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[实用新型]一种真空等离子机纠偏系统的轴向运动的密封结构-CN202220668210.8有效
发明人：罗正刚;潘广艺 -专利权人：苏州福莱科斯电子科技有限公司
申请日： 2022-03-24 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： F16J15/3284 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种轴向运动的密封结构，尤其涉及一种真空等离子机纠偏系统的轴向运动密封结构。本实用新型采用的技术方案是：一种真空等离子机纠偏系统的轴向运动密封结构，包括轴向运动轴、真空腔体侧板、腔体内部连接法兰、腔体外部连接法兰，所述轴向运动轴依次穿过所述腔体外部连接法兰、真空腔体侧板以及腔体内部连接法兰，所述轴向运动轴位于真空腔体侧板外部的轴身的端部与纠偏机相连接，所述腔体内部连接法兰内部设有密封组件Ⅰ，所述腔体外部连接法兰内部设有密封组件Ⅱ。本实用新型的优点是：结构合理，彻底解决了真空等离子设备腔体内外轴向运动的传动以及密封还有耐腐蚀性的要求，测试轴向运动时的真空密封效果可达到零泄露。
一种真空等离子纠偏系统轴向运动密封结构

[实用新型]腔体真空度调整装置、真空腔体以及真空镀膜机-CN202121923046.2有效
发明人：蒋毅;刘伟基;冀鸣;赵刚;易洪波;陆其彬 -专利权人：佛山市博顿光电科技有限公司;中山市博顿光电科技有限公司
申请日： 2021-08-16 - 公布日： 2022-04-26 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本申请涉及一种腔体真空度调整装置、真空腔体以及真空镀膜机；该腔体真空度调整装置，包括：设于真空腔体内的百叶调节机构，以及设于真空腔体外部的驱动装置；所述百叶调节机构安装在真空腔体的抽风口前，并固定在真空腔体内部的侧壁上；所述驱动装置通过传动轴连接所述百叶调节机构；其中所述传动轴与真空腔体外壳之间设有密封装置；所述驱动装置驱动所述传动轴进行转动，控制所述百叶调节机构的叶片的开合度，控制抽真空系统的抽气速度以调整真空腔体内的真空度；该技术方案避免了对真空腔体内部环境污染，为镀膜过程提供稳定良好的真空环境，能够明显提升真空镀膜机的镀膜质量。
真空调整装置空腔以及真空镀膜

[发明专利]PECVD镀膜装置及其射频电源与真空腔体的连接装置-CN201210544019.3有效
发明人：刘高水;陈宇 -专利权人：广东志成冠军集团有限公司
申请日： 2012-12-14 - 公布日： 2013-04-03 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明公开一种PECVD镀膜装置，包括真空腔体和射频电源，真空腔体与射频电源之间设置连接装置，连接装置拆卸式固定在真空腔体外部，连接装置包括屏蔽套，在屏蔽套内设置绝缘套，绝缘套内设置引入电极，引入电极的一端伸入到真空腔体内通过将连接装置设置在真空腔体外部，使得连接装置拆装方便，连接可靠，使引入电极与匹配器入口接头的接头设置在绝缘套和屏蔽套的内部密封腔体内，使得整个连接装置的绝缘和屏蔽效果好，无辐射污染，射频电源的传输过程中没有损失
pecvd 镀膜装置及其射频电源空腔连接

[实用新型]一种过氧化氢浓度传感器校准装置-CN202122997177.1有效
发明人：陈训龙;叶武青;袁鑫;朱靓;夏信群;叶大林 -专利权人：浙江泰林分析仪器有限公司
申请日： 2021-11-25 - 公布日： 2022-06-10 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种过氧化氢浓度传感器校准装置，包括真空腔体，真空腔体外设有包裹真空腔体的温浴腔，温浴腔底部或靠近底部设有注水口、所述的温浴腔上部或靠近上部设有出水口，温浴腔上设有连通注水口与出水口的螺旋通道，所述的真空腔体内设有温度传感器。本实用新型在真空腔体外设有包裹真空腔体的温浴腔，在温浴腔底部或靠近底部设有注水口、及温浴腔上部或靠近上部设有出水口，温浴腔上设有连通注水口与出水口的螺旋通道，通过注水口注入热水，热水可通过螺旋通道从出水口出去，可使热水准确、无误的沿螺旋通道完全循环于真空腔体外部。在螺旋通道内快速完全循环的热水可保持真空腔体内各处温度相对均衡，有益于过氧化氢浓度的监测。
一种过氧化氢浓度传感器校准装置

