“C30B15/10”专利分类搜索_专利查询_文献下载_出售_求购_买卖_交易

钻瓜专利网为您找到相关结果641个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]一种氮氧化硅-石英复合材料坩埚及其制备方法-CN202310886582.7在审
发明人：周浪 -专利权人：南昌大学共青城光氢储技术研究院
申请日： 2023-07-19 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： C30B15/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种氮氧化硅‑石英复合材料坩埚及其制备方法，以氮氧化硅与石英的复合材料作为坩埚的埚壁，先由石英砂与高纯氮化硅粉混合形成混合料，以混合料为原料采用旋转模具法‑电弧熔制法制作坩埚，加热保温过程中混合料粉体中的氮化硅与部分石英砂在高温下反应形成氮氧化硅，电弧加热保温时间比同等规格纯石英坩埚延长20～80％，坩埚的埚壁的组成为均匀氮氧化硅与石英的复合材料，或氮氧化硅含量从坩埚壁外向里逐渐增加的梯度复合材料，或者外层石英内层上述复合材料。所得复合材料坩埚强度高、抗硅熔体润湿性好、抗气泡迁移能力强、寿命长，以其生产的直拉单晶硅氧含量低，可替代纯石英坩埚用于规模化直拉单晶硅生产。
一种氧化石英复合材料坩埚及其制备方法

[发明专利]一种石英坩埚制备方法-CN201910959337.8有效
发明人：杨俊;张涛;白枭龙;汪沛渊;何丽珠;刘礼猛;金浩 -专利权人：晶科能源股份有限公司;浙江晶科能源有限公司
申请日： 2019-10-10 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： C30B15/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种石英坩埚制备方法，由于液位线处的硅溶液与坩埚壁反应剧烈，通过相对加厚液位线处透明层的厚度，减少了透明层在硅熔液长时期处于高温区时，被腐蚀破损的可能，避免了硅溶液进入气泡层，避免了气泡层的杂质进入硅溶液之中，使得拉晶过程中的晶棒整棒率提升，品质提升，降低了单晶制备成本。
一种石英坩埚制备方法

[实用新型]一种具有凸起结构的石英坩埚及其成型装置-CN202321326047.8有效
发明人：肖世豪;潘金平;赵亮;肖银平;冯小娟;苏文霞;郑欢欣;程富荣 -专利权人：海纳半导体（山西）有限公司
申请日： 2023-05-29 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： C30B15/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及石英加工技术领域，具体为一种具有凸起结构的石英坩埚及其成型装置，包括坩埚，坩埚的内部设置有成型棒，成型棒位于坩埚的内部靠近内壁处竖直设置，成型棒的中部下方安装有若干弧形段，弧形段为半圆形的弧形结构，弧形段靠近坩埚内壁的一侧设置有半圆弧形结构的凹口，成型棒的底端为弧形结构。该具有凸起结构的石英坩埚及其成型装置中，通过成型棒相对坩埚的运动，使得石英坩埚成型过程中，利用成型棒上的半圆凹口，将石英坩埚制造成内表面具有若干圈半圆形的凸起，内凸起将增大石英坩埚与熔硅的接触面积。
一种具有凸起结构石英坩埚及其成型装置

[实用新型]坩埚和单晶炉-CN202321367152.6有效
发明人：罗忠武;王承芳;曾慧 -专利权人：三一硅能（株洲）有限公司
申请日： 2023-05-31 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： C30B15/10 文献下载
摘要：本申请提供一种坩埚和单晶炉，坩埚包括本体，本体包括圆柱形筒体、锥形筒体及底壁，锥形筒体位于圆柱形筒体和底壁之间，锥形筒体靠近底壁侧的开口面积小于锥形筒体靠近圆柱形筒体侧的开口面积，圆柱形筒体的高度和本体高度的比值不小于10％且不大于54％。本申请的坩埚，降低了坩埚的内表面积，还可改善坩埚内的硅熔体对流状况，有效降低了通过拉晶得到的硅棒中氧含量，提高了硅棒的质量。
坩埚单晶炉

