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[发明专利]气体检测系统-CN202211648750.0在审
发明人：张金虎;刘俊峰;许永祥;王锐;任建超;丁维波;张权;冯裕堂;王亮;雷声;米牧石 -专利权人：中煤科工开采研究院有限公司;天地科技股份有限公司;陕西陕煤曹家滩矿业有限公司
申请日： 2022-12-21 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种气体检测系统，所述气体检测系统包括第一管、检测组件、反应组件和增压组件，第一管预埋在巷道内，以便收集巷道内的气体，检测组件与第一管连通，以便检测组件检测第一管内的气体的含量和成分，反应组件适于存储反应气体，反应组件与检测组件连通，增压组件与第一管连通，增压组件适于将低压气体压缩成高压气体，以便增压组件产生的高压气体流入第一管，气体检测系统具有第一状态和第二状态，在第一状态，检测组件工作，以便检测管内的气体的含量和成分，在第二状态，反应组件内的气体流入检测组件，以便经反应组件内的反应气体流入检测组件且与检测组件内的气体反应。本发明的气体检测系统具有结构简单、检测准确优点。
气体检测系统

[发明专利]催化剂评价装置-CN201510779785.1有效
发明人：王尤崎;徐勇华;花云 -专利权人：亚申科技研发中心（上海）有限公司
申请日： 2015-11-13 - 公布日： 2019-02-15 - 主分类号： G01N27/62 文献下载
摘要：它包括若干个反应容器、用于向各反应容器输入气体的气体输入模块以及用于从反应容器采取气体产物并进行分析的气体分析模块。这一催化剂评价装置还包括与反应容器相同数量的采样管，这些采样管和反应容器一一对应；采样管的管口位于反应容器内，采样管用于连接反应容器和气体分析模块。反应容器内盛装有原料和催化剂；原料在催化剂的作用下反应，产生气体产物；气体产物在气体输入模块输送的背景气体的携带下通过采样管进入气体分析模块，经气体分析模块分析后，由气体分析模块得出分析结果。
催化剂评价装置

[发明专利]准分子UV光反应装置-CN01814678.3无效
发明人：大野田忠与;坂井郁夫 -专利权人：信越工程株式会社
申请日： 2001-10-24 - 公布日： 2003-10-15 - 主分类号： B01J19/12 文献下载
摘要：一种准分子UV光反应装置，自反应性气体供应机构(1)将反应性气体(C)仅集中供应至被照射体(A)上的活性区域(A1)，从而在低温环境气氛下促进准分子UV与反应性气体(C)的光化学反应，由于对该化学反应不活泼的区域(A2)不供应反应性气体(C)，不致造成浪费，故即使不使用气体供应能力大的反应性气体供应源已足够。因此，能以简单构成且在低温环境气氛下稳定地进行光化学反应。
分子 uv 光反应装置

[发明专利]一种固气微通道反应器-CN201810964306.7在审
发明人：贾建洪 -专利权人：浙江工业大学上虞研究院有限公司
申请日： 2018-08-23 - 公布日： 2018-11-30 - 主分类号： B01J19/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种固气微通道反应器，包括套管，用于与输送气体的微通道可拆卸连接；反应管，穿设于所述套管内且具有多个通风开口；催化结构，设于所述反应管上，包括固相药品；多个引流结构，用于引导气体由反应管中部向着催化结构方向运动，且在气体与套管内壁接触后呈螺旋状重新穿过催化结构；过滤结构，与所述套管相配合，于气体未进入至反应管之前对气体进行过滤以滤除气体中含有的固体杂质。本发明通过设置引流结构，气体经过引流结构进行多次穿过催化结构而进行催化反应，保障通过的整个气体均能够有效的进行催化活化，提高气体活化能，加快后续反应效率，缩短反应时间，提高对气体的处理效率。
催化结构反应管引流结构套管微通道反应器固气穿过可拆卸连接呈螺旋状处理效率催化反应催化活化反应效率固体杂质过滤结构气体活化输送气体套管内壁微通道穿设滤除过滤通风开口配合

