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- [发明专利]镀膜装置-CN200780034208.3无效
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吉本信彦;唐泽均;小林幸司;土肥瑞穗;原田仁
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本田技研工业株式会社
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2007-08-22
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2009-08-26
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C25D17/00
- 提供一种可以对轴状构件的表面高速施加具有均一厚度和均一组分的磁性合金镀膜的镀膜装置。镀膜装置(1)具有积存镀膜液(2)的镀膜槽(3)，是以浸渍在镀膜液中的轴状构件(5)为阴极对该轴状构件(5)施以磁性合金镀膜的镀膜装置。镀膜装置(1)具有：以轴状构件(5)为旋转轴进行旋转的旋转机构(6)；安装在轴状构件(5)的外周面上的环状的遮蔽夹具(13)、(14)、(15)；具有镀膜液喷口(27)的镀膜液喷嘴(11)，该镀膜液喷口(27)避开所述遮蔽夹具(13)、(14)、(15)并与轴状构件(5)相对配置；设置在轴状构件(5)和镀膜液喷嘴(9)周围的阳极(10)。
- 镀膜装置
- [发明专利]镀膜装置-CN200910308028.0无效
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裴绍凯
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鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
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2009-09-30
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2011-04-27
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C23C14/56
- 一种镀膜装置，其包括镀膜室、承载装置、溅镀装置及蒸镀装置。承载装置包括固定板及用于承载镀膜工件的第一承载盘。固定板将镀膜室分隔成蒸镀腔和溅镀腔溅镀装置设置于溅镀腔内。蒸镀装置与所述蒸镀腔对应连通。所述固定板开设有连通蒸镀腔和溅镀腔的镀膜通孔。第一承载盘可转动地安装于镀膜室内并位于镀膜通孔附近，以使第一承载盘通过转动可选择性地遮蔽或者暴露所述镀膜通孔。从而当所述第一承载盘暴露所述镀膜通孔时，使得第一承载盘承载的镀膜工件暴露于蒸镀腔和溅镀腔中的一个，并且当使得第一承载盘遮蔽所述镀膜通孔时，所述第一承载盘承载的镀膜工件通过镀膜通孔暴露于蒸镀腔和溅镀腔中的另一个
- 镀膜装置
- [发明专利]镀膜装置-CN201711080631.9有效
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白金亮;李硕;于甄;常家华
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张家港康得新光电材料有限公司
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2017-11-06
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2021-04-02
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B05B13/02
- 本发明提供了一种镀膜装置，镀膜装置用于向膜基材上喷涂镀膜原料，镀膜装置包括箱体、转鼓、镀膜喷头和热量反射部，其中，箱体具有真空腔，转鼓可转动地设置在真空腔内，膜产品贴附在转鼓的外表面以随转鼓运动，镀膜喷头设置在真空腔内，且镀膜喷头的喷射端朝向转鼓的外表面设置，以向膜产品的背离转鼓一侧的表面喷涂镀膜原料，热量反射部设置在真空腔内，并位于镀膜喷头的背离转鼓的一侧，以将真空腔内的热量集中汇聚并辐射至镀膜喷头处而起到对镀膜喷头加热的作用本发明解决了现有技术中的镀膜作业过程中，镀膜原料容易在膜产品的表面出现聚集或凝结的现象，从而导致镀膜作业的效果差的问题。
- 镀膜装置
- [发明专利]镀膜装置-CN201010147631.8无效
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裴绍凯
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鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
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2010-04-15
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2011-10-19
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C23C14/24
- 本发明提供一种镀膜装置，其包括两个镀膜腔室、一个隔板、一个蒸镀源、一个溅镀靶材、两个承载板及两个驱动装置。隔板设置于两个镀膜腔室之间，其开设有一个连通两个镀膜腔室的镀膜口。蒸镀源与镀膜靶材分别相对于隔板设置在两个镀膜腔室内。两个承载板设置于其中一个镀膜腔室内且关于镀膜口对称地、转动地连接于隔板。每个承载板开设有一个与镀膜口形状及大小匹配的承载槽，用于承载一个基材。每个驱动装置用于驱动对应一个承载板在对应的一个第一镀膜位置及一个第二镀膜位置之间转动。承载板位于对应的第一镀膜位置时，承载槽与隔板相背。承载板位于对应的第二镀膜位置时，承载槽与隔板相对，且与镀膜口对齐连通。
- 镀膜装置
- [实用新型]镀膜装置-CN202320412379.1有效