[实用新型]一种能够利用余热继续加热的石英坩埚装置-CN202321252716.1有效
发明人：庄正正;蔡士如;周大海;刘家庆;许飞 -专利权人：安徽省恒达硅砂科技有限公司
申请日： 2023-05-23 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C30B15/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种能够利用余热继续加热的石英坩埚装置，包括内锅体和外锅体，所述内锅体包括坩埚本体和外部的第一导热层，所述外锅体包括第二导热层和支撑层，所述内锅体的上部设置有锅盖，所述锅盖上通过安装板安装有搅拌机构。采用上述技术方案制成了一种能够利用余热继续加热的石英坩埚装置，通过设置第二导热层和支撑层组成的外锅体，在满足对内锅体的支撑效果同时可以起到良好的防护及保温效果，同时在第二导热层与第一导热层的配合下起到均匀的导热效果，进而可以对坩埚内部的石英物料进行均匀充分的加热，另外在外锅体的作用下可以保存热量，从而在停止加热时利用锅体内的余热继续进行加热。
一种能够利用余热继续加热石英坩埚装置

[发明专利]一种碳基复合材料/石英复合坩埚-CN202310804999.4在审
发明人：李金伟;肖鹏 -专利权人：湖南世鑫新材料有限公司
申请日： 2023-07-03 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： C30B15/10 文献下载
摘要：本发明属于单晶热场工装/部件技术领域，具体涉及一种碳基复合材料/石英复合坩埚。所述坩埚由内层、中间层、外层构成，所述内层的材质为高致密的碳基复合材料，中间层的材质为二氧化硅材质、外层为碳基复合材料。本发明各层之间可以是可分离式结构设计，也可以是一体式结构设计。本发明能大大提高单晶硅拉制过程中坩埚使用寿命，节省出更换石英坩埚的时间，降低石英坩埚的更换成本，降低硅熔体的渗漏风险，提升单晶硅的品质，并且提高单晶硅拉制过程的安全性。
一种复合材料石英复合坩埚

[发明专利]半导体单晶硅用石英坩埚-CN202310814751.6在审
发明人：朱旦;陈治华;王吉祥;舒闵 -专利权人：常州裕能石英科技有限公司
申请日： 2023-07-05 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： C30B15/10 文献下载
摘要：本发明公开了半导体单晶硅用石英坩埚，其组成包括：单晶炉和石英坩埚，单晶炉底部设置有托盘，托盘外侧固定设置有支撑板，支撑板左右两端均设置有第一通孔，第一通孔内滑动设置有限位杆，限位杆底部设置有第一挡板，第一挡板与支撑板之间设置有第一弹簧，限位杆外侧滑动设置有移动座，限位杆前侧设置有限位孔，移动座前侧设置有第二通孔，第二通孔内滑动设置有插销，插销远离限位杆的一端设置有第二挡板，第二挡板与移动座之间设置有第二弹簧，插销与限位孔卡接配合，移动座下端设置有夹紧装置。本发明设置有移动座、第二通孔、插销、第二挡板、第二弹簧，方便调节移动座相对限位杆的高度位置，使得装置的调节范围更大。
半导体单晶硅石英坩埚

[发明专利]用于单晶炉拉晶的独立石墨坩埚-CN202310737385.9在审
发明人：袁玉平;金胜;袁佳斌;朱桂新 -专利权人：常州轶梵科技有限公司
申请日： 2023-06-20 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： C30B15/10 文献下载
摘要：本发明涉及用于单晶炉拉晶的独立石墨坩埚，具有石墨坩埚基体（1）和耐高温保护层（2）；耐高温保护层为涂层，覆盖固定在石墨坩埚基体的内壁上，而对石墨坩埚基体的内壁起到密闭作用。石墨坩埚基体是石墨同质一体件。耐高温保护层（2）是碳化硅涂层、氮化硅涂层、石墨涂层、或氮化硼涂层。石墨坩埚基体（1）按照从上至下的顺序依次为锅帮段（1‑1）、过渡段（1‑2）和锅底部（1‑3），且锅底部（1‑3）的厚度比锅帮段（1‑1）的壁厚要大。锅底部（1‑3）设有朝向下方且位于石墨坩埚基体的中央的定位机构（1‑4）。本发明的独立石墨坩埚作为拉晶坩埚使用时，在存放熔融硅的状态下无渗透、使用寿命较长且稳定性较好。
用于单晶炉拉晶独立石墨坩埚

