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[发明专利]一种半导体处理装置及处理基片的方法-CN201610259760.3有效
发明人：吴狄;黄智林 -专利权人：中微半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2016-04-25 - 公布日： 2019-04-30 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明提供一种等离子体处理装置及基片制作方法，其中，包括反应腔体，其中所述反应腔体的至少部分顶板由绝缘材料制成的绝缘材料窗。基片支撑装置，设置于所述反应腔体中的所述绝缘材料窗的下方。射频功率发射装置位于所述绝缘材料窗上方，以发射射频功率穿过所述绝缘材料窗进入到所述反应腔体中。反应气体注入器，其用于向所述反应腔内供应反应气体；在所述反应气体注入器下方设置若干载流气体注入器，用于向反应腔内注入一定流速的载流气体，通过调节所述载流气体的流速大小可以有效改变载流气体对反应气体的扩散的约束力大小，进而控制反应气体在所述反应腔内的不同分布以满足不同工艺的需求。
一种半导体处理装置方法

[发明专利]等离子体处理系统中的混合模式脉冲蚀刻-CN201280065464.X有效
发明人：克伦·雅克布卡纳里克 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2012-12-17 - 公布日： 2014-09-10 - 主分类号： C23C16/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于处理在室中衬底的方法，该室具有至少一个等离子体发生源、用于提供反应性气体进入该室的内部区域的反应性气体源和用于提供非反应性气体进入所述内部区域的非反应性气体源。该方法包括执行混合模式脉冲(MMP)准备阶段，包括使反应性气体流入所述内部区域以及形成第一等离子体以处理被放置在工件夹具上的衬底。该方法还包括执行MMP反应阶段，包括使至少非反应性气体流入所述内部区域以及形成第二等离子体以处理所述衬底，第二等离子体是由在所述MMP反应阶段期间的反应性气体流形成，在所述MMP反应阶段期间的反应性气体流少于在所述MMP准备阶段期间的反应性气体流。
等离子体处理系统中的混合模式脉冲蚀刻

[发明专利]一种用于催化二氧化碳还原的反应装置-CN202111235015.2在审
发明人：张衡;张力方;李成金;陈航榕 -专利权人：中国科学院上海硅酸盐研究所
申请日： 2021-10-22 - 公布日： 2021-12-31 - 主分类号： B01D53/86 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于催化二氧化碳还原的反应装置，包括第一容器，所述第一容器包括反应器，所述反应器内设有反应腔，所述反应器上设有气体进口和气体出口，所述气体进口和气体出口分别与所述反应腔相通且所述气体进口和气体出口相互通过所述反应腔相通，所述反应腔内设有催化剂载体，所述催化剂载体将所述反应腔分割成进口部分和出口部分，所述进口部分靠近所述气体进口并远离所述气体出口，所述出口部分靠近所述气体出口并远离所述气体进口。
一种用于催化二氧化碳还原反应装置

[实用新型]一种用于催化二氧化碳还原的反应装置-CN202122553459.2有效
发明人：张衡;张力方;李成金;陈航榕 -专利权人：中国科学院上海硅酸盐研究所
申请日： 2021-10-22 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： B01D53/86 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种用于催化二氧化碳还原的反应装置，包括第一容器，所述第一容器包括反应器，所述反应器内设有反应腔，所述反应器上设有气体进口和气体出口，所述气体进口和气体出口分别与所述反应腔相通且所述气体进口和气体出口相互通过所述反应腔相通，所述反应腔内设有催化剂载体，所述催化剂载体将所述反应腔分割成进口部分和出口部分，所述进口部分靠近所述气体进口并远离所述气体出口，所述出口部分靠近所述气体出口并远离所述气体进口。
一种用于催化二氧化碳还原反应装置

[发明专利]燃料电池堆中的气体出口区域的断水结构-CN201380029326.0有效
发明人：桑山贵司;佐佐本和也;松本充功 -专利权人：本田技研工业株式会社
申请日： 2013-06-03 - 公布日： 2016-11-09 - 主分类号： H01M8/04119 文献下载
摘要：本发明涉及一种燃料电池堆中的气体出口区域的断水结构，该燃料电池堆具备：层叠体，其设有排出发电反应中使用的反应气体的反应气体排出连通孔；以及端板，其配置在层叠体的层叠方向的一端部，并且设有与反应气体排出连通孔连通的反应气体出口，其中，所述燃料电池堆中的气体出口区域的断水结构具有与反应气体出口连结且反应气体排出流动方向下游侧的前端部朝向下方开口的出口配管(120)，且设有伞状凸部(142、144、146)，该伞状凸部(142、144、146)在出口配管(120)内呈朝向反应气体排出流动方向上游侧的尖细形状，将与反应气体一起排出的液体的连续流切断。
燃料电池中的气体出口区域断水结构

