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[发明专利]一种掩膜板及其制作方法-CN202110166568.0在审
发明人：钱超;余洋;黄斌;植启东 -专利权人：南京深光科技有限公司
申请日： 2021-02-04 - 公布日： 2021-05-28 - 主分类号： G03F1/64 文献下载
摘要：本发明属于掩膜板技术领域，尤其是涉及一种掩膜板及其制作方法，包括掩膜板本体和掩膜板边框和掩膜板基底，掩膜板基底层叠在掩膜板本体的背部，掩膜板基底与掩膜板本体粘合，掩膜板本体的侧边嵌合有贴条，掩膜板本体通过贴条与掩膜板边框粘合；掩膜板边框上分有第一准备区和第二准备区，第一准备区和第二准备区长度大于其宽度，第一准备区和第二准备区上刻有校准图形。优点在于：本发明在掩膜板进行张网和焊接时具有更好的可控性，从而使得掩膜板整体降低作业时的次品率。
一种掩膜板及其制作方法

[发明专利]掩膜装置、制造该掩膜装置的系统以及方法-CN201410033130.5无效
发明人：黄俊允 -专利权人：上海和辉光电有限公司
申请日： 2014-01-23 - 公布日： 2014-04-30 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供了掩膜装置、制造该掩膜装置的系统以及方法，其中掩膜装置包括一掩膜托架以及设置于所述掩膜托架一侧的多个掩膜板，所述掩膜托架包括多个支撑肋，所述多个支撑肋之间形成矩阵排列的多个格子开孔；每个所述掩膜板包括掩膜孔阵列以及自所述掩膜孔阵列向外延展出的多个固定部，所述固定部用于连接于所述掩膜托架的支撑肋，一个所述掩膜板的掩膜孔阵列对应于所述掩膜托架上的一个所述格子开孔。本发明同时对掩膜板以及掩膜托架进行了改进，将现行掩膜托架设计由大开孔形式改为中间有支撑肋形式的格子状，多片掩膜板与每个格子对应，分别进行张网，可排除因大张力所造成的微变形，可以更精准将掩膜板张网至正确位置
装置制造系统以及方法

[发明专利]掩膜板固化方法及掩膜板处理工艺-CN201210366881.X无效
发明人：顾婷婷 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2012-09-27 - 公布日： 2014-04-02 - 主分类号： G03F1/68 文献下载
摘要：本发明揭示了一种掩膜板固化方法，该方法包括：将掩膜板进行等离子体工艺处理，以使掩膜板固化。本发明还揭示了一种掩膜板处理工艺，该工艺包括：制备具有图形的掩膜板；将所述掩膜板进行等离子体工艺处理，使所述掩膜板固化以形成固化掩膜板；以及将所述固化掩膜板进行湿法清洗。本发明采用等离子体对掩膜板进行固化，使掩膜板在湿法清洗去除缺陷的过程中不会损坏到掩模板，提高良率。
掩膜板固化方法处理工艺

[发明专利]一种掩膜板、掩膜曝光设备及掩膜曝光方法-CN201510136925.3在审
发明人：藤野诚治;张嵩;王涛;高静;杜小波 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2015-03-26 - 公布日： 2015-07-01 - 主分类号： G03F1/64 文献下载
摘要：本发明公开了一种掩膜板、掩膜曝光设备及掩膜曝光方法，属于显示技术领域。掩膜板包括托盘；所述托盘上具有至少一个掩膜定位槽，每一个所述掩膜定位槽内设置有掩膜。本发明提供的掩膜板、掩膜曝光设备及掩膜曝光方法能够有效实现闭环开口的掩膜，提高基板上成膜的质量。
一种掩膜板曝光设备方法

[发明专利]一种真空蒸镀装置-CN201410081835.4无效
发明人：沐俊应;马大伟 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司
申请日： 2014-03-07 - 公布日： 2014-06-18 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种真空镀膜装置，包括：用于承载及移动基板的基板驱动机构；用于承载及移动第一掩膜板的第一掩膜板驱动机构，第一掩膜板位于基板的下方；用于承载及移动第二掩膜板，以与第一掩膜板驱动机构配合，改变第一掩膜板与第二掩膜板的掩膜板图形区的相互交叠状态的第二掩膜板驱动机构，第二掩膜板位于第一掩膜板的下方；以及，蒸发源，蒸发源位于第二掩膜板的下方。本发明所提供的真空蒸镀装置，通过设置至少两块掩膜板，可以根据基板表面待蒸镀图形区的图形特征，改变至少两块掩膜板上的掩膜板图形区的相互交叠状态，以与基板表面待蒸镀图形区的图形相适配，从而实现各层蒸镀薄膜的图形化，降低了掩膜板的制造成本。
一种真空装置