[发明专利]晶硅提拉用增氧石英坩埚、其制备设备和方法-CN202210717949.8有效
发明人：王建军;李卫;李常国;何玉鹏;邓红 -专利权人：宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司
申请日： 2022-06-23 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： C30B15/10 文献下载
摘要：本发明涉及一种晶硅提拉用增氧石英坩埚，包括透明层和气泡层，透明层位于气泡层内侧，气泡层外侧设置多个相间的凸起部。在高温下拉制晶硅过程中，石英坩埚的凸起部与单晶炉内的石墨坩埚内壁相接触，当石英坩埚的温度达到1100‑1200°后，石英坩埚开始由脆性变为蠕变性状态，软化状态的石英坩埚受到逐渐熔化的多晶硅料的朝外挤压，同时软化状态的石英坩埚外侧的凸起与石墨坩埚接触，使石英坩埚的外表面逐渐贴合在石墨坩埚内表面，石英坩埚凸起部将促使石英坩埚内表面产生内凸起，内凸起将增大石英坩埚与溶硅的接触面，同时内凸起将增加溶硅对石英坩埚的冲刷，促进石英坩埚中氧元素分解至溶硅中，提升晶硅中的整体氧含量和尾部氧含量。
晶硅提拉用增氧石英坩埚制备设备方法

[发明专利]一种坩埚制备方法、坩埚及单晶炉-CN202210221198.0在审
发明人：陈永康;杜路路;李侨;郭华盈;任伟康;刘阳;张桥清;晏美仁;梅富然;李济和 -专利权人：隆基绿能科技股份有限公司
申请日： 2022-03-07 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： C30B15/10 文献下载
摘要：本发明提供了一种坩埚的制备方法、坩埚及单晶炉，涉及单晶硅制备技术领域。坩埚的制备方法包括：在坩埚本体的外壁上设置碳源；在无氧环境中，将外壁上设置有碳源的坩埚本体，加热至第一预设温度，使得坩埚本体外壁上的碳源与坩埚本体中的二氧化硅发生化学反应，以生成位于坩埚本体外壁上的隔离层；所述隔离层的成分包括：氮化硅，和/或，碳化硅。在拉晶过程中，隔离层会将坩埚本体中的二氧化硅和埚帮中的碳，物理隔绝开，可以避免埚帮出现损耗，隔离层位于坩埚本体的外壁上，使得持续具有良好的物理隔绝效果。隔离层不易脱落，且隔离层结构更为致密、均匀，物理隔绝效果更好。隔离层基本不会与埚帮发生化学反应，埚帮的寿命更长。
一种坩埚制备方法单晶炉

[实用新型]一种带有渣滓收集功能的单晶炉-CN202321062862.8有效
发明人：凌继贝;付辉阳;任超 -专利权人：内蒙古豪安能源科技有限公司
申请日： 2023-05-04 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： C30B15/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种带有渣滓收集功能的单晶炉，包括底座，所述底座内固定设有坩埚传动装置，且坩埚传动装置上方设有坩埚旋转轴，所述碳坩埚上方固定设有石英坩埚，且石英坩埚内放置有硅溶液。该带有渣滓收集功能的单晶炉的出料斗在微型电动推杆的驱动下通过伸缩臂与石英坩埚构成竖直升降结构，且出料斗于滑槽内与石英坩埚构成上下滑动结构，从而通过移动堵块与出料斗，使石英坩埚内的渣滓自出料口、出料斗落入集物箱内进行集中收集，该装置两组转轴在电机的驱动下通过驱动齿轮、从动齿轮、传动带构成联动结构，且滤网通过偏心轮与支撑杆构成抖动结构，从而通过抖动滤网对集物箱内渣滓进行固液分离，进而便于对固态、液态的废渣进行单独处理。
一种带有渣滓收集功能单晶炉