[发明专利]化学气相沉积设备中用于精确控制反应物流量的气路装置-CN201110280045.5无效
发明人：甘志银;王亮 -专利权人：甘志银
申请日： 2011-09-20 - 公布日： 2013-04-03 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：一种化学气相沉积设备中用于精确控制反应物流量的气路装置，包括：反应气体入口、管路、流量控制器、反应腔，反应气体以流量分为大流量的载气、小流量载气，其特征在于反应气体入口经管路与流量控制器连接，各流量控制器的出口经管路接入反应腔，接入反应腔的管路由数条反应气体管路直接接入反应腔，或者由数种反应气体汇合成一条管路接入反应腔。本发明的优点是通过对不同气体所需流量不同采用不同的管路注入反应腔，实现设备对反应气体的精确控制，降低管路的压损，降低设备的制造成本。
化学沉积设备用于精确控制反应物流量装置

[实用新型]一种特种气体检验反应釜-CN202020571428.2有效
发明人：周晓咪 -专利权人：周晓咪
申请日： 2020-04-17 - 公布日： 2020-12-29 - 主分类号： B01J19/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种特种气体检验反应釜，包括反应釜本体，所述反应釜本体的顶部设有多个进气管，所述反应釜的内部设有与进气管相对应的互相独立的扇形反应箱，所述扇形反应箱之间均设有搅拌装置，所述扇形反应箱上均设有将反应后气体收集取样的取样装置，此一种特种气体检验反应釜，在一个反应釜内部设有多个互相独立的反应装置，由于特种气体可能为单一气体也可能是混合气体，此种反应釜可以使特种气体分别与不同的液体进行气液反应从而同时进行多种检验，节省了检验时间
一种特种气体检验反应

[发明专利]结合加湿装置于未反应气体排放管路的燃料电池系统-CN200610080958.1有效
发明人：杨源生;萧逢祥 -专利权人：亚太燃料电池科技股份有限公司
申请日： 2006-05-23 - 公布日： 2007-11-28 - 主分类号： H01M8/00 文献下载
摘要：一种结合加湿装置于燃料电池未反应气体排放管路的燃料电池系统，是以一加湿装置的一未反应气体入口连接于一未反应阳极气体导出管，以将由燃料电池组的一阳极气体出口所排放的未反应阳极气体导通予该加湿装置；该加湿装置调节未反应阳极气体的相对湿度及浓度，并排放经调节的未反应阳极气体。
结合加湿装置反应气体排放管路燃料电池系统

[发明专利]气体压头及薄膜制造装置-CN200680045341.4有效
发明人：山田贵一;加藤伸幸;植松正纪 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2006-11-13 - 公布日： 2008-12-10 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明提供一种低成本、可以抑制自由基气体的减活、能够向基板上均匀导入原料气体的气体压头及薄膜制造装置。本发明的气体压头(13)具备导入反应气体的反应气体导入口(30A)、导入原料气体的原料气体导入口(30B)、和与原料气体导入口(30B)相向配置地使原料气体分散的分散板(32)，原料气体导入口(30B)包围反应气体导入口(30A)周围那样地设有多个。导入至反应气体导入口(30A)的反应气体与导入至原料气体导入口(30B)且由分散板(32)分散的原料气体混合。原料气体导入口(30B)虽在反应气体导入口(30A)的周围设有多个，但不必做成喷洒孔等那样的细微孔。
气体压头薄膜制造装置

[发明专利]氨氧化反应气体中氨的脱除设备和脱除方法-CN201510051678.7在审
发明人：顾军民;张斌 -专利权人：中国石油化工股份有限公司;中国石油化工股份有限公司上海石油化工研究院
申请日： 2015-01-31 - 公布日： 2016-10-05 - 主分类号： B01D53/78 文献下载
摘要：本发明涉及一种氨氧化反应气体中氨的脱除设备和方法，主要解决现有技术中存在的氨氧化反应流化床反应器出口反应气体中氨的脱除效率低，氨进入后续系统，增加有机物的聚合损失，造成塔器、管线堵塞，缩短装置运行周期的问题本发明通过采用一种氨氧化反应气体中氨的脱除的设备和方法，脱除设备包括壳体、反应气体入口和出口、反应气体中和液入口和出口，在脱除设备内反应气体入口上方、反应气体中和液入口设置由喷头按几何形状排布组成的喷淋层，喷淋层之间的距离从下到上为逐步增加，上一喷淋层之间的距离是下一喷淋层之间的距离的1～1.5倍，反应气体入口设置气体分布器，中和液与反应气体逆流接触的技术方案，较好地解决了该问题，可用于氨氧化反应的工业装置中
氧化反应气体脱除设备方法

