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[发明专利]直拉单晶炉及用于直拉单晶炉的碳碳复合材料的加工方法-CN201210241771.0无效
发明人：梁仁和;文武;赵婷玮;李宗仁;冯冬芳;王浩;康志伯 -专利权人：北京京仪世纪电子股份有限公司
申请日： 2012-07-12 - 公布日： 2012-10-17 - 主分类号： C04B35/83 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于直拉单晶炉的碳碳复合材料的加工方法，首先利用碳纤维加工成预制体，再在化学沉积炉中将所述预制体加热至1050°C-1150°C，并通入丙烷气体，所述丙烷气体在高温下分解生成碳，所述碳沉积在所述预制体中，将致密后的所述预制体放在石墨化炉中，加热至2300°C-2800°C，并保持2-4小时后冷却形成碳碳复合材料。本发明还公开了一种直拉单晶炉，包括由所述碳碳复合材料加工而成的加热器，所述加热器的密度≥1.8g/cm3。本发明所提供的碳碳复合材料的加工方法采用化学气相沉积炉对预制体进行致密化处理取代了反复浸渍的方法，不仅过程简单，且在致密化处理过程中不会掺杂入较多的杂质，不需要进行高温纯化处理，大大简化了加工方法。
直拉单晶炉用于复合材料加工方法

[实用新型]一种直拉单晶硅炉的炉底排气罩装置-CN202122579169.5有效
发明人：惠宝锋;马元良 -专利权人：青海民族大学
申请日： 2021-10-26 - 公布日： 2022-03-22 - 主分类号： C01B33/021 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种直拉单晶硅炉的炉底排气罩装置，包括：排气罩本体、排气口、刮刀、刮刀座、丝杆、电机、电机座、导杆、集渣槽、挡渣板；其特征在于：所述排气罩本体底部的排气口内侧设有刮刀；所述刮刀与排气口滑动配合；所述刮刀通过螺栓固定在刮刀座的顶端；所述刮刀座设在排气罩本体的下方；所述刮刀座的中间位置左右贯穿有一根丝杆，且丝杆与刮刀座螺纹连接；所述丝杆的左端通过联轴器固定在电机的输出轴上；本实用新型通过对一种直拉单晶硅炉的炉底排气罩装置的改进
一种单晶硅排气装置

[发明专利]一种直拉单晶硅炉用石墨热场材料制备方法-CN202010035367.2在审
发明人：魏健;张锦俊;闵洁;张培林;庞中海;武建军;刘伟凯;纪永良;雷涛;霍有;张彦举;陈永贵;吕星薄;徐保国;孟鹏 -专利权人：大同新成新材料股份有限公司
申请日： 2020-01-14 - 公布日： 2020-05-12 - 主分类号： C04B35/83 文献下载
摘要：本发明涉及石墨热场技术领域，更具体而言，涉及一种直拉单晶硅炉用石墨热场材料制备方法，骨料为针状石油焦；粉料为石墨烯、沥青焦、炭黑、碳纤维；粘结剂为改质中温煤沥青；浸渍剂为浸渍沥青，中原料选择合理，制备工艺科学；所制备的直拉单晶硅炉用石墨热场材料结构均匀细腻，体积密度高；石墨理化理指标优良；石墨热场材料的体积密度≥2.0g/cm3，电阻率≤6.0μΩm，抗折强度≥32Mpa
一种单晶硅石墨材料制备方法

[实用新型]直拉单晶炉热场用多匝复合式埚帮-CN201020127612.4有效
发明人：李定武;梁永生;周晓渊 -专利权人：西安隆基硅材料股份有限公司;西安隆基硅技术有限公司;宁夏隆基硅材料有限公司;西安矽美单晶硅有限公司
申请日： 2010-03-10 - 公布日： 2011-03-16 - 主分类号： C30B15/14 文献下载
摘要：本实用新型公开的一种直拉单晶炉热场用多匝复合式埚帮，包括直筒部分、圆弧部分及底部，直筒部分由环形直匝形成，直筒部分下方的圆弧部分由环形弧匝形成，底部为盘状底匝，直匝、弧匝及底匝之间依次采用止口连接。本实用新型直拉单晶炉热场用多匝复合式埚帮，采用多匝式结构，当熔硅凝固发生膨胀时，各匝之间自然松开，使得轴向的膨胀力能够被充分化解，膨胀力分解到各匝，部分受力大的匝会率先被损坏，从而释放了膨胀力。
直拉单晶炉热场用多匝复合式埚帮

