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[实用新型]一种氯化氢气体循环套用的气液反应装置-CN201720463945.6有效
发明人：程超;陈大魁;陈健 -专利权人：浙江众立合成材料科技股份有限公司
申请日： 2017-04-28 - 公布日： 2017-12-08 - 主分类号： B01J19/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种氯化氢气体的循环套用的气液反应装置，其包括氯化氢钢瓶、气液反应釜、导气管、气压阀、气体干燥罐、气体压缩机，气液反应釜包括投料口、机械搅拌器、反应温度计、釜内气体管道支架、釜内气体导管、反应釜气体排出口，氯化氢钢瓶中的氯化氢气体经过减压阀，通过导气管，依次与气液反应釜、气体干燥罐、气体压缩机相连，气体压缩机最后与进入气液反应釜的导管相连，形成一个气体循环套用的气液反应装置。本装置有效促进气液反应，并且使气体能够循环利用，达到缩短生产时间、降低生产成本与环境污染的目的。
一种氯化氢气体循环套用反应装置

[发明专利]气相沉积装置-CN202010380106.4在审
发明人：王质武 -专利权人： TCL华星光电技术有限公司
申请日： 2020-05-08 - 公布日： 2020-08-07 - 主分类号： C23C16/50 文献下载
摘要：本申请公开了一种气相沉积装置，包括：反应腔、气体喷淋装置，以及清洗气体通道；所述气体喷淋装置包括反应气体通道，所述反应气体通道包括连通所述反应腔的出口；所述清洗气体通道与所述反应气体通道间隔设置，可以降低所述反应腔内残留生成物的出现机率
沉积装置

[发明专利]具有模块式连接件的热化学系统-CN201180061270.8有效
发明人： L·里戈;F·金德贝泰;L·迪特吕 -专利权人：科尔德维公司
申请日： 2011-10-20 - 公布日： 2013-08-21 - 主分类号： F25B15/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种热化学系统，所述热化学系统包括反应器（1），或储存能够吸收气体的反应物的储存罩壳，气体通过沿着反应器的纵向轴（xx'）布置的扩散器（17，17'）被引入反应器中，反应物（2）和气体使得：当反应物和气体都存在时，反应物和气体是一化学反应的对象，所述化学反应具有通过反应物（2）吸收气体的作用，相反地，反应物和气体是一逆化学反应的对象，所述逆化学反应用于当反应物已吸收气体时，在施加于反应物的加热的作用下，解吸由反应物（2）所吸收的气体。该热化学系统的特征在于，扩散器包括气体供给部件（15a）、使气体在反应物（2）中分布的分布部件（15c，19）、过滤部件（17b，17c）和加热部件，这些不同的部件形成一子组件，所述子组件通过一闭塞元件（16）固定在反应器（1）的罩壳（9）上。
具有模块连接热化学系统

[发明专利]运行燃料电池堆的方法-CN200710161130.3有效
发明人：余代强 -专利权人：通用汽车环球科技运作公司
申请日： 2007-12-18 - 公布日： 2008-06-25 - 主分类号： H01M8/04 文献下载
摘要：一种运行燃料电池堆的方法包括使初级电气装置断开连接并且通过使空气流入阴极反应剂气体流场内而吹扫出所述阴极反应剂气体流场中的气体。其后，通过使氢流入所述阴极反应剂气体流场内而再次吹扫出所述阴极反应剂气体流场中的气体。通过使空气流入阳极反应剂气体流场内而吹扫出所述阳极反应剂气体流场中的气体。其后，用氢对所述阳极反应剂气体流场进行充注并且所述阳极和所述阴极中都贮存有氢。
运行燃料电池方法

[发明专利]等离子体处理设备、气体分配装置以及气体输送方法-CN200810118805.0有效
发明人：于大洋 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2008-08-22 - 公布日： 2009-01-14 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种气体分配装置及其所应用的等离子体处理设备，所述气体分配装置包括上中下三层分配板，三层分配板之间形成两条相互隔离的气体输送路径，该两条气体输送路径完全隔离，容易反应的气体因此可以通过不同的输送路径进入等离子体处理设备的反应腔室，有效避免了容易反应的气体在气体分配装置中的接触，进而完全消除了气体在进入反应腔室之前发生反应的可能。同时，由于上述两条气体输送路径相交错，自不同输送路径进入反应腔室的两路气体可以实现较为充分的混合。本发明还提供一种用于向等离子体处理设备的反应腔室中输送气体的方法，将容易反应的气体自不同的路径输入反应腔室中，消除了气体进入反应腔室之前发生反应的可能。
等离子体处理设备气体分配装置以及输送方法