[实用新型]一种适用于常压环境材料表面等离子体处理装置-CN201320758446.1有效
发明人：沈文凯;王红卫 -专利权人：苏州市奥普斯等离子体科技有限公司
申请日： 2013-11-27 - 公布日： 2014-05-07 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种适用于常压环境材料表面等离子体处理装置，包括外壳、电极组件和电源，外壳内设置有反应腔室，外壳一侧壁体上开设有气体入口，外壳与设有气体入口相对的壁体上设置有溢气口，电极组件设置于反应腔室内本实用新型物料放置于绝缘板上，反应气体从气体入口进入反应腔室中，同时溢气口向外排气，反应气体在反应腔室中稳定后，电源驱动电极组件工作形成电场将反应气体电离并对物料进行表面处理，实现常压下物料表面等离子体处理；当需要更换反应气体，只需要通入其他反应气体进入反应腔室中，前一种反应气体逐渐从溢气口中排出，实现更换反应气体。
一种适用于常压环境材料表面等离子体处理装置

[发明专利]三氯硅烷制造装置-CN200780012715.7有效
发明人：石井敏由记;伊藤秀男;清水祐司 -专利权人：三菱麻铁里亚尔株式会社
申请日： 2007-10-24 - 公布日： 2009-04-29 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：一种三氯硅烷制造装置，具备：反应容器，在内部的反应流路中被供给包括四氯化硅和氢的供给气体，生成包括三氯硅烷与氯化氢的反应生成气体；加热机构，具有将反应容器的内部加热的加热器部；气体供给部，将供给气体供给到反应容器内；气体排气部，将反应生成气体从反应容器内排出到外部；加热器部配置在反应容器的中央；反应流路配设在加热器部的周围。
硅烷制造装置

[发明专利]热解反应系统和热解有机进料的方法-CN201980050180.5在审
发明人： K·沙赫 -专利权人：皇家墨尔本理工大学
申请日： 2019-05-30 - 公布日： 2021-03-16 - 主分类号： C10B47/24 文献下载
摘要：本发明提供一种热解反应系统，所述系统包括：热解室，其包括进料入口、气体入口和产物出口，其中所述热解室被配置为：i)分别经由所述进料入口和所述气体入口接收可热解的有机进料和惰性气体，ii)在热解温度下热解有机进料以产生碳质热解产物和热解气体，其中热解气体与惰性气体混合以在所述热解室中形成具有热解室压力的气体混合物，以及iii)经由所述产物出口排出碳质热解产物；气体反应器，其被配置为在气体反应温度和气体反应器压力下通过燃烧和/或碳沉积使热解气体进行反应；以及第一分隔体，其限定出所述热解室与所述气体反应器之间的边界，所述第一分隔体包括用以提供所述热解室与所述气体反应器之间的流体连通的多个第一开口，其中，所述热解反应系统能够在气体反应器压力小于热解室压力的情况下运转，使得气体混合物通过所述第一开口从所述热解室流至所述气体反应器，从而向所述气体反应器中提供至少一部分热解气体以进行反应。
反应系统有机进料方法

[实用新型]催化化学反应装置及用于该装置的供气部件-CN201420098112.0有效
发明人：杨有军 -专利权人：华东理工大学
申请日： 2014-03-05 - 公布日： 2014-12-17 - 主分类号： B01J19/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及催化化学反应装置及用于给催化化学反应装置分配气体的供气部件，包括气体发生器、气体储罐、气体分配器、气压表、三通气体阀门、气压调节阀门、连接上述组件的气体管路、连接气体分配器和反应瓶的一根或多根气体管路和排气阀；气体发生器、气体储罐和气体分配器之间用气体管路相连；连接至气体储罐的气体管路经由气体分配器与连接至反应瓶的气体管路相连；气体分配器与压力表相连，用以监测供气部件中的气压；气体分配器与气压调节阀门相连，用以调控、监测输送到反应瓶中的气压；三通阀门安装在气体管路的不同位置上，实现对气体流动的完全控制。还提供催化化学反应装置，包括反应部件和本实用新型的供气部件。
催化化学反应装置用于供气部件

[实用新型]一种氯乙烯制备装置-CN201220545817.3有效
发明人：滕圣刚;孟丹;张国发;杨常亮;步同心 -专利权人：滕圣刚
申请日： 2012-10-14 - 公布日： 2013-03-27 - 主分类号： B01J8/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及的是一种氯乙烯制备装置，这种氯乙烯制备装置包括反应罐，反应罐的上部有反应气体出口和催化剂加入口，反应罐底部设置上气体分布器和下气体分布器，反应罐底部设有第一气体入口，反应罐侧壁设有第二气体入口，第一气体入口与下气体分布器相连，第二气体入口与上气体分布器相连，两个气体分布器上下排列并均与反应罐罐壁相连，两个气体分布器均为管式分布器，上气体分布器上面形成催化剂密相区，催化剂密相区中安装有换热管；反应气体出气管上安装有脱汞装置和除尘装置。
一种氯乙烯制备装置

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