[实用新型]一种大尺寸单晶用石英坩埚-CN202321245129.X有效
发明人：陈宝昌;孙智亮 -专利权人：江苏华尔盛石英制品有限公司
申请日： 2023-05-22 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： C30B15/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了石英坩埚技术领域的一种大尺寸单晶用石英坩埚，包括石英坩埚主体，石英坩埚主体内底部设有缓冲杆，缓冲杆外侧壁设有六组导流板，缓冲杆顶部设有挡板，本实用在缓冲杆、导流板和挡板的作用下可以降低石英坩埚旋转时的物理对流，最终使成晶液面的温度更稳定，使拉制进一步提高；在钡涂层的作用下起到隔离的作用，能阻止单晶硅高温拉制过程中硅与石英坩埚反应，从而提高成晶率。
一种尺寸单晶用石英坩埚

[发明专利]一种单晶炉用低功耗石墨坩埚-CN202310928430.9在审
发明人：姚伟忠;鲁贵林;张燕辉;赵飞 -专利权人：华耀光电科技股份有限公司
申请日： 2023-07-27 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： C30B15/10 文献下载
摘要：本发明涉及一种单晶炉用低功耗石墨坩埚，用于支撑内存有源生多晶硅料的石英坩埚，所述石英坩埚的上半部装填大粒径硅料，小粒径硅料铺设在石英坩埚的下半部，所述的石墨坩埚具有坩埚体，所述的坩埚体的上半部外壁上周向开设有均布的大正六边孔，坩埚体的下半部外壁上周向开设有均布的小正六边孔，大正六边孔的内切圆直径大于小正六边孔的内切圆直径。本发明通过在石墨坩埚的坩埚体壁上开设正六边形孔，可减少石墨坩埚的直接受热面积，使更多热量通过石墨坩埚外壁上的正六边形孔热辐射传递到石英坩埚上，在确保对石英坩埚支撑强度的前提下，降低了加热器的加热功率，节约能源。
一种单晶炉用低功耗石墨坩埚

[实用新型]一种单晶炉坩埚支撑组件及单晶炉体-CN202320281659.3有效
发明人：赖东为;李静;陈龙;蔡秀明 -专利权人：福建鑫睿晶学科技有限公司
申请日： 2023-02-22 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： C30B15/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种单晶炉坩埚支撑组件及单晶炉体，包括炉体，所述炉体的内部活动连接有支撑杆，所述支撑杆的内部活动连接有稳定机构，所述稳定机构包括限位杆，所述限位杆的外壁活动连接有复位弹簧，所述复位弹簧的一端固定连接有挤压内块，所述挤压内块的外壁固定连接有连接块，所述连接块的外壁固定连接有挤压外块，所述挤压外块的外壁固定连接有支撑架，所述支撑架的顶端固定连接有摩擦板。本实用新型通过复位弹簧的复位带动挤压内块向上移动，同时通过连接块的连接带动挤压外块向上移动，从而带动支撑架带动摩擦板抵住安装架的底端，从而通过支撑架对坩埚进行支撑，通过复位弹簧的复位和支撑架的设置，增加了支撑效果。
一种单晶炉坩埚支撑组件单晶炉体

[实用新型]一种坩埚结构及设有该坩埚结构的单晶炉-CN202320644368.6有效
发明人：王永兴;许建 -专利权人：内蒙古中环晶体材料有限公司
申请日： 2023-03-29 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： C30B15/10 文献下载
摘要：本实用新型提供一种坩埚结构，在所述本体的外壁面设有辅助层，所述辅助层套置于所述本体设置，所述辅助层上设有主架和次梁，所述主架和/或所述次梁之间围设有若干镂空区域，并覆盖于所述本体外缘周围。本实用新型一种坩埚结构，在本体的外壁设置一个增强层，并对该增强层的位置进行优化，可快速对出现裂痕的本体进行修复，并进行重复使用，延长坩埚的使用时间，降低其使用成本。本实用新型还提一种设有该坩埚结构的单晶炉。
一种坩埚结构设有单晶炉

1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
下一页»
尾页
共 641 条