[实用新型]直拉单晶炉热场装置-CN201220614909.2有效
发明人：李定武;周锐;李侨 -专利权人：西安隆基硅材料股份有限公司;无锡隆基硅材料有限公司;宁夏隆基硅材料有限公司;银川隆基硅材料有限公司
申请日： 2012-11-19 - 公布日： 2013-06-19 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：一种直拉单晶炉热场装置，包括炉体及设置于炉体内部的坩埚、加热器及保温机构，加热器及保温机构依次环绕坩埚设置，还包括与炉体外部相连通的排气机构，排气机构嵌设于保温机构内。本实用新型直拉单晶炉热场装置在保温机构内嵌设排气机构，避免了挥发物聚集，降低了晶体中氧含量，可减少碳扩散入晶体中；减少了挥发物对热场部件的侵蚀，延长了热场部件的使用寿命，避免了挥发物因受冷沉积于排出路径
直拉单晶炉热场装置

[实用新型]一种直拉单晶炉用石墨埚托-CN202120923231.5有效
发明人：申连喜;赵永敬 -专利权人：嘉祥洪润电碳有限公司
申请日： 2021-04-30 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： C30B15/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种直拉单晶炉用石墨埚托，包括底座，所述底座上侧固定连接设有多个接触板，所述底座上侧中心位置设有通孔，所述底座下侧固定连接设有多个斜杆，所述底座上侧对称设有两个移动板，两个所述移动板位于接触板的上侧设置本实用新型可以将不同大小的直拉单晶炉固定在埚托上，操作简单，实用性强。
一种直拉单晶炉用石墨

[实用新型]一种用于直拉单晶硅炉的排气罩-CN202220443011.7有效
发明人：惠宝锋 -专利权人：矽盛光电（宁夏）有限公司
申请日： 2022-03-03 - 公布日： 2022-07-12 - 主分类号： C01B33/021 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于直拉单晶硅炉的排气罩，包括罩体，所述罩体内底部两侧表面开设有通气孔，且罩体内通过安装架及螺栓安装电动液压推杆，所述电动液压推杆底部输出端通过安装架及螺丝安装推板，且推板底部通过螺丝安装顶针本实用新型一种用于直拉单晶硅炉的排气罩，电动液压推杆的输出端能够带动推板下降，从而使得顶针插入通气孔内，进而对粘附于通气孔内的杂质进行清理，以防止通气孔被杂质堵塞，保证通气孔的排气性能，适合被广泛推广和使用
一种用于单晶硅排气

[实用新型]一种直拉单晶硅加料器除尘装置-CN202020500231.X有效
发明人：肖贵云;陈旭光;欧阳维;邹江华;张涛;金浩 -专利权人：晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司
申请日： 2020-04-08 - 公布日： 2020-11-13 - 主分类号： B01D46/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种直拉单晶硅加料器除尘装置，包括进料口与加料器(1)填料口连通的除尘套(2)、通过排气管(5)与所述除尘套(2)的出尘口连通的除尘泵(6)、与所述除尘泵(6)的出口连通的过滤器(7)，安装该直拉单晶硅加料器除尘装置后直拉单晶硅加料器填料过程中扬起来的粉尘能够及时排出，大幅减少粉尘进入单晶炉中，改善拉晶环境。
一种单晶硅料器除尘装置

[发明专利]一种基于直拉法降低单晶硅底部氧化的提断方法-CN202211727525.6在审
发明人：龚小伦;关树军;洪华;路建华;谷建峰 -专利权人：乐山市京运通新材料科技有限公司
申请日： 2022-12-27 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： C30B15/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于直拉法降低单晶硅底部氧化的提断方法，包括装料、化料、引晶、放肩、等径、收尾和停炉，在所述等径操作中出现断线时，包括以下步骤：S1.将真空泵的泵开度打开至100％进行拉晶；S2.在S1160mm/min的速度降低坩埚的锅位；S4.在S3步骤的基础上，将氩气的流量设置为100sL/min；S5.在S4步骤的基础上，将降低坩埚的锅位的速度设置为280mm/min；S6.完成提断后，进行收尾和停炉本发明通过改进提断方法的顺序以及优化提断时的拉晶速度和提断速度，同时各个步骤依次同时进行，有效降低了底部单晶硅氧化情况的发生，提高了单晶硅循环料品质，节约了清洗成本。
一种基于直拉法降低单晶硅底部氧化方法

[发明专利]区熔气相掺杂太阳能电池硅单晶的制备方法-CN200510015280.4有效
发明人：沈浩平;高树良;刘为钢;王聚安;高福林;张焕新;宁燕;赵宏波;李颖辉;牛建军 -专利权人：天津市环欧半导体材料技术有限公司
申请日： 2005-09-29 - 公布日： 2006-04-26 - 主分类号： C30B15/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种硅单晶的制备方法，特别涉及一种用于生产太阳能硅电池的区熔气相掺杂太阳能电池硅单晶的制备方法。将“氩气、掺杂气、入炉关闭”三项变成“氩气、掺杂气、入炉打开”。扩肩、充入氮气：当单晶的直径扩肩到Φ110mm～130mm时，立即调整阳极电压，同时还要设定下轴向下的运动速度及转动速度，此时，开始充入氮气；收尾、停炉、停掺杂气体：打开“掺杂”界面，将“氩气、掺杂气、入炉打开”三项变成“氩气、掺杂、入炉关闭”。采用该方法生产的硅单晶满足了国内外市场对低成本，高效率的太阳能硅单晶的需求。
区熔气相掺杂太阳能电池硅单晶制备方法

