专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]混合装置及半导体加工设备-CN201922198484.6有效
  • 袁福顺;王石 - 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 2019-12-10 - 2020-10-13 - C23C16/455
  • 本实用新型提供一种混合装置及半导体加工设备,混合装置用于硅外延设备的掺杂气体混合,包括携带气体管道、掺杂气体管道和混合管道;其中,携带气体管道和掺杂气体管道均与混合管道的进气端相连;携带气体管道用于向混合管道输送携带气体;掺杂气体管道用于向混合管道输送掺杂气体;混合管道呈弯折状,且弯折状的混合管道所在平面与携带气体管道和/或掺杂气体管道所在平面呈第一预设夹角。本实用新型提供的混合装置及半导体加工设备,能够提高携带气体与掺杂气体混合的均匀性,从而提高外延片电阻率的均匀性。
  • 混合装置半导体加工设备
  • [实用新型]一种SO3标准气体发生装置-CN201720992639.1有效
  • 姚杰;肖正雨;庄柯;吴碧君;侯深;沈磊;白艳;黄奎;林正根;王娴娜;周锦晖;朱春华 - 国电环境保护研究院
  • 2017-08-09 - 2018-03-30 - G01M3/02
  • 本实用新型公开了一种SO3标准气体发生装置,发生装置包括气体发生系统和装置标定系统;气体发生系统包括SO2/N2高压混合气体管道、O2高压气体管道、N2高压气体管道气体混合管道、去离子水管道、盘管式气体混合加热器、含有钒触媒的反应器、排气管道和SO3标准气体采集管道;各气体管道分别设有减压阀和气体质量流量计,去离子水管道设有平流泵;装置标定系统包括分别设于各气体质量流量计前后与气体管道连通的校准管道;各气体管道上于气体质量流量计后的校准管道气体混合管道之间分别设有球阀;各校准管道分别设有球阀;去离子水管道设有球阀,球阀前的管道连通有排水管道,排水管道上设有球阀;排气管道和SO3标准气体采集管道设有球阀。
  • 一种so3标准气体发生装置
  • [发明专利]旋转式气体吸附装置及其工作方法-CN201911113094.2有效
  • 解延风;张宜东;宋淼松 - 中微惠创科技(上海)有限公司
  • 2019-11-14 - 2023-02-03 - B01D53/06
  • 一种旋转式气体吸附装置及工作方法,装置包括:滚轮,可沿其周向转动,具有相对的吸附侧和脱附侧;第一气体管道结构,包括若干个隔离件,若干个隔离件将第一气体管道结构沿滚轮的转动方向依次分割为吸附区气体管道、脱附区气体管道、循环区气体管道和冷却区气体管道;加热装置,用于将气体加热成为脱附气体;第一隔板,位于滚轮脱附侧,第一隔板一侧将来自循环区气体管道的脱附气体输入加热装置,另一侧将加热装置输出的部分脱附气体流入循环区气体管道;待加热气体输送管道,将冷却区气体管道气体和来自循环区气体管道的脱附气体输送到加热装置;脱附气体输送管道,将脱附气体经滚轮输送至脱附区气体管道和循环区气体管道
  • 旋转气体吸附装置及其工作方法
  • [发明专利]一种管道系统-CN201911039700.0在审
  • 杨朔;江艳存;王贵山;陈永强;孙崧淘 - 招远市汇潮新能源科技有限公司
  • 2019-10-29 - 2021-05-04 - B08B9/032
  • 本申请公开了一种管道系统,包括气体管道,还包括:高压气体管,与所述气体管道连接,所述高压气体管的气体出口位于所述气体管道内;高压气源,与所述高压气体管连通,用于向所述气体管道内通入高压气体,通过高压气体吹扫所述气体管道的内壁上沉积的飞灰工作时,高压气源向高压气体管中通入高压气体,高压气体气体出口高速进入气体管道中,高压气体将沉积于气体管道内壁上飞灰吹起,吹起的飞灰随气体管道内的气流排出,从而完成了气体管道内壁沉积飞灰的清理。
  • 一种管道系统