[发明专利]一种提高成膜质量的进气结构-CN202211545180.2在审
发明人：刘鹏;徐文立;沈磊 -专利权人：宁波恒普真空科技股份有限公司
申请日： 2022-12-05 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： C30B25/14 文献下载
摘要：本发明公开一种提高成膜质量的进气结构，涉及半导体生产设备技术领域，包括进气室、反应室和基座；进气室内设置有多个保护气体流道和多个反应气体流道；多个保护气体流道和多个反应气体流道的进气端均位于进气室外侧，多个保护气体流道和多个反应气体流道的出气端均位于进气室底部；且相邻的反应气体流道的出气端被保护气体流道的出气端完全隔开。本发明中的提高成膜质量的进气结构，采用多个相互独立的密闭流道进气，保护气体将多种反应气体隔离，并通过设置调整件，改变每种反应气流道的横截面积，以改变反应气的在出气端的流速避免沉积。
一种提高质量结构

[实用新型]一种固气微通道反应器-CN201821361810.X有效
发明人：贾建洪 -专利权人：浙江工业大学上虞研究院有限公司
申请日： 2018-08-23 - 公布日： 2019-06-28 - 主分类号： B01J19/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种固气微通道反应器，包括套管，用于与输送气体的微通道可拆卸连接；反应管，穿设于所述套管内且具有多个通风开口；催化结构，设于所述反应管上，包括固相药品；多个引流结构，用于引导气体由反应管中部向着催化结构方向运动，且在气体与套管内壁接触后呈螺旋状重新穿过催化结构；过滤结构，与所述套管相配合，于气体未进入至反应管之前对气体进行过滤以滤除气体中含有的固体杂质。本实用新型通过设置引流结构，气体经过引流结构进行多次穿过催化结构而进行催化反应，保障通过的整个气体均能够有效的进行催化活化，提高气体活化能，加快后续反应效率，缩短反应时间，提高对气体的处理效率。
催化结构反应管引流结构套管微通道反应器本实用新型固气穿过可拆卸连接呈螺旋状处理效率催化反应催化活化反应效率固体杂质过滤结构气体活化输送气体套管内壁微通道穿设滤除过滤通风开口配合

[实用新型]利用废气热能增温操作气体的反应炉-CN202023141200.9有效
发明人：吴铭钦;刘峰 -专利权人：苏州雨竹机电有限公司
申请日： 2020-12-21 - 公布日： 2021-10-08 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本实用新型为一种利用废气热能增温操作气体的反应炉，适用于气相沉积反应的技术，反应炉包括一反应腔内设有一晶圆承载装置，及一废气汇集环提供环设于反应腔的侧壁。一气体输送管沿着废气汇集环设置，气体输送管连通操作气体供给单元及晶圆承载装置，以输送操作气体供给单元提供的操作气体至晶圆承载装置，以驱动晶圆承载装置转动晶圆。由于气体输送管沿着废气汇集环设置，使操作气体能吸收废气汇集环中高温废气的热能，以产生与反应炉反应温差较小的操作气体，从而降低操作气体对于反应炉温度的影响，维持制作晶圆的品质。
利用废气热能增温操作气体反应炉

[实用新型]一种化学试验用反应皿-CN202120884850.8有效
发明人：杨勇;刘存振;高俊雄 -专利权人：山东科源生化有限公司
申请日： 2021-04-27 - 公布日： 2021-12-24 - 主分类号： B01J19/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种化学试验用反应皿，反应皿的侧壁设有有害气体收集箱，反应皿的上表面设有有害气体收集管和排气管，有害气体收集管和排气管均连通反应皿，有害气体收集管连通有害气体收集箱，有害气体收集管上设有电磁阀，底座内设有电机，电机的输出端固定连接连接轴的一端，连接轴的另一端穿过底座与反应皿置于反应皿内部，连接轴侧壁设有两块刮板，反应皿的侧壁设有试剂添加单元，通过排气管可以将无害气体排出，通过有害气体收集管和有害气体收集箱可以收集有害气体，通过刮板可以将附着在反应皿内壁的固体产物刮下。
一种化学试验反应

