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- [发明专利]一种新型磁控轴瓦溅镀机-CN201410296566.3有效
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木俭朴
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山东大丰轴瓦有限公司
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2014-06-27
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2014-09-24
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C23C14/35
- 本发明公开了一种新型磁控轴瓦溅镀机,涉及溅渡装置技术领域,包括溅渡壳体,溅渡壳体内设有溅渡腔,溅渡腔设有溅射靶支撑架和轴瓦支撑架,溅渡壳体底部设有底座,溅射靶支撑架和轴瓦支撑架设置在溅渡壳体底部底座上,溅射靶支撑架中间设有溅射靶架轴,溅射靶架轴底部设有旋转环,旋转环通过连接杆与溅射靶架轴一侧的溅射靶支撑架边缘连接,溅渡壳体最下方设有电机,旋转环与电机输出轴相连接,溅射靶架轴两侧的溅射靶支撑架各活动设有一块溅射靶,溅射靶的双面设有凹槽,正面凹槽的底面为镍靶、背面凹槽的底面合金靶,通过两面靶,解决以往受降温以及更换靶材等步骤制约,增加了工作产量、提高了效率。
- 一种新型轴瓦溅镀机
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