[实用新型]一种用于PLD中可实现与脉冲激光同步的脉冲气路装置有效
| 申请号： | 202022222549.9 | 申请日： | 2020-10-04 |
| 公开（公告）号： | CN213416998U | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 谢雪琴 | 申请（专利权）人： | 谢雪琴 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28;C23C14/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 342400 江西省*** | 国省代码： | 江西;36 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于PLD中可实现与脉冲激光同步的脉冲气路装置，包括真空腔体，所述真空腔体下端一侧连接有连续进气管，所述真空腔体一侧内壁固定设有脉冲进气喷嘴，且所述脉冲进气喷嘴一端正对靶材，所述脉冲进气喷嘴另一端伸出所述真空腔体外且通过法兰固定连接有脉冲进气管，所述脉冲进气管中部安装有气动隔膜阀，所述气动隔膜阀连接气压管，所述气压管中部安装有电动隔膜阀，所述电动隔膜阀与气体激光触发控制盒控制连接。有益效果：实现了在不影响氧化物薄膜正常生长的条件下，对薄膜进行有效的原位氮离子掺杂改性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 pld 实现 脉冲 激光 同步 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于谢雪琴，未经谢雪琴许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202022222549.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种PET广口瓶
- 下一篇：一种用于微创手术中的穿刺定位片
- 同类专利
- 专利分类