[实用新型]一种掩膜板框架及掩膜板组件-CN202022623233.0有效
发明人：高崇;梁舰;史晓波;冯敏强 -专利权人：江苏集萃有机光电技术研究所有限公司
申请日： 2020-11-13 - 公布日： 2021-07-23 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型属于掩膜板技术领域，公开了一种掩膜板框架，用于支撑掩膜板，掩膜板框架包括基座和至少一组调整机构，基座上设置有窗口，掩膜板支撑于窗口处，调整机构滑动设置于基座上，并与掩膜板相连，每组调整机构均包括两组拉伸组件，两组拉伸组件均滑动设置于基座上并位于窗口的相对两侧，拉伸组件与掩膜板的对应侧相连，两组拉伸组件能够沿第一方向靠近或远离窗口，以将掩膜板拉紧或放松，通过两组拉伸组件将掩膜板拉紧，以对掩膜板的下垂形变进行拉伸调整，以提升蒸镀图形的精度，本实用新型还提供了一种掩膜板组件包括掩膜板框架以及支撑于掩膜板框架上的掩膜板，该掩膜板组件能够调整掩膜板的下垂形变，以提升蒸镀图形的精度。
一种掩膜板框架组件

[发明专利]一种掩膜板的制作方法-CN201510095739.X有效
发明人：马得贵;吴俊雄;冉应刚;王红英;柯贤军;苏君海;李建华 -专利权人：信利（惠州）智能显示有限公司
申请日： 2015-03-04 - 公布日： 2017-05-10 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种掩膜板的制作方法，包括以下步骤（1）测量环境温度T1；（2）将遮挡掩膜板的两端张紧，然后固定在掩膜板框架上，计算出所述遮挡掩膜板的形变量；（3）在所述掩膜板框架的左部区域和右部区域分别固定一块掩膜板，掩膜板的边沿与遮挡掩膜板重叠的部分长度相同；计算出掩膜板的形变量；（4）将所述固定有遮挡掩膜板及掩膜板的掩膜板框架放入加热房中加热至温度T2进行热膨胀；（5）在温度T2的环境下，对掩膜板与遮挡掩膜板之间的重叠区域进行焊接固定；（6）将掩膜板框架从加热房中取出，冷却至温度T1。本发明可以有效的减少因张紧力引起的收缩变形问题，提高了掩膜板的品质，适用于制造高PPI显示屏产品的掩膜板要求。
一种掩膜板制作方法

[发明专利]掩膜板、构图工艺系统及方法-CN201510703580.5在审
发明人：马国靖;徐长健;王丹;任锦宇 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司
申请日： 2015-10-26 - 公布日： 2015-12-23 - 主分类号： G02F1/1339 文献下载
摘要：本发明提供了一种掩膜板、构图工艺系统及方法，所述掩膜板，包括控制单元和液晶盒。所述控制单元用于根据控制指令控制所述液晶盒呈现预设的掩膜图案；所述控制指令为根据所述预设的掩膜图案确定的控制指令。本发明提供的掩膜板可以根据需要呈现不同的掩膜图案，因此本发明提供的掩膜板实现了一张掩膜板对应需要不同掩膜图案的产品的作用，不但省去了不同掩膜板的设计工作，而且由于不再使用多个掩膜板，因此也节省了掩膜板成本，最重要的是，需要不同掩膜图案的产品型号变更时不需更换掩膜板即可进行紫外光照射，使得掩膜板在其正常使用寿命范围之内不需卸载，工艺操作简单，节省能耗。
掩膜板构图工艺系统方法

[发明专利]掩膜板和掩膜板的制造方法-CN201810548269.1有效
发明人：熊腾青;李如;乔永康;潘晟恺;刘杰;杨凯;于剑伟 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司
申请日： 2018-05-31 - 公布日： 2020-06-09 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种掩膜板和掩膜板的制造方法，属于蒸镀技术领域。掩膜板包括：掩膜，掩膜包括掩膜基底以及设置在掩膜基底上的镀层，镀层的热膨胀系数大于掩膜基底的热膨胀系数；其中，掩膜在蒸镀温度下为平整状态，掩膜中的镀层在蒸镀温度下由凸起状态膨胀为平整状态。本发明通过在掩膜上形成热膨胀系数较大的镀层，且使掩膜在蒸镀温度下为平整状态，这样在常温下掩膜就会因为镀层的收缩而呈弯曲状态，将包括该掩膜的掩膜板设置在在蒸镀基板上时，掩膜的边缘不会与待蒸镀基板接触，避免了对待蒸镀基板的损伤解决了相关技术中掩膜板可能损伤待蒸镀基板的问题。达到了能够避免掩膜板损伤待蒸镀基板的效果。
掩膜板制造方法

[发明专利]掩膜板组件-CN202211195066.1在审
发明人：韩冰;陈闯;崔雪;李文星 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2022-09-28 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请公开了一种掩膜板组件，包括框架、掩膜板、传送机构和施压机构，所述框架设置有镂空区；所述掩膜板活动设置于所述框架上；且在所述掩膜板的长度方向上，所述掩膜板包括若干掩膜单元；所述传送机构与所述掩膜板固定连接，用于带动所述掩膜板沿所述长度方向移动，以切换与所述镂空区对应的所述掩膜单元；所述施压机构用于将与所述镂空区对应的所述掩膜单元与所述框架压紧。通过上述方案，降低掩膜板所占存放空间，通过施压机构压紧掩膜板以确保蒸镀精度。
掩膜板组件