[发明专利]一种真空环境下实验平台微应变实时监测装置及方法-CN201910165008.6在审
发明人：魏韦;周浩敏 -专利权人：南京聚科光电技术有限公司
申请日： 2019-03-05 - 公布日： 2019-04-26 - 主分类号： G01B11/16 文献下载
摘要：本发明公开一种真空环境下实验平台微应变实时监测装置，包括真空腔体、实验平台、应变传感器、温度补偿传感器以及光纤光栅分析仪；所述真空腔体为抽真空罐体，所述真空腔体内部设置实验平台，所述实验平台上安装有温度补偿传感器和应变传感器，所述温度补偿传感器将检测的温度数据转换成温度光信号，并通过第一传输光缆将温度光信号输送至位于真空腔体外部的光纤光栅分析仪，所述应变传感器将检测的应变数据转换成应变光信号，并通过第二传输光缆将应变光信号输送至位于真空腔体外部的光纤光栅分析仪
实验平台光纤光栅分析仪温度补偿传感器应变传感器实时监测装置真空腔体外部传输光缆信号输送真空环境真空腔体微应变抗电磁干扰温度数据应变数据抽真空体积小体内部真空腔转换检测罐体

[实用新型]一种水冷型高热导等离子体反应腔-CN202221202417.2有效
发明人：汪晓平;王振中 -专利权人：长三角先进材料研究院
申请日： 2022-05-19 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种水冷型高热导等离子体反应腔，包括反应腔体、冷却基底和真空腔室，反应腔体的开口端朝向真空腔室且延伸至真空腔室内，冷却基底套装在反应腔体的外部，且冷却基底的上表面与真空腔室的开口端相互接触，将反应腔体和真空腔室内部的空腔连通成一个整体；在与反应腔体外壁接触的冷却基底内壁面开设冷却腔，冷却腔环绕反应腔体外壁面设置且冷却腔内的冷却液可以直接与反应腔体直接接触；本申请中冷却基底和反应腔体也选用高热导性材料，通过冷却液与高热导的反应腔体直接接触冷却，能够大幅度提高冷却效果。
一种水冷高热等离子体反应

[发明专利]一种超高真空设备-CN202010436585.7有效
发明人：王璇;邱恒山;陆彬 -专利权人：郑州大学
申请日： 2020-05-21 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： B01D7/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于真空环境下的外部加热装置及超高真空设备，超高真空设备包括真空腔体和外部加热装置，外部加热装置包括加热单元，加热单元包括用于与真空腔体连通的供靶材放置的壳体管，壳体管的一端为盲端，壳体管的外壁上设置有加热结构靶材放置于壳体管中，通过加热结构对壳体管中的靶材进行加热，在真空腔体外部对目标靶材加热，无需引入真空密封电极，大大简化了超高真空设备的结构，降低了成本，同时也简化了操作，使用方便。
一种超高真空设备

[实用新型]一种裂解炉墙体结构-CN202222786046.3有效
发明人：张佳迅;罗启文;刘波;陈炳华;马宇翔;刘泽攀 -专利权人：中国石油化工股份有限公司;中国石化上海石油化工股份有限公司
申请日： 2022-10-21 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： C10G9/18 文献下载
摘要：本实用新型专利为一种裂解炉墙体结构，包括炉内衬、炉墙板、真空腔体；所述炉内衬为耐火及保温材料组成，设置在炉体内侧，起第一层隔热保温作用；所述炉墙板为炉墙的支撑结构；所述真空腔体为封闭腔体，内置局部支撑块，真空腔体外部连接压力表及导淋，导淋外部连接抽真空设备，压力表指示腔体内的真空度，真空腔体起第二层隔热保温作用。
一种裂解炉墙体结构

