专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]抗蚀剂图案金属化工艺用组合-CN202080032980.7在审
  • 柴山亘;武田谕;志垣修平;石桥谦;加藤宏大;中岛诚 - 日产化学株式会社
  • 2020-03-27 - 2021-12-10 - G03F7/20
  • 本发明的课题是提供一种组合以及使用该组合的抗蚀剂图案的金属化方法,其能够通过使抗蚀剂图案的抗蚀剂金属化来改善抗蚀剂图案的粗糙度或塌陷,并提高耐蚀刻性。本发明是一种用于抗蚀剂图案金属化工艺的组合以及使用该组合提供于抗蚀剂中渗透有前述组合成分的抗蚀剂图案的抗蚀剂图案金属化方法,所述组合含有(A)成分:选自金属氧化(1)、水解性硅烷化合(2)、前述水解性硅烷化合水解(3)、及前述水解性硅烷化合水解缩合(4)中的至少一种;(B)成分:不含有羧基(‑‑COOH)的酸化合;及(C)成分:水性溶剂。
  • 抗蚀剂图案金属化工艺组合
  • [实用新型]有机硅生产中水解的处理装置-CN202122643956.1有效
  • 陆家兴;王三跃;高军锋;陈国辉;后文杰;鲜杨玲 - 新疆晶硕新材料有限公司;新特能源股份有限公司
  • 2021-11-01 - 2022-03-11 - B01D17/02
  • 本实用新型公开了一种有机硅生产中水解的处理装置,包括:分离塔;主相分离器,分离塔的出液口与主相分离器的进口连通;分离装置包括第一聚结器和第一相分离器,第一聚结器的进口与主相分离器的第一出口连通,第一聚结器的出口与第一相分离器的进口连通在有机硅生产中,水解产物在分离塔中进行水洗分离,塔底组份进入主相分离器中进行相分离,使得塔底组份中的水解与水分离,除去水解中的水,然后水解进入第一聚结器,通过第一聚结器可以使得水解中的水进行聚结,水解中的水聚结之后进入第一相分离器,通过第一相分离器的相分离可进一步除去聚结的水,使得水解中的水可有效除去。
  • 有机硅生产水解处理装置

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