专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种磁流体轴-CN202210417198.8在审
  • 桑康;胡冬冬;陈龙保;刘朋飞;王铖熠;程实然;郭颂;许开东 - 江苏鲁汶仪器股份有限公司
  • 2022-04-20 - 2023-10-27 - F16C35/12
  • 本发明公开一种磁流体轴,包括内轴和外轴,所述外轴外套安装于所述内轴,且所述外轴和所述内轴之间设置有若干沿轴向间隔设置的轴承,至少两个相邻的所述轴承之间填充有磁流体,所述外轴和所述内轴中的至少一者设置有冷却通道,用于通入冷却介质。采用这种方案,在需要进行冷却时,可以向该冷却通道内通入冷却介质,以降低磁流体轴的温度,从而可以保证磁流体轴在高温环境中的使用性能和寿命,使得该磁流体轴可以在离子束蚀刻和离子束沉积这两种不同的工艺中使用,能够大幅提高该磁流体轴的适用性。
  • 一种流体
  • [发明专利]一种晶圆载台装置-CN202210417216.2在审
  • 桑康;胡冬冬;陈龙保;刘朋飞;王铖熠;程实然;郭颂;许开东 - 江苏鲁汶仪器股份有限公司
  • 2022-04-20 - 2023-10-27 - H01L21/687
  • 本发明公开一种晶圆载台装置,包括:与大气环境相连通的壳体组件,所述壳体组件包括支撑板;旋转台组件,用于支撑晶圆;磁流体轴,包括内轴和外轴,所述内轴和外轴之间设置有磁流体,所述外轴密封装配于所述支撑板,所述内轴具有伸入所述壳体组件内的第一端部和伸出所述壳体组件外的第二端部,所述第二端部与所述旋转台组件相连;驱动组件,位于所述壳体组件内,所述驱动组件具有驱动轴,所述驱动轴与所述内轴平行设置,且所述驱动轴与所述第一端部传动连接。上述晶圆载台装置可以方便装配和维护,且具备较高的集成度,体积可以较小,占用空间可以较少。
  • 一种晶圆载台装置
  • [发明专利]一种晶圆载台装置-CN202210415919.1在审
  • 桑康;胡冬冬;陈龙保;刘朋飞;王铖熠;程实然;郭颂;许开东 - 江苏鲁汶仪器股份有限公司
  • 2022-04-20 - 2023-10-27 - H01L21/687
  • 本发明公开一种晶圆载台装置,包括:与大气环境相连通的壳体组件,包括支撑板;旋转台组件,包括支撑台和压接部,压接部用于将晶圆压紧于支撑台;第一磁流体轴,包括转动密封的第一内轴和第一外轴,第一外轴密封装配于支撑板,第一内轴具有伸入壳体组件内的第一端部和伸出壳体组件外的第二端部,第二端部与旋转台组件相连;升降组件,升降组件包括主体部分和升降体,主体部分位于壳体组件内,升降体与支撑板或者第一外轴滑动密封,且升降体能够与压接部相作用;遮挡组件,包括挡板,挡板被配置为可转动地装配于支撑板,以在转动至与旋转台组件相对的第一工位和与旋转台组件相错开的第二工位之间进行切换。
  • 一种晶圆载台装置
  • [发明专利]一种晶圆载台装置-CN202210417221.3在审
  • 桑康;胡冬冬;陈龙保;刘朋飞;王铖熠;程实然;郭颂;许开东 - 江苏鲁汶仪器股份有限公司
  • 2022-04-20 - 2023-10-27 - H01L21/687
  • 本发明公开一种晶圆载台装置,包括:旋转台组件,包括支撑台和压接部,所述支撑台用于支撑晶圆,所述压接部用于压紧所述晶圆;磁流体轴,包括内轴和外轴,所述内轴和外轴之间设置有磁流体,所述内轴包括端部件和筒状件,二者围合形成容纳空间;升降组件,包括主体部分和升降体,所述主体部分位于所述容纳空间,所述升降体可滑动地密封装配于所述端部件,所述升降体与所述压接部相作用。上述晶圆载台装置可以更为充分地对内轴的内部空间进行利用,以提高设备的结构紧凑性和集成度,能够有效地缩减晶圆载台装置的占用空间,以便于安装。