[发明专利]提供低温差操作气体的方法-CN202011523553.7有效
发明人：吴铭钦;刘峰 -专利权人：苏州雨竹机电有限公司
申请日： 2020-12-21 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： C23C16/18 文献下载
摘要：本发明为一种提供低温差操作气体的方法，其适用于提供操作气体至气相沉积反应炉的气动驱动机构，反应炉包括一晶圆反应区以及一废热区。低温差操作气体方法包括下列步骤，首先提供反应炉；接着提供操作气体经过反应炉的废热区，令加热后的操作气体成为增温操作气体；最后将增温操作气体导入反应炉的气动驱动机构，使气动驱动机构通过增温操作气体作动。本发明能提供与反应炉反应温差较小的操作气体，从而降低操作气体对于反应炉中温度的影响，维持制作晶圆的品质。
提供温差操作气体方法

[实用新型]一种气固接触反应性能评价装置-CN201821596883.7有效
发明人：华腾云;武传朋;张晨昕;郭大为;毛安国;张春城 -专利权人：中国石油化工股份有限公司;中国石油化工股份有限公司石油化工科学研究院
申请日： 2018-09-29 - 公布日： 2019-08-16 - 主分类号： G01N31/10 文献下载
摘要：一种气固接触反应性能评价装置，包括依次连通的气体预混合罐(3)、管式反应器(4)和气体分析仪(5)；其中，所述的气体预混合罐(3)的入口连通多路进料气体管线(2)，所述的管式反应器(4)为流态化管式反应器，其底部设置原料入口，顶部设置反应气体出口，所述的气体预混合罐(3)的出口分别与所述的气体分析仪(5)的入口和所述的管式反应器(4)的原料入口相连，所述的气体预混合罐(3)反应气体出口分别与气体冷凝罐(6)和气体分析仪(5)连通,所述的气体冷凝罐(6)和气体分析仪(5)分别设有尾气出口。本实用新型提供的气固接触反应性能评价装置尤其适用于烟气吸附剂脱硫脱硝性能评价装置，在线取样进行气体分析得到反应数据。
气体分析仪预混合罐管式反应器反应气体出口性能评价装置接触反应评价装置气体冷凝原料入口连通脱硫脱硝性能本实用新型烟气吸附剂顶部设置多路进料反应数据反应性能流态化管气固接触气体分析气体管线尾气出口依次连通在线取样反应器出口

[实用新型]循环利用反应气体的鼓泡反应釜-CN202122362976.1有效
发明人：邓翔;裴晓东;骆艳华 -专利权人：中钢集团南京新材料研究院有限公司
申请日： 2021-09-28 - 公布日： 2022-05-03 - 主分类号： B01J19/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种循环利用反应气体的鼓泡反应釜，包括：反应釜本体；入料管，其用于加入原料；出料管，其用于将反应液排出；鼓泡管，其位于所述反应釜本体的底部，所述鼓泡管上具有很多小孔，能够将输入的反应气体分散输入到反应液中；集气口，其位于所述反应釜本体的顶部，用于收集未反应完全的反应气体；气泵，其设置在循环管路中，用于给循环管路中的反应气体增压；以及多气路混气阀，其用于将新鲜的反应气体输入到循环管路中，并与未反应完全的反应气体两路混合该鼓泡反应釜可提高反应气体利用率，能够避免反应气体直接排放到鼓泡反应釜外部，造成环境污染或产生危险性可燃气外排。
循环利用反应气体

[发明专利]高密度等离子体化学气相淀积方法-CN200610116845.2有效
发明人：冯明;杨海涛;平延磊 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2006-09-30 - 公布日： 2008-04-02 - 主分类号： C23C16/513 文献下载
摘要：一种高密度等离子体化学气相淀积方法，通过向反应室中通入淀积气体进行淀积反应；所述淀积气体包括第一反应气体、第二反应气体、氦气及氢气，所述第二反应气体及氦气在淀积反应开始之前已通入所述反应室中；所述氢气在所述第一反应气体之后通入反应室通过控制氢气的通入时间，即将氢气的通入时间控制在第一反应气体通入之后，继而控制反应进程，抑制了微粒缺陷的产生；此外，通过控制氢气的通入过程，即控制氢气使其缓慢通入，使得反应室可平稳地补充缓冲气体，使淀积反应过程可进行得更为均匀
高密度等离子体化学气相淀积方法

[发明专利]三氯硅烷制造装置-CN200780012705.3有效
发明人：石井敏由记;伊藤秀男;清水祐司 -专利权人：三菱麻铁里亚尔株式会社
申请日： 2007-10-24 - 公布日： 2009-04-29 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：一种三氯硅烷制造装置，具备：反应容器，在内部的反应流路中被供给包括四氯化硅和氢的供给气体，生成包括三氯硅烷与氯化氢的反应生成气体；加热机构，将反应容器的内部加热；气体供给部，将供给气体供给到反应容器内；气体排气部，将反应生成气体从反应容器排出到外部；反应流路具有：供给侧流路，在反应容器的中央部连接在气体供给部上，使供给气体一边在反应容器内折回一边朝向外侧流动；返回流路，连接在供给侧流路的下游端，到达反应容器的中央部；排出侧流路，连接在返回流路的下游端，相邻于反应容器的中央部的供给侧流路而配设，连接在气体排气部上。
硅烷制造装置

