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- [实用新型]线性溅射源分段供气系统-CN201420253841.9有效
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郭爱云
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红安华州光电科技有限公司
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2014-05-19
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2015-02-11
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C23C14/35
- 本实用新型公开了一种线性溅射源分段供气系统，包括一路磁控溅射工艺工作气体管路、多路磁控溅射工艺反应气体管路、分段供气装置，一路所述磁控溅射工艺工作气体管路、多路所述磁控溅射工艺反应气体管路和所述分段供气装置上均设置有质量流量计和截止阀本实用新型提供了一种线性溅射源分段供气系统，解决工作气体和多种反应气体混气和供气的问题；解决混气后供气的流量的实时控制问题；解决与工艺抽气系统设计相适应的工艺供气系统气场分布设计；解决与多种磁控溅射工艺(中频反应磁控溅射、直流磁控溅射和射频磁控溅射等)相适合的问题；实现大批量稳定连续生产。
- 线性溅射分段供气系统
- [实用新型]一种灌肠管-CN202022682861.6有效
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赵悦贤;刘彩云
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华中科技大学同济医学院附属协和医院
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2020-11-19
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2021-10-19
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A61M3/02
- 本实用新型涉及医疗器械领域，具体公开了一种灌肠管，包括灌肠管本体，灌肠管接口，充气管，充气囊，充气管接口，防溅射部，固定环，粘贴部，吸水层，收集袋。防溅射部同轴套设在灌肠管本体上，并可沿灌肠管本体轴向运动；固定环设置在防溅射部末端；粘贴部设置在防溅射部前端；吸水层设置在防溅射部内壁上；收集袋设置在防溅射部下部，与防溅射部内部相连通。本实用新型通过在灌肠管本体上套设防溅射部，有效避免了灌肠液外溢溅射，并在防溅射部内壁上设置吸水层、在其下部设置收集袋，有效的吸收和收集外溢的灌肠液，避免了医疗环境被污染，舒适性和治疗效果好。
- 一种灌肠
- [实用新型]一种压合装置及其工装-CN202223180412.7有效
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韩阿润;劉家政;刘文科
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荣成歌尔微电子有限公司
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2022-11-28
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2023-03-21
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C23C14/04
- 本实用新型公开了一种压合装置及其工装，压合工装压合的电子产品包括基板，基板上设置有溅射区和非溅射区，溅射区的高度高于非溅射区的高度，溅射区进行溅射处理时，对非溅射区覆盖胶带。压合工装包括用于放置电子产品的底座，还包括压合组件，压合组件包括用于将电子产品压合到底座上的压板，压板的下表面还设置有用于将胶带压合到非溅射区的压块。在电子产品进行溅射处理时，本实用新型的压合工装能够对电子产品和用于覆盖非溅射区的胶带同时压合，简化压合工序，缩短压合时间，提高压合效率，降低生产成本，提高企业的经济效益。
- 一种装置及其工装
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