  • 一种晶圆载台装置
  • [发明专利]一种晶圆位置校准方法及设备-CN202311011509.1有效
  • 李全腾;朱小庆;刘好好;刘海洋;胡冬冬;许开东 - 江苏鲁汶仪器股份有限公司
  • 2023-08-11 - 2023-10-24 - H01L21/68
  • 本申请提供一种晶圆位置校准方法及设备,晶圆放置于晶圆载台,方法包括:控制超声波发生器向晶圆发射第一声波,由于超声波发生器、超声波接收器和晶圆部分交叠,因此第一声波具有未被晶圆阻挡的部分,可以控制超声波接收器接收未被晶圆阻挡的第一声波。根据未被晶圆阻挡的第一声波计算得到晶圆的中心位置偏移晶圆载台的中心位置的偏移方向和偏移值,就可以根据偏移方向和偏移值定位晶圆在晶圆载台上的位置,实现利用超声波对晶圆的精准定位。在对晶圆定位之后,可以控制机械手臂根据偏移方向和偏移值调整抓取晶圆的位置信息,也就是说,对机械手臂抓取晶圆的位置进行校准,从而实现晶圆在传输过程中进行稳定且高精度的定位和校准。
  • 一种位置校准方法设备
  • [发明专利]一种改进型钢管衔接器-CN202310725746.8在审
  • 王玉兰;胡冬冬;高玉梅;韩玉美 - 山东创赢科技信息有限公司
  • 2023-06-19 - 2023-10-20 - F16L21/06
  • 本发明公开了一种改进型钢管衔接器,属于衔接器技术领域。一种改进型钢管衔接器,包括:连接在两个待连接管之间的定位环;其中,所述定位环上设有卡接槽,所述待连接管插接在卡接槽内;卡接在所述定位环上的衔接套;其中,所述衔接套的两端均滑动连接有检测杆,所述检测杆上固定连接有检测弹簧,所述检测弹簧的另一端固定连接在衔接套上;本发明通过设置的定位环及检测杆,能够对衔接套的连接进行定位,保证衔接套位于两个待连接管之间,使得衔接套的两侧接触面相通,受压相近,且通过检测杆的滑动及其上的刻度线,便于对衔接套两端的弯折进行记录,且在衔接套弯折时,能够保证衔接套的密封效果。
  • 一种改进型钢管衔接
  • [实用新型]一种电压采集电路-CN202321353902.4有效
  • 顾强;马金涛;胡冬冬;张海燕;吴增霆;镇霄武 - 安徽固太新能源有限公司
  • 2023-05-30 - 2023-10-13 - G01R19/00
  • 本实用新型公开了一种电压采集电路,包括电阻R1、电阻R3、电阻R4、电阻5和运算放大器U1。电阻R1的第一端口用于与被测电压的正极电连接,电阻R1的第二端口与运算放大器U1的同相输入端电连接;电阻R3的第一端口用于与被测电压的负极电连接,电阻R3的第二端口与运算放大器U1的反相输入端电连接;电阻R4的第一端口与运算放大器U1的反相输入端电连接,电阻R4的第二端口与所述运算放大器U1的输出端电连接;运算放大器U1的负电源接地;电阻R5的第一端口与电阻R1的第二端口电连接,电阻R5的第二端口接地。本实用新型使用简单的电路和计算方式使处理器能够检测不共地的负压,极大的提高了电压采集的效率。
  • 一种电压采集电路
  • [实用新型]电池壁挂安装架及壁挂安装组件-CN202321353895.8有效
  • 姚宏宇;胡春辉;施熙晗;汤裕石;羌旗鑫;张冲;胡冬冬 - 安徽固太新能源有限公司
  • 2023-05-30 - 2023-10-10 - H01M50/289