  • [实用新型]一种管道系统-CN201921853666.6有效
  • 杨朔;江艳存;王贵山;陈永强;孙崧淘 - 招远市汇潮新能源科技有限公司
  • 2019-10-29 - 2020-07-17 - B08B9/032
  • 本申请公开了一种管道系统,包括气体管道,还包括:高压气体管,与所述气体管道连接,所述高压气体管的气体出口位于所述气体管道内;高压气源,与所述高压气体管连通,用于向所述气体管道内通入高压气体,通过高压气体吹扫所述气体管道的内壁上沉积的飞灰工作时,高压气源向高压气体管中通入高压气体,高压气体气体出口高速进入气体管道中,高压气体将沉积于气体管道内壁上飞灰吹起,吹起的飞灰随气体管道内的气流排出,从而完成了气体管道内壁沉积飞灰的清理。
  • 一种管道系统
  • [实用新型]填埋气收集输送管道系统-CN201921859272.1有效
  • 郭亚龙;练纶;李志鹏;何战锋;张光明 - 河南百川畅银环保能源股份有限公司
  • 2019-10-31 - 2020-07-07 - F16L53/30
  • 本实用新型涉及填埋气收集处理技术领域,具体涉及一种填埋气收集输送管道系统,包括气体管道气体管道以及内置伴热带,气体管道倾斜设置,气体管道上设有排水点;气体管道倾斜设置,气体管道的一端连接到气体管道,另一端连接到抽气井,气体管道上也设有排水点;内置伴热带设置在气体管道气体管道的排水点位置、积水位置的内部,内置伴热带通过在气体管道气体管道上开设的小孔进入气体管道气体管道内部,小孔处设有密封结构;气体管道气体管道的外部还设有保温层和防护层。本系统能根据不同情况采取的不同的保温措施,极大地降低了成本,既保证了管道的顺畅运行,又避免了过度保温造成的安全隐患。
  • 填埋气收集输送管道系统
  • [发明专利]一种SO3-CN201710674122.2有效
  • 姚杰;肖正雨;庄柯;吴碧君;侯深;沈磊;白艳;黄奎;林正根;王娴娜;周锦晖;朱春华 - 国电环境保护研究院有限公司
  • 2017-08-09 - 2023-04-18 - G01M3/02
  • 本发明公开了一种SO3标准气体发生装置及标定方法,发生装置包括气体发生系统和装置标定系统;气体发生系统包括SO2/N2高压混合气体管道、O2高压气体管道、N2高压气体管道气体混合管道、去离子水管道、盘管式气体混合加热器、含有钒触媒的反应器、排气管道和SO3标准气体采集管道;各气体管道分别设有减压阀和气体质量流量计,去离子水管道设有平流泵;装置标定系统包括分别设于各气体质量流量计前后与气体管道连通的校准管道;各气体管道上于气体质量流量计后的校准管道气体混合管道之间分别设有球阀;各校准管道分别设有球阀;去离子水管道设有球阀,球阀前的管道连通有排水管道,排水管道上设有球阀;排气管道和SO3标准气体采集管道设有球阀。
  • 一种sobasesub
  • [实用新型]一种高湿气体含湿量测量装置-CN202021124556.9有效
  • 岳朴杰;谷小兵;孟磊;荆亚超;杨春雨;白玉勇;申镇 - 大唐环境产业集团股份有限公司
  • 2020-06-17 - 2021-01-26 - G01N27/22
  • 本实用新型涉及气体含湿量测量技术领域,尤其是涉及一种高湿气体含湿量测量装置,包括气体引出管道气体支管管道和在线监测部件;所述气体引出管道的一端用于和高湿气体管道相连,以将高湿气体引入,另一端自由,且所述气体引出管道上设置有喉道;所述气体支管管道的一端与所述喉道连通,另一端与位于所述高湿气体管道和所述喉道之间的所述气体引出管道连通;所述在线监测部件设置在所述气体支管管道上。该装置在气体引出管道上设置喉道,利用文丘里原理从气体引出管道自吸抽出部分气体进入气体支管管道,通过气体气体支管管道流动过程中去除气体中携带的液滴,有效解决了高湿气体测量过程中测量装置感应探头失灵的问题
  • 一种湿气体含湿量测量装置

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