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汪晨洁;余海春;杨启忠;戴晓东
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光驰科技（上海）有限公司
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2023-03-07
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2023-07-21
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C23C14/35
- 本实用新型公开了镀膜装置，该镀膜装置用于对曲面基板进行镀膜，镀膜装置包括镀膜室，镀膜室包括与曲面基板的待镀膜面的延伸方向形成对应关系的镀膜源，以及膜厚修正机构，膜厚修正机构包括第一膜厚修正板和第二膜厚修正板，第一膜厚修正板设置于镀膜源的开口的周边区域，第二膜厚修正板设置于第一膜厚修正板和曲面基板之间；沿曲面基板的待镀膜面的延伸方向，第一膜厚修正板被配置为能够修正曲面基板的第一区域，第二膜厚修正板被配置为能够修正曲面基板的第二区域，第二区域包括曲面基板的待镀膜面的波峰区域和/或波谷区域。能够有效提升整个曲面基板的待镀膜面的膜厚均匀性。
- 镀膜装置
- [发明专利]镀膜装置-CN200810302100.4无效
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简士哲
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鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
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2008-06-11
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2009-12-16
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C23C14/22
- 本发明提供了一种镀膜装置，其包括：一用于支撑待镀工件的镀膜伞架、多个连接件、一支架及一检测装置。所述每个连接件具有第一端部及与其相对的第二端部，所述第一端部连接于所述镀膜伞架的顶部，所述第二端部设有外螺纹。所述支架开设有螺纹孔，所述多个连接件的第二端部螺合入所述支架的螺纹孔中，以悬吊所述镀膜伞架。所述检测装置，用于检测所述连接件旋入或旋出所述支架的过程中，所述镀膜伞架是否保持水平。相较于现有技术，所述的镀膜装置由检测装置判断镀膜伞架是否为水平位置，并通过所述多个连接件实现镀膜伞架的水平位置调整，避免了在镀膜制程中由于镀膜伞架的倾斜而造成的待镀工件表面镀膜厚度的差异，进一步提高了镀膜精度
- 镀膜装置
- [发明专利]镀膜装置-CN200910304589.3无效
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裴绍凯
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鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
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2009-07-21
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2011-02-02
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C23C14/56
- 一种镀膜装置，其包括一个支架，多个镀膜腔体，多个独立的传送带，多个转台，以及至少一个承载盘。所述多个镀膜腔体间隔设置在所述支架上，每个镀膜腔体包括一个舱门。所述多个传送带环绕所述每个镀膜腔体设置在所述支架上并延伸至每一个镀膜腔体的舱门外。所述多个转台分别设置在每两条相互独立的传送带之间。所述至少一个承载盘承载在所述传送带上，并在所述传送带的带动下依次进入所述多个镀膜腔体对承载在承载盘上的工件镀膜。本发明镀膜装置通过铺设在镀膜腔体外围并延伸至镀膜腔体的舱门前的传送带配合转台来实现承载盘在多个镀膜腔体之间的自动转换，从而使多个镀膜腔体彼此分开设置，避免了镀膜气体的污染从而提高了镀膜的质量。
- 镀膜装置
- [发明专利]镀膜装置-CN201010300807.9无效
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裴绍凯
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鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
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2010-01-27
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2011-07-27
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B05B17/04
- 本发明提供一种镀膜装置用于对至少二个待镀膜基板进行镀膜。镀膜装置包括一容器。容器包括侧壁及一盖体。至少二个待镀膜基板固设于所述侧壁内。盖体可拆装地锁固在侧壁的开口端。该盖体中心开设有一螺孔。镀膜装置还包括一膜料雾化装置及一驱动装置。该膜料雾化装置包括一雾化部及一喷雾部。雾化部用于将膜料液雾化。喷雾部用于喷射所述雾化部雾化的膜料液。所述驱动装置包括一主体部及一丝杠。丝杠可相对主体部转动。丝杠旋转连接至所述膜料雾化装置，以使膜料雾化装置在容器内旋转，同时在容器内上下移动，以使膜料液覆盖待镀膜基板。本发明的镀膜装置可同时对多个基板进行镀膜。
- 镀膜装置
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