[实用新型]一种反应检测装置及气体燃烧装置-CN201920544727.4有效
发明人：喻泽锋;周冬成;吴宗祐;林宗贤 -专利权人：德淮半导体有限公司
申请日： 2019-04-19 - 公布日： 2020-02-04 - 主分类号： G01N29/02 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种反应检测装置及气体燃烧装置，所述反应检测装置用于所述气体燃烧装置，所述气体燃烧装置包括反应腔室；所述反应检测装置用于检测所述反应腔室内的反应状态信息，还包括声音采集组件和分贝分析组件，其中，所述声音采集组件设置于所述反应腔室的外部，用于采集所述反应腔室内气体燃烧的声音信息，并将所述声音信息传输给所述分贝分析组件；所述分贝分析组件与所述声音采集组件连接，用于根据所述声音信息获取所述反应腔室内气体的燃烧状态信息所述气体燃烧装置能够减少反应腔室内气体燃烧异常时的误报警，且结构简单，易于实施。
气体燃烧装置反应腔反应检测装置分析组件声音采集声音信息室内气体反应腔室反应状态信息本实用新型燃烧燃烧状态组件连接组件设置误报警采集室内传输检测外部

[发明专利]烯烃聚合装置及方法-CN201511021013.8有效
发明人：王靖岱;吴文清;阳永荣;韩国栋;黄正梁;范小强;贾世敏;杜焕军;王晓飞;蒋斌波;李孝博;廖祖维;刘焕毅;安宝玉;王建斌;王静;冯冠男;胡晓波;陈美 -专利权人：中国石油化工股份有限公司;浙江大学
申请日： 2015-12-30 - 公布日： 2019-06-07 - 主分类号： C08F10/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种烯烃聚合装置及方法，其包括：流化床反应器，流化床反应器包括反应腔以及与反应腔相连通并相互间隔开的气体入口及气体出口，以及在气体入口及气体出口之间与反应腔相连通的多个液体入口，其中，经气体入口进入到反应腔内的气体物料包括聚合单体，经液体入口进入到反应腔内的液体物料包括冷凝剂，所述冷凝剂在反应腔内蒸发能将反应腔内的环境温度降低到气体物料的露点温度之下。
反应腔烯烃聚合装置气体入口流化床反应器气体出口气体物料液体入口冷凝剂烯烃聚合物聚合单体温度降低液体物料支化度露点蒸发

[实用新型]一种制备三氯化铱的装置-CN201720468088.9有效
发明人：许万祥;孙晓亮;王靖坤;郭瑞 -专利权人：西安瑞鑫科金属材料有限责任公司
申请日： 2017-04-29 - 公布日： 2017-12-22 - 主分类号： B01J19/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种制备三氯化铱的装置，包括用于制备三氯化铱的制备系统、为所述制备系统提供反应气体的气体供给系统和对反应完成后的尾气进行处理的尾气处理系统；制备系统由对参与反应的物质进行加热和干燥处理的管式反应炉和位于管式反应炉内部用于供反应物进行反应的反应器皿组成；气体供给系统包括气体存储罐、流量控制单元、防止反应气体倒流的单向阀和用于干燥反应气体的干燥处理单元。本实用新型设计合理，节能环保、提高了三氯化铱的制备效率，通过设置流量控制单元，能够对反应气体的气压和流量进行控制调节，更精确的控制了参与制备过程中反应气体的用量，可靠性高，实用性强。
一种制备氯化装置

