专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]抗污染残气分析装置-CN201621341891.8有效
  • 庄集尧;吴柄村 - 毅泰成科技股份有限公司
  • 2016-12-08 - 2017-08-15 - G01N33/00
  • 一种抗污染残气分析装置,包含一真空计、一残余气体分析仪、一隔离阀以及一加热单元。真空计连接一真空腔体以量测真空腔体内的压力,且残余气体分析仪用以量测真空腔体内的残余气体的成分。隔离阀设于真空腔体与残余气体分析仪之间,隔离阀于真空腔体内的压力低于一设定值开启,以让真空腔体内的残余气体进入残余气体分析仪。加热单元于隔离阀开启前及开启后均启动以至少对残余气体分析仪加热。
  • 污染分析装置
  • [发明专利]气体分离装置和方法-CN200680038437.8无效
  • B·S·格罗弗;P·文廷克 - 乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司
  • 2006-08-14 - 2008-10-15 - C01B3/34
  • 在一个实施例中,一种制氢的方法包括使进料源与蒸汽反应以产生包含氢和残余气体气体混合物;将该气体混合物引入净化单元;吸附残余气体;以及排出氢的至少一部分。该方法还包括使净化单元减压;在减压期间排出残余气体的至少一部分;将残余气体再循环到进料源;以及排出净化单元内剩余的残余气体。在另一个实施例中,该方法包括在减压期间排出残余气体的一部分,使得排出的残余气体的碳氢化合物含量高于净化单元内剩余的次要产品。
  • 气体分离装置方法
  • [实用新型]一种绿色环保的电子厂废气处理设备-CN202022742172.X有效
  • 陈蕾蕾 - 北京含元科技有限公司
  • 2020-11-24 - 2021-08-31 - B01D53/40
  • 本实用新型涉及废气处理设备技术领域,具体地说,涉及一种绿色环保的电子厂废气处理设备,包括酸性气体处理装置、残余气体处理装置,所述酸性气体装置连通有所述残余气体处理装置,所述酸性气体装置包括酸性气体箱、吸收液输送管道、废液回收管道、气体进入管道,所述酸性气体箱连通有所述气体进入管道,所述酸性气体箱内安装有气体反应装置,所述气体反应装置连通有所述吸收液输送管道、所述废液回收管道,所述残余气体处理装置包括残余气体箱、连接管、吸附装置、排出管,所述残余气体箱连通有所述连接管、排出管,所述残余气体箱内安装有所述吸附装置。本实用新型的废气处理设备的优点是不会产生二次污染,排出气体对自然界无害。
  • 一种绿色环保电子厂废气处理设备
  • [发明专利]安全气囊装置-CN201110149012.7无效
  • 金瑞洪 - 上海现代摩比斯汽车零部件有限公司
  • 2011-06-03 - 2012-12-05 - B60R21/26
  • 本发明涉及一种安全气囊装置,尤其是,从气体中过滤气体发生器中产生气体后剩余的气体发生媒介的残余物质,防止气囊被残余物质破坏。为此,本发明提供的安全气囊装置,包括,连接在气囊,源于其内部的气体发生媒介的爆炸产生气体气体发生器;为了防止产生气体后剩下的气体发生媒介的残余物质与气体一起飞向气囊,置于气体发生器内从上述气体中过滤残余物质的过滤部件
  • 安全气囊装置
  • [发明专利]EUV光刻设备中污染物质的检测-CN200980133665.7有效
  • 迪特尔·克劳斯;德克·H·埃姆;斯蒂芬-沃尔夫冈·施米特 - 卡尔蔡司SMT有限责任公司
  • 2009-07-03 - 2011-07-27 - G03F7/20
  • EUV曝光设备(1),包括:包围内部(15)的壳体(1a),布置在所述内部(15)中的至少一个反射光学元件(5、6、8、9、10、14.1至14.6),真空产生单元(1b),用于在所述内部(15)中产生残余气体环境,以及残余气体分析仪(18a、18b),用于检测所述残余气体环境中的至少一种污染物质(17a)。所述残余气体分析仪(18a)具有用于储存所述污染物质(17a)的储存装置(21)。本发明还涉及用于通过EUV光刻设备(1)的残余气体环境的残余气体分析而检测至少一种污染物质的方法,所述EUV光刻设备(1)具有带有内部(15)的壳体(1a),在所述内部(15)中,至少布置了一个反射光学元件(5、6、8、9、10、14.1至14.6),其中,所述污染物质(17a)被储存在储存装置(21)中,以便执行所述残余气体分析。
  • euv光刻设备污染物质检测
  • [发明专利]快速清除残余反应气体的金属有机物化学气相沉积反应腔体-CN201010272456.5有效
  • 甘志银 - 甘志银
  • 2010-09-03 - 2012-03-21 - C23C16/44
  • 快速清除残余反应气体的金属有机物化学气相沉积反应腔体,包括:反应腔进气口、反应腔进气管道、上缓冲腔、下缓冲腔、喷淋口、载片台、加热组件、残余气体排放管路、尾气管路、控制阀、缓冲腔压力检测表、真空泵,反应腔进气管道为多路进气管道,载片台的上部设有反应气体喷淋口。反应腔体内设有尾气管路,缓冲腔内设有残余气体排气管路,残余气体排放管路与反应腔的尾气管路通过接头汇合成一条管路与抽除尾气的真空泵相连。本发明的优点是能够在气相沉积反应腔体内快速清除残余气体,利用气相沉积反应腔体的抽气真空泵和部分尾气管路来排放残余气体,使得不同外延层薄膜之间的界面陡峭,提高设备的性能。
  • 快速清除残余反应气体金属有机物化学沉积
  • [实用新型]一种电子混合气体配制系统-CN202222284913.3有效
  • 雷海平;张建长 - 欧中电子材料(重庆)有限公司
  • 2022-08-29 - 2023-02-10 - B01F23/10
  • 本实用新型涉及气体存储领域,具体公开了一种电子混合气体配制系统,包括配制柜以及位于配制柜内的混合气充气装置,还包括残余气体排出洗涤单元,残余气体排出洗涤单元包括气体检测报警器、排气管道、排气动力部、连接管以及对配制柜内有害气体进行洗涤的第一废气处理部,第一废气处理部设置在连接管的一端上,连接管的另一端与排气管道的一端处连通,排气管道的另一端与配制柜连通,排气动力部位于排气管道内并且与排气管的端部相对;气体检测报警器安装在配制柜内。本方案中气体检测报警器能对配制柜内的气体进行实时检测,当检测到含有残余气体时,空气与残余气体通过排气管道和连接管进入到第一废气处理部处,该部分残余气体被第一废气处理部处清理,实现对残余气体的及时清理。
  • 一种电子混合气体配制系统

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