[实用新型]掩膜板搬运治具-CN201320039919.2有效
发明人：郭总杰;袁剑峰;孙亮;周子卿;许朝钦 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司
申请日： 2013-01-24 - 公布日： 2013-07-10 - 主分类号： B65G47/90 文献下载
摘要：本实用新型提供的掩膜板搬运治具，包括杆体以及设置于杆体上的用于夹持掩膜板的夹持装置。本实用新型的掩膜板搬运治具在工作时，通过夹持装置可以很方便的对掩膜板，特别是大尺寸的掩膜板进行夹持，这样操作者移动杆体即可以实现对掩膜板的搬运。本实用新型的掩膜板搬运治具可以实现很方便的搬运大尺寸的掩膜板。采用本实用新型的掩膜板搬运治具进行掩膜板搬运时，操作者的双手不会碰触掩膜板，由此避免掩膜板因为摩擦而损坏或污染。
掩膜板搬运

[发明专利]掩膜装置及其控制方法、镀膜设备-CN202211324750.5在审
发明人：尚鲲鹏;雷克武;伍平生;薛颜同;王岳利 -专利权人：宁德时代新能源科技股份有限公司
申请日： 2022-10-27 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请公开了一种掩膜装置及其控制方法、镀膜设备，能够解决在基材上镀膜不均匀的问题。本申请实施方式的掩膜装置包括：基座；掩膜板，掩膜板活动地设置在基座上；驱动组件，驱动组件与掩膜板连接，用于驱动掩膜板运动以调整掩膜板伸出基座的尺寸。本申请实施方式的掩膜装置中，驱动组件驱动掩膜板运动以调整掩膜板伸出基座的尺寸，从而可以调整掩膜板遮盖镀膜材料的面积，以控制镀膜材料镀在基材上的量，使得在基材上形成的镀膜厚度较均匀。
装置及其控制方法镀膜设备

[实用新型]一种石英晶体振荡器掩膜板的校准装置-CN202020514830.7有效
发明人：黄先日;崔保春;黄唯星 -专利权人：青岛柯锐思德电子科技有限公司
申请日： 2020-04-10 - 公布日： 2020-09-08 - 主分类号： H03H3/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种石英晶体振荡器掩膜板的校准装置，包括底板，所述底板顶部一侧设置有定位板，定位板一侧外壁设置有等间距分布的四个限位柱，限位柱截面设置成矩形，限位柱设置有上下分布的上掩膜板和下掩膜板，上掩膜板和下掩膜板与限位柱接触位置开设有卡槽，卡槽的宽度大于限位柱宽度，底板顶部开设有两个限位槽，两个限位槽均设置于下掩膜板的下方，上掩膜板和下掩膜板上均开设有对应的两个通孔，通孔内插接有定位杆。本实用新型将上掩膜板和下掩膜板上的卡槽与限位柱卡和，将待校准上掩膜板和下掩膜板上的卡槽和限位柱卡和，将上掩膜板和下掩膜板向后端推动，使得待校准上掩膜板和下掩膜板与定位柱贴合，从而达到校准的效果。
一种石英晶体振荡器掩膜板校准装置

[发明专利]掩膜板及其制备方法-CN201810002630.0有效
发明人：齐忠胜;李杰威;殷川;熊先江;毛波 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司
申请日： 2018-01-02 - 公布日： 2021-10-26 - 主分类号： C23C16/04 文献下载
摘要：本发明提供了掩膜板及其制备方法。该掩膜板包括：掩膜板母板；保护层，保护层设置于掩膜板母板的至少一个表面上，保护层用于保护掩膜板母板和/或与掩膜板直接接触的衬底不受损伤。由此，通过设置保护层可以使得掩膜板具有较小的表面粗糙度，可以避免与掩膜板直接接触的衬底被刮伤；保护层还可以避免掩膜板母板静电的释放，以免造成对上述衬底的烧伤以及改善掩膜板边缘处薄膜厚度不均匀的现象；还可以提高掩膜板的抗腐蚀性，延长掩膜板的使用寿命。
掩膜板及其制备方法

[发明专利]掩膜板及掩膜板的制备方法-CN202210714342.4在审
发明人：刘任军;郑红;彭兆基 -专利权人：广州国显科技有限公司;昆山国显光电有限公司
申请日： 2022-06-21 - 公布日： 2022-10-14 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请公开了一种掩膜板及掩膜板的制备方法，掩膜板包括掩膜板本体，掩膜板本体包括相对设置的第一表面和第二表面，其中，掩膜板本体的第一表面为通过掺杂进行改性的表面，增强了掩膜板的强度，使得大尺寸的掩膜板不易形变
掩膜板制备方法