[实用新型]等离子体籽晶清洗设备-CN202223507220.2有效
发明人：袁刚俊;苏兆鸣 -专利权人：通威微电子有限公司
申请日： 2022-12-27 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： B08B7/00 文献下载
摘要：等离子体籽晶清洗设备包括真空腔体、进气管、筒形电极、石英舟和等离子体发生器，进气管从真空腔体的外部插入真空腔体内部，进气管用于向真空腔体内输入气体；筒形电极安装在真空腔体内，筒形电极的内部形成电离清洗区；石英舟安装在筒形电极内，石英舟用于承载籽晶，使籽晶处于电离清洗区内；等离子体发生器位于真空腔体外部、且连接到筒形电极，使筒形电极将电离清洗区内的气体电离成等离子体，以清洗籽晶。
等离子体籽晶清洗设备

[实用新型]一种自动收放卷真空干燥机-CN201420619863.2有效
发明人：陈磊 -专利权人：河南鼎能电子科技有限公司
申请日： 2014-10-24 - 公布日： 2015-04-08 - 主分类号： F26B13/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了本实用新型提供了一种自动收放卷真空干燥机，包括外壳、密封门、真空腔体、加热系统，真空腔体设在外壳内，加热系统设在真空腔体外后下部，由电加热管、风机、热风循环通道组成，真空腔体内设有放卷机构、收卷机构、过辊，过辊设在放卷机构和收卷机构之间；放卷机构的放卷气涨轴和收卷机构的收卷气涨轴分别经密封件连接真空腔体外部的磁粉离合器，磁粉离合器连接收放卷动力机构。
一种自动收放卷真空干燥机

[实用新型]PECVD镀膜装置及其射频电源与真空腔体的连接装置-CN201220694335.4有效
发明人：刘高水;陈宇 -专利权人：广东志成冠军集团有限公司
申请日： 2012-12-14 - 公布日： 2013-06-05 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本实用新型公开一种PECVD镀膜装置，包括真空腔体和射频电源，真空腔体与射频电源之间设置连接装置，连接装置拆卸式固定在真空腔体外部，连接装置包括屏蔽套，在屏蔽套内设置绝缘套，绝缘套内设置引入电极，引入电极的一端伸入到真空腔体内一种PECVD镀膜装置的射频电源与真空腔体的连接装置，包括屏蔽套，在所述屏蔽套内设置绝缘套，所述绝缘套内设置引入电极，所述引入电极具有伸入到真空腔体内的第一端和与射频电源输出端连接的匹配器的匹配器入口接头连接的第二端通过将连接装置设置在真空腔体外部，使得连接装置拆装方便，连接可靠，使引入电极与匹配器入口接头的接头设置在绝缘套和屏蔽套的内部密封腔体内，使得整个连接装置的绝缘和屏蔽效果好，无辐射污染，射频电源的传输过程中没有损失
pecvd 镀膜装置及其射频电源空腔连接

[发明专利]一种实现高真空隔离的升降限位机构-CN201610187737.8在审
发明人：陶玲;谢远来;胡纯栋;宋士花;杨思皓;邑伟 -专利权人：中国科学院等离子体物理研究所
申请日： 2016-03-24 - 公布日： 2016-09-28 - 主分类号： B66D1/48 文献下载
摘要：本发明公开了一种实现高真空隔离的升降限位机构，包括有真空腔体，真空腔体内竖直设有固定导轨，固定导轨上设有上、下两个限位块，真空腔体外部设有动力设备，动力设备连接动力设备电源，动力设备电源与动力设备控制机柜连接，动力设备通过钢丝绳连接提升杆，提升杆自上至下伸入至真空腔体内，提升杆的下端设有待提升物体，待提升物体靠近固定导轨的一侧设有上、下两个限位开关，两个限位开关的控制线路通过安装在真空腔体上的航空接头连接至位于真空腔体外的动力设备控制机柜本发明能够有效地实现高真空隔离，准确地实现上下移动限位，且使用设备简单方便可靠，克服了内外高真空过渡带来的一系列问题。
一种实现真空隔离升降限位机构