  • 本实用新型提供了一种电池壁挂安装架及壁挂安装组件,电池壁挂安装架包括壁挂架、用以固定安装在电池顶端的挂耳、用以固定安装在电池底端的支架、支撑螺丝,壁挂架包括用以与墙壁固定的固定板、沿水平方向与固定板间隔设置的挂板、沿水平方向与固定板间隔设置支架板,挂板位于固定板的上端,用以挂住挂耳,支架板设置在固定板的下端,支架板上开设有螺丝孔,用以供支撑螺丝穿过,支架上设有支撑口,支撑口具有朝下的开口以供支撑螺丝穿过进入支撑口。本实用新型的电池壁挂安装架,仅仅使用壁挂架配合挂耳和支架即可完成电池安装,使得包装简单运输方便,同时现场组装时操作简单。
  • 电池壁挂安装组件
  • [发明专利]一种传输阀-CN202310830212.1在审
  • 方传阳;胡冬冬;卢昕雨;叶鹏;吕康理;李浩;朱小庆;许开东 - 江苏鲁汶仪器股份有限公司
  • 2023-07-07 - 2023-10-03 - F16K1/00
  • 本发明公开了一种传输阀,包括阀体、单侧密封板和双侧密封板,所述阀体设有第一端口和第二端口,所述单侧密封板用于密封所述第一端口,所述双侧密封板包括第一密封板和第二密封板,所述第一密封板和第二密封板用于密封所述第一端口和第二端口;所述阀体内部设有升降机构,所述第一密封板和第二密封板通过横向伸缩机构安装于所述升降机构,所述第一密封板和第二密封板分别通过能够分离和结合的对接结构与所述横向伸缩机构相连接。该传输阀在排查相邻腔室间出现漏点的情况时,能够实现漏点的准确定位,提高排查效率,而且,在拆装阀体时,不会破坏腔室内部的真空环境,从而保证晶圆生产质量的稳定性。
  • 一种传输
  • [发明专利]一种自动贴合机-CN202310098277.1有效
  • 胡冬冬;林凯声 - 江苏派鑫电子新材料科技有限公司
  • 2023-02-10 - 2023-09-26 - B29C63/02
  • 本发明涉及自动贴合机,包括底部框架,底部框架的中部固定设置有第一工作台,底部框架的顶部固定设置有第二工作台,第一工作台的顶部设置有对材料进行除尘和除静电的清理机构,清理机构的两端均设置有对材料进行张紧的导向机构,第二工作台与第一放料组件和第一收料组件之间设置有控制材料贴合位置的纠偏机构;解决了现有的贴合机中,大多用于胶带、离型膜、PC、PET、保护膜等的贴合使用,但是缺少对材料表面灰尘和静电的处理,因此难以满足高洁净度的扩散膜等光学材料的贴合需求,并且贴合过程中材料发生偏移时,只能进行停产重新上料,导致增加时间成本,降低生产效率等问题。
  • 一种自动贴合
  • [发明专利]离子源挡板装置和离子束刻蚀机-CN202311079064.0在审
  • 赵长喜;胡冬冬;李娜;刘好好;耿斌;程实然;陈龙保;许开东 - 江苏鲁汶仪器股份有限公司
  • 2023-08-25 - 2023-09-19 - H01J37/32
  • 本发明公开了离子源挡板装置和离子束刻蚀机,离子源挡板装置包括基础件和叶片;叶片为多个,并分别能沿预设轨迹运动地安装于基础件;其中,叶片能围成开口,且各叶片沿预设轨迹运动后能调节上述开口的尺寸。上述离子源挡板装置中,各叶片分别能沿预设轨迹运动地安装于基础件,叶片围成的开口能通过各叶片沿预设轨迹运动实现调节尺寸,从而使开口的尺寸能与不同尺寸的晶圆适配,既不影响离子束穿过开口到达晶圆处进行刻蚀,又避免离子束刻蚀到未被晶圆覆盖的晶圆载台区域,保护晶圆载台免受损伤。本发明公开的离子束刻蚀机应用上述离子源挡板装置,能提高晶圆载台的使用寿命。
  • 离子源挡板装置离子束刻蚀

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