[发明专利]蚀刻方法和等离子体处理系统-CN202280005781.6在审
发明人：须田隆太郎;户村幕树;木原嘉英;三浦太树;朴宰永;福永裕介 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2022-03-31 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：该方法包含下述的工序：(a)将具有含硅膜和含硅膜上的掩模的基板提供至腔室内的基板支撑部上的工序；和(b)将含硅膜进行蚀刻的工序，所述(b)的工序包含下述的工序：(b‑1)使用由第一处理气体生成的等离子体将含硅膜进行蚀刻的工序，其中，所述第一处理气体含有氟化氢气体和控制氟化氢与含硅膜的反应的反应控制气体，第一处理气体中，作为反应控制气体，含有促进反应的反应促进气体和抑制反应的反应抑制气体中的至少一者；和(b‑2)使用由含有氟化氢气体的第二处理气体生成的等离子体将含硅膜进行蚀刻的工序，其中，第二处理气体中，以比第一处理气体中的反应促进气体小的分压含有促进反应的反应促进气体、和/或以比第一处理气体中的反应抑制气体高的分压含有抑制反应的反应抑制气体、或不含有反应控制气体。
蚀刻方法等离子体处理系统

[实用新型]一种用于反应釜的新型多孔式气体进料器-CN202222250410.4有效
发明人：严鹏飞;朱雨涛;陈爱民 -专利权人：浙江诺亚氟化工有限公司
申请日： 2022-08-26 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： B01J19/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于反应釜的新型多孔式气体进料器，反应釜内设有气体进料器组件，反应釜的釜盖上设有气体进料管一和气体进料管二，两个气体进料管均伸入至反应釜内，气体进料器组件包括气体进料器一和气体进料器二，气体进料器一设置于反应釜内的上部，气体进料器二设置于反应釜内的底部，气体进料器一的进气口和气体进料器二的进气口分别与气体进料管一和气体进料管二连接，通过在反应釜内上部和底部分别设置气体进料器一和气体进料器二，且将气体进料管一和气体进料管二分别与进气口一和进气口二连接，使得气体在液面以下形成对流，使得其与液体充分混合，进而使反应充分且放热均匀，从而提高了反应效率，同时也能减低放热反应的风险性。
一种用于反应新型多孔气体进料

[发明专利]借助于分压摆动循环化学反应分离二氧化碳-CN200810184419.1无效
发明人： J·R·赫夫顿;R·奎因;V·怀特;R·J·阿拉姆 -专利权人：气体产品与化学公司
申请日： 2008-12-19 - 公布日： 2009-07-01 - 主分类号： C01B3/56 文献下载
摘要：本发明为借助于分压摆动循环化学反应分离二氧化碳的方法。公开了一种从进气混合物中分离反应性气体的方法。该方法包括，使反应性气体与反应性固体床在放热反应中反应以形成第二固体和从中除去该反应性气体的产物气体。除去该产物气体并使用该反应中热量在吸热反应中使反应性气体从第二固体中释放，产生反应性固体。除去反应性气体并分离。床中包含储热材料以保留热量来支持该吸热反应。也公开了实施该方法的设备，其具有容纳该床的绝热室，以及多个床形成的工艺单元。该工艺单元能使得循环地操作该方法，提供进气、反应性气体和产物气体的连续流。
借助于摆动循环化学反应分离二氧化碳

[发明专利]薄膜沉积方法-CN200810089984.X无效
发明人：杨与胜;李沅民 -专利权人：福建钧石能源有限公司
申请日： 2008-04-15 - 公布日： 2008-10-29 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明的薄膜沉积方法在通入反应气体并使反应室中的反应气体达到预定压力后，在电离反应气体之前或电离反应气体的过程中，将反应室全部封闭。封闭后的反应室全部内部反应气体的分布更均匀，有助于提高膜层中掺杂物质的均匀性，改善膜层的性能。
薄膜沉积方法

[实用新型]清洁醇醚均温反应器-CN201320778717.X有效
发明人：王瑞明 -专利权人：王瑞明;福建帅正新能源科技有限公司;厦门产业技术研究院
申请日： 2013-11-29 - 公布日： 2014-07-09 - 主分类号： B01J8/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种清洁醇醚均温反应器，包括腔体、触媒反应装置及冷热循环装置，所述腔体、触媒反应装置均具有进料口、出料口，所述腔体还具有腔体入口和腔体出口，所述触媒反应装置具有触媒反应室，所述触媒反应室具有气体入口、气体出口，所述冷热循环装置具有气体入管、气体出管，所述触媒反应装置设置于所述腔体内，所述冷热循环装置设置于触媒反应室内，所述腔体入口、触媒反应室气体入口、气体入管依次连接，所述气体出管、触媒反应室气体出口、腔体出口依次连接，所述气体入管与所述气体出管相连通。本实用新型涉及的清洁醇醚均温反应器触媒层温度分布合理、触媒活性高、结构简单可靠、操作性能好，本实用新型涉及的均温反应器产率高。
清洁醇醚均温反应器