[实用新型]一种实现高真空隔离的升降限位机构-CN201620250905.9有效
发明人：陶玲;谢远来;胡纯栋;宋士花;杨思皓;邑伟 -专利权人：中国科学院等离子体物理研究所
申请日： 2016-03-24 - 公布日： 2016-09-28 - 主分类号： B66D1/48 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种实现高真空隔离的升降限位机构，包括有真空腔体，真空腔体内竖直设有固定导轨，固定导轨上设有上、下两个限位块，真空腔体外部设有动力设备，动力设备连接动力设备电源，动力设备电源与动力设备控制机柜连接，动力设备通过钢丝绳连接提升杆，提升杆自上至下伸入至真空腔体内，提升杆的下端设有待提升物体，待提升物体靠近固定导轨的一侧设有上、下两个限位开关，两个限位开关的控制线路通过安装在真空腔体上的航空接头连接至位于真空腔体外的动力设备控制机柜本实用新型能够有效地实现高真空隔离，准确地实现上下移动限位，且使用设备简单方便可靠，克服了内外高真空过渡带来的一系列问题。
一种实现真空隔离升降限位机构

[实用新型]一种垂直等离子清洗设备的真空腔体保温隔热装置-CN202123213984.6有效
发明人：朱志山 -专利权人：苏州爱特维电子科技有限公司
申请日： 2021-12-20 - 公布日： 2022-07-26 - 主分类号： B08B7/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种垂直等离子清洗设备的真空腔体保温隔热装置，包括真空腔体外框、一号隔热板、安装支架和磁吸件，所述一号隔热板底部滑动连接有滑轨，所述滑轨设置在支撑板上，所述支撑板上设置有固定件，所述固定件安装在真空腔体外框上，所述真空腔体外框贯穿孔内连接有磁吸孔，所述磁吸孔开设在二号隔热板上，所述直角件上还安装有三号隔热板。本实用新型通过真空腔体外框内设置有滑轨和固定架，使得四块隔热板能顺利安装进真空腔体外框内，同时，在四块隔热板安装在真空腔体外框内之后，用时磁吸件将二号隔热板和一号热隔板固定，使得整个真空腔体外框内的温度保持，真空腔体内的等离子导电板能运行性能加强。
一种垂直等离子清洗设备空腔保温隔热装置

[实用新型]一种真空腔体-CN201821886650.0有效
发明人：王汉清;杨圆明;赵鑫 -专利权人：新奥科技发展有限公司
申请日： 2018-11-14 - 公布日： 2019-10-29 - 主分类号： H05H1/00 文献下载
摘要：本实用新型实施例公开了一种真空腔体，涉及等离子体技术领域，用于在允许真空腔体外部射频波对真空腔体内部等离子体运动进行良好控制的前提下，有效降低真空腔体在使用过程中的安全风险，并提高其使用可靠性。该真空腔体包括支撑架以及多块安装在支撑架上用于与支撑架围成真空腔室的盖板；盖板包括允许射频波穿过的非金属绝缘盖板；支撑架上设有至少一组加固组件，加固组件位于非金属绝缘盖板面向真空腔室的一侧，并用于支撑非金属绝缘盖板本实用新型实施例提供的真空腔体用于实现射频波对等离子体的控制。
真空腔体支撑架绝缘盖板射频波本实用新型加固组件真空腔室盖板等离子体等离子体技术等离子体运动真空腔体外部体内部真空腔多块穿过支撑安全

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