达到限制系统内最高真空压力的装置无须依靠人工、经验调节真空腔体内的真空度，自动化程度高，避免设备因真空过高受损，不会对生产产生影响，提高设备的使用寿命，降低投资成本。
一种升降可限制最高真空压力装置

[发明专利]有机半导体器件原位电学性能监测设备-CN202110464112.2有效
发明人：申学礼;迟力峰;王文冲;黄丽珍 -专利权人：苏州大学
申请日： 2021-04-28 - 公布日： 2021-07-20 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明涉及一种有机半导体器件原位电学性能监测设备，包括：真空腔体，提供器件制备及原位监测的真空环境；蒸发源，提供器件制备的原材料；检测组件，包括用于实现原位电学检测的探针、设置在真空腔体外的探针座和带动探针座移动的探针移动台，探针座与真空腔体之间设置有真空波纹管，探针安装在所述探针座上并穿过真空波纹管插入到真空腔体内。可视组件，用于观察位于真空腔体内的探针的位置，调节探针移动台使探针移动到原位电学监测点；监测仪器，与检测组件连接，获取检测组件的检测数据。
有机半导体器件原位电学性能监测设备

[实用新型]一种真空超声微波化学反应器-CN202223202233.9有效
发明人：赵现军 -专利权人：巩义市科瑞仪器有限公司
申请日： 2022-11-29 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： B01J19/12 文献下载
摘要：本实用新型属于化学反应设备技术领域，具体涉及一种真空超声微波化学反应器，包括外壳，所述外壳中具有真空腔体，所述真空腔体中开设有真空抽气孔以及设置有若干个传感器；嵌入式温度控制器、真空控制面板，均设置于所述外壳上；微波发生器，设置于所述外壳内，且连接于所述真空腔体的外顶面；超声波控制器，设置于所述真空腔体外侧并与外壳内壁相连接；若干个超声波振子，连接于所述真空腔体的内底面，本实用新型解决了现有反应器功能单一，只能对特定试验提供加热功能
一种真空超声微波化学反应器

[实用新型]一种高效反应釜-CN201520285274.X有效
发明人：刘海明 -专利权人：刘海明
申请日： 2015-04-24 - 公布日： 2015-08-26 - 主分类号： B01J19/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高效反应釜，包括釜体、第一腔体和第二腔体，所述第一腔体包裹在釜体外部，第二腔体包裹在第一腔体外部，在第一腔体上部左右两端分别设置有热水输送管和冷水输送管，在第二腔体下部连接有抽真空泵，在釜体上平面中央位置安装有座体，所述座体内固定安装有电机，所述电机的下端输出轴上安装有搅拌轴，所述搅拌轴主体位于釜体内部，在搅拌轴下端安装有搅拌叶，本装置通过设置第一空腔和第二空腔，保证了釜体内物料的反应温度
一种高效反应

[发明专利]一种热丝法CVD金刚石过渡层溅射设备及其使用方法-CN201910658839.7在审
发明人：黄仕江;蒋源;袁明 -专利权人：上海妙壳新材料科技有限公司
申请日： 2019-07-22 - 公布日： 2019-11-01 - 主分类号： C23C16/27 文献下载
摘要：本发明公开了一种热丝法CVD金刚石过渡层溅射设备，包括真空腔体、与真空腔体连接的分子泵以及与分子泵连接的机械泵，且工件台上设置有基体，所述基体与真空腔体之间通过位于真空腔体外侧的脉冲偏压电源连接，且真空腔体的内腔左右插接有向下伸出的位于工件台左右两侧的两个灯丝电极，两个灯丝电极的下端之间通过灯丝电源连接，且两个灯丝电极的上端之间通过灯丝连接，所述真空腔体内充满反应气体。其使用方法包括以下步骤：S1预抽真空、S2温度设置、S3溅射设置、S4灯丝设置和S5溅射。该发明，提高了金刚石基体的结合力，提高了金刚石的纯度和厚度，相对于专门的设备，这里成本更低，便于普及。
真空腔体灯丝电极溅射设备分子泵过渡层热丝法灯丝溅射脉冲偏压电源金刚石基体金刚石灯丝电源反应气体温度设置预抽真空左右两侧工件台机械泵结合力真空腔上端插接内腔下端伸出体内

[实用新型]一种真空蒸发镀膜设备-CN202122006653.9有效
发明人：陶利松 -专利权人：杭州乾智新材料研究有限公司
申请日： 2021-08-25 - 公布日： 2022-04-29 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本实用新型公开一种真空蒸发镀膜设备，包括真空腔体，所述真空腔体内顶部设有中心回转机构，中心回转机构下端连接有用于放置待镀膜基板的工件盘，真空腔体内底部两侧均设有用于蒸发镀膜材料的蒸发装置，真空腔体内底部中央设有离子源装置，真空腔体内设有加热装置，所述蒸发装置包括电子发生器、罐状水冷机构，罐状水冷机构环绕设于电子发生器外围，工件盘设有温度传感器，真空腔体外设有控制器，控制器分别与温度传感器、罐状水冷机构连接。
一种真空蒸发镀膜设备