[发明专利]一种气体脱杂水解复合罐及高炉煤气精脱硫系统-CN202110160564.1在审
发明人：许建明 -专利权人：上海轩鼎冶金科技有限公司
申请日： 2021-02-05 - 公布日： 2021-05-18 - 主分类号： C10K1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种气体脱杂水解复合罐及高炉煤气精脱硫系统，包括反应罐本体，反应罐本体沿径向设置气体入口和气体出口，反应罐本体内部设置3个网隔板，网隔板与反应罐的中心线平行设置，气体沿罐体径向流动，网隔板将反应罐本体内部分隔为气体分配室、脱杂室、催化水解室和气体集合室，气体入口设置在反应罐本体气体分配室侧，气体出口设置在反应罐本体集气室侧，脱杂室内放置脱杂剂，催化水解室内放置有机催化转化剂，气体从气体入口进入气体分配室、均匀分布流向脱杂室和催化水解室、在气体集合室汇合后通过出口排出，气体沿程阻力小，压力损失小，而且能够满足脱除高炉烟气中的有害杂质和催化水解有机硫化物。
一种气体水解复合高炉煤气脱硫系统

[发明专利]一种反应气体传输系统-CN201110460674.6无效
发明人：崔军;吴国发;辛科 -专利权人：汉能科技有限公司
申请日： 2011-12-31 - 公布日： 2012-05-02 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明涉及一种反应气体传输系统，具体地讲是涉及一种低压金属有机物化学气相沉积工艺反应腔室的反应气体传输系统。该系统包括设于反应腔室腔盖上部的气体管路，气体管路输气端通过腔盖与反应腔室内的喷淋装置连通，该系统还包括设于反应腔室内部侧壁上的气体导入模块和设于腔盖下部的气体导出模块；反应腔室侧壁开有引入气体的通孔，与气体导入模块密闭连通；腔盖开有引出气体的通孔，气体导出模块和气体管路的引气端通过该通孔连通；当腔盖闭合时，气体导入模块和气体导出模块密闭连通。该系统结构简单，极大程度的降低了特殊气体传输过程中发生泄露的可能性，且成本较低，易于维护。
一种反应气体传输系统

[实用新型]一种反应气体传输系统-CN201120575257.1有效
发明人：崔军;吴国发;辛科 -专利权人：汉能科技有限公司
申请日： 2011-12-31 - 公布日： 2012-09-05 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种反应气体传输系统，具体地讲是涉及一种低压金属有机物化学气相沉积工艺反应腔室的反应气体传输系统。该系统包括设于反应腔室腔盖上部的气体管路，气体管路输气端通过腔盖与反应腔室内的喷淋装置连通，该系统还包括设于反应腔室内部侧壁上的气体导入模块和设于腔盖下部的气体导出模块；反应腔室侧壁开有引入气体的通孔，与气体导入模块密闭连通；腔盖开有引出气体的通孔，气体导出模块和气体管路的引气端通过该通孔连通；当腔盖闭合时，气体导入模块和气体导出模块密闭连通。该系统结构简单，极大程度的降低了特殊气体传输过程中发生泄露的可能性，且成本较低，易于维护。
一种反应气体传输系统

[发明专利]包括反应室内的前体气体炉的沉积系统及相关方法-CN201280040199.X有效
发明人： R·T·小贝尔特拉姆;M·兰迪斯 -专利权人： SOITEC公司
申请日： 2012-07-31 - 公布日： 2014-04-16 - 主分类号： C23C16/30 文献下载
摘要：沉积系统包括反应室，设置在所述室内用于支撑所述反应室内的基材的基材支撑结构，和用于将一种或多种前体气体注入所述反应室的气体输入系统。所述气体输入系统包括至少部分地设置在所述反应室内的至少一个前体气体炉。沉积材料的方法包括使第一前体气体和第二前体气体分别地流入反应室，使所述第一前体气体流动通过至少一个前体气体流路，所述前体气体流路延伸通过设置在所述反应室内的至少一个前体气体炉，和在所述至少一个前体气体炉内加热所述第一前体气体后，将所述第一前体气体和所述第二前体气体在所述反应室内在基材上方混合。
包括反应室内气体沉积系统相关方法