[发明专利]一种用于直拉硅单晶炉热场系统-CN200810172546.X无效
发明人：殷国庆;吴道庆 -专利权人：常州益鑫新能源科技有限公司
申请日： 2008-10-30 - 公布日： 2010-06-09 - 主分类号： C30B15/14 文献下载
摘要：本发明提供一种用于直拉硅单晶炉热场的主发热体系统，本发明包括石墨坩埚、石英坩埚、加热器、导流筒、保温筒(上、中、下)、保温盖、保温底盘、保温碳毡等，其特征在于下保温盖的上平面设置有槽，槽内设置有保温筒；在硅单晶炉的底部加厚了底部碳毡，并在底部碳毡上方压有炉底压片；在托盘的内孔内设置有连杆，在连杆和托盘相啮合的圆周上设置有销；本发明利用改善的炉内保温系统，有效的利用热量，缩短生产周期，从而节约了电能，降低了损耗
一种用于直拉硅单晶炉热场系统

[实用新型]一种带有后氧化装置的直拉硅单晶炉-CN200520146921.5无效
发明人：戴小林;吴志强;韩秋雨;姜舰;周旗钢;张果虎 -专利权人：北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司
申请日： 2005-12-26 - 公布日： 2007-04-18 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：一种带有后氧化装置的直拉硅单晶炉，它包括：石英坩埚、石墨坩埚、加热器、保温材料、金属筒、筒盖、热屏，其特征在于：它还包括后氧化装置，该装置包括三通管、管道、阀门和流量计，后氧化装置安装在单晶炉上炉室与主真空泵之间的管道上实用新型的优点是：本设备简单，操作方便，可清除在晶体生长期间，在炉室及真空管道的内表面，沉结的大量SiO(又称挥发物)，防止在拉制晶体结束后，清理炉室时，遇到空气时，发生燃烧甚至爆炸。
一种带有氧化装置直拉硅单晶炉

[发明专利]一种单晶炉在线掺杂装置-CN201410526990.2有效
发明人：边志坚;马辉东;赵京通;赵建光;王瑞贤;李润飞;武建刚 -专利权人：河北晶龙阳光设备有限公司
申请日： 2014-10-09 - 公布日： 2015-01-07 - 主分类号： C30B31/06 文献下载
摘要：本发明涉及单晶生长中添加掺杂材料领域，具体涉及一种单晶炉在线掺杂装置。现有技术在直拉法生产单晶硅过程中存在的掺杂效果不佳、掺杂过程可控性差和无法实现拉伸过程中实时掺杂的问题，本发明提出了一种以机为主、机电结合的单晶炉在线掺杂装置，增加了掺杂元素与熔硅的接触时间，实现了实时掺杂
一种单晶炉在线掺杂装置

[发明专利]一种使用西门子硅棒作原料拉硅单晶的方法-CN201210401002.2无效
发明人：丁欣 -专利权人：丁欣
申请日： 2012-10-19 - 公布日： 2014-05-07 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本发明涉及硅单晶晶体生长。近些年出现很多使用连续直拉法拉制硅单晶的尝试，而连续拉制过程中对张晶炉内的硅进行充成为工艺实现的最大瓶颈。本发明提供一种使用西门子硅棒作原料拉硅单晶的方法。将西门子还原炉产出的硅棒通过自动进给机构从坩埚上方浸入熔融硅使得硅棒熔化。当拉制单晶使得坩埚中的熔融硅被消耗时，自动进给机构将硅棒向下进给从而对坩埚中的熔融硅液的消耗实现补充。
一种使用西门子硅棒作原料拉硅单晶方法

[实用新型]单晶炉快速清理及防爆真空管路系统-CN201420471892.9有效
发明人：朱亮;王巍;王奕皓;孙明;沈兴潮 -专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2014-08-20 - 公布日： 2015-02-25 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及直拉硅单晶炉设备，旨在提供单晶炉快速清理及防爆真空管路系统。该单晶炉快速清理及防爆真空管路系统包括防爆泄压口、防爆清理口和快速清理口；防爆泄压口的防爆法兰能在真空管道的上端口放气口和螺栓的螺帽之间移动；防爆清理口的防爆盲板倾斜覆盖在的真空管道的前端放气口上；快速清理口包括卡箍盲板本实用新型的防爆泄压口与防爆清理口，当炉内压力过大时，气体压力能自动推开防爆法兰和防爆盲板，放出气体，从而增加了设备的安全性，同时防爆清理口还具有泄压功能。
单晶炉快速清理防爆真空管路系统