[发明专利]一种背栅极式可栅控冷阴极X射线管-CN201110397661.9有效
发明人：李驰;张研 -专利权人：李驰;张研
申请日： 2011-12-05 - 公布日： 2012-04-18 - 主分类号： H01J35/04 文献下载
摘要：一种背栅极式可栅控X射线管，包括真空腔体、阳极组件、阴极组件、电源与散热系统，所述阳极组件一端处在真空腔体之外，用于连接所需电源与散热系统，另一端封装在真空腔体内；阳极组件包括阳极靶，阳极金属罩以及阳极连接柱；其中阳极靶用于产生X射线，其镶嵌在阳极金属罩内，在于所述阴极组件包括阴极基片、阴极托、阴极罩、绝缘陶瓷柱以及引出电极；阴极组件的引出电极部分在真空腔体外，阴极组件的其他部件均被封装在真空腔体内；所述阴极基片中集成了碳纳米发射体
一种栅极式可栅控冷阴极射线

[实用新型]使用于真空腔体之芯片压合装置-CN200720004993.5无效
发明人：范志文;吴金龙 -专利权人：聚昌科技股份有限公司
申请日： 2007-03-08 - 公布日： 2008-06-11 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：一种使用于真空腔体之芯片压合装置，该芯片压合装置包含：一承置部，设置于该真空腔体内，该承置部的上方置放一第一芯片，并在该第一芯片上方置放一第二芯片；一压合部，设置于该真空腔体内；复数个连动轴，其一端固定于该压合部，并贯穿该承置部及该真空腔体而延伸出该真空腔体外；以及一下拉机构，该些连动轴的另一端固定于该下拉机构，该下拉机构使该些连动轴上下移动，而带动该压合部上下移动，以压合该压合部与承置部之间之该第一芯片与该第二芯片
使用空腔芯片装置

[实用新型]一种溅射源靶材独立更换机构-CN202023043505.6有效
发明人：陈炜烽;刘毅 -专利权人：厦门海辰智能科技有限公司
申请日： 2020-12-16 - 公布日： 2021-10-26 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明提供一种溅射源靶材独立更换机构，其包括真空腔体，真空腔体内固定设置有一个内腔体，内腔体内部设置有一个用于镀膜的溅射源，溅射源可拆卸设置于内腔体内，内腔体的一端面与真空腔体端面相接，内腔体与真空腔体内壁相接的端面上设置有一个供溅射源穿过的通道，通道与外部相通，通道处设置有一块可拆卸的压板，压板与通道密封连接；内腔体的侧壁上设置有一个缺口，缺口处设置有一块转动的用于密封缺口的盖板。在对损坏的溅射源进行检修和更换时，保证真空腔体在溅射源维修时真空环境得到保持，节约降温抽真空及回温泄真空的时间；磁控溅射源空间独立，靶材异常时，不需要整体停机，可以连续性生产，提高生产效率，减少产品报废
一种溅射源靶材独立更换机构

[发明专利]一种密封环及其制备方法-CN202210926902.2在审
发明人：张赛谦;吕光泉 -专利权人：拓荆科技股份有限公司
申请日： 2022-08-03 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：所述密封环安装于真空腔体的本体和盖体之间，在所述盖体闭合时形变以密封所述真空腔体。所述密封环中包括导电部及绝缘部。所述导电部朝向外部环境，并在所述盖体闭合时接触所述本体和所述盖体。所述绝缘部朝向所述真空腔体内部的真空环境，并在所述盖体闭合时阻隔所述导电部与真空环境的接触。本发明能够在狭窄的空间内实现密封和导电的功能，并避免对真空腔体内部的真空环境造成金属污染。
一种密封及其制备方法

[实用新型]传输装置以及真空系统-CN202120266991.3有效
发明人：张勇;刘兵吉;廖凯 -专利权人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2021-01-29 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型公开了传输装置以及真空系统，其中，传输装置可安装到真空腔体，并在所述真空腔体内传输载具，包括：驱动部，设置在所述真空腔体的外部；多个轨道部，设置在所述真空腔体内，所述轨道部支撑并传输所述载具，多个所述轨道部当中，其中一个所述轨道部设置有主传动轴，所述主传动轴和所述驱动部连接并被所述驱动部驱动；传动部，设置在所述真空腔体内，可拆卸地连接所述轨道部，以使所述驱动部经由所述主传动轴驱动多个所述轨道部
传输装置以及真空系统

[发明专利]运用于智能家居的气压感应中间装置-CN201810909760.2在审
发明人：梁静 -专利权人：绵阳鹏志远科技有限公司
申请日： 2018-08-10 - 公布日： 2018-11-02 - 主分类号： A47J27/08 文献下载
摘要：本发明公开了运用于智能家居的气压感应中间装置，包括腔体，所述腔体内腔为圆柱腔体；腔体顶部与底部都设置有连接螺杆，所述连接螺杆中空且两端开口；所述腔体内设置有真空腔；所述真空腔顶部设置有弹簧，所述弹簧穿过顶部连接螺杆的中空处作用于外部压力感应器；所述真空腔的底部连接有传动杆，传动杆外壁与连接螺杆的内壁滑动连接；所述传动杆底端设置有感压片。通过感压片感受压力，感压片将压力以此传给传动杆、真空腔、弹簧，实现压力感应的转换，通过真空腔，有效防止热传递，使用该装置，使得外部电路元器件不直接接触热源，保证工作温度，在高温环境中检测压力使，电路系统不适合直接应用在检测对象上的问题
真空腔连接螺杆传动杆弹簧气压感应智能家居中间装置感压不直接接触传动杆底端底部连接电路系统顶部设置高温环境检测对象两端开口内壁滑动腔体顶部腔体内腔外部电路外部压力压力感应圆柱腔体感应器热传递中空处热源中空元器件腔体外壁压片体内穿过检测转换应用保证

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