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- [实用新型]一种镀膜设备靶组件检修装置-CN202220397051.2有效
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陈从悦;钱超;余洋;黄斌;植启东
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南京深光科技有限公司
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2022-02-25
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2022-09-16
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C23C14/24
- 本实用新型提出的一种镀膜设备靶组件检修装置，涉及镀膜设备检修技术领域。该检修装置包括用于安装靶组件的承载件和用于支撑承载件的支撑件，承载件两端分别连接有转轴，支撑件上安装有轴承座，两段转轴相向设置且分别安装在相应的轴承座上，至少一段转轴的外端上设置有手轮；还包括至少一个安全栓组件，该安全栓组件包括栓体和栓座，栓座设置在支撑件上，栓体设置在栓座上，承载件上具有供栓体插入的栓孔。将靶组件固定在承载件上，然后由人工转动手轮，即可轻松完成对靶组件翻面；借助安全栓组件可以让靶组件稳定住，以让操作人员脱离手轮去对靶组件进行相应的维护。通过本装置不仅可以实现省时、省力，提升效率，还可以节省人员成本。
- 一种镀膜设备组件检修装置
- [实用新型]一种减震托盘-CN202221021964.0有效
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植启东;吕利鑫;余洋;钱超
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南京深光科技有限公司
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2022-04-29
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2022-08-19
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B65D19/38
- 本实用新型提出的一种减震托盘，涉及掩膜版运输领域。该减震托盘包括固定座和载料板，固定座上设置有数个缓冲单元，载料板设置在所述缓冲单元上；还包括挡件、第一固定扣和第二固定扣；数个挡件设置在载料板的上侧，并环绕围成一个供掩膜版包装箱放置的容置区；数个第一固定扣设置在载料板的上侧，并围绕在容置区的外围；数个第二固定扣分布在所述载料板的外侧面上。本实用新型在运输如掩膜版包装箱这类垂直高度较高的货物时，能够降低因运输颠簸造成的货物损坏的发生几率。
- 一种减震托盘
- [发明专利]一种掩膜版金属框传送模块-CN202011599253.7有效
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钱超;余洋;植启东;黄斌
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南京深光科技有限公司
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2020-12-30
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2022-07-01
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G03F7/20
- 本发明属于掩膜版技术领域，尤其是涉及一种掩膜版金属框传送模块，包括掩膜版金属框托盘，掩膜版金属框托盘的两端边缘处均设有多个缺口，掩膜版金属框托盘的四角处分别设有第一滑槽，第一滑槽内滑动连接有与之相匹配的第一滑块，嵌槽设置于缺口之间，嵌槽内设有稳定机构，述掩膜版金属框托盘的侧边固定连接有L形支撑杆，L形支撑杆上竖直设有第二滑槽，第二滑槽内滑动连接有与之相匹配的第二滑块，第二滑块与稳定机构固定连接。优点在于：本发明可使得掩膜版金属框在进行传输的过程中不直接与输送轨道相接触，并且还可更好的克服运动时的惯性摩擦，从而保证掩膜版金属框的表面规整干净，没有划痕，降低了刮伤的风险。
- 一种掩膜版金属传送模块
- [发明专利]一种掩膜版固定转移机械系统-CN202110269531.0有效
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钱超;余洋;黄斌;植启东
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南京深光科技有限公司
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2021-03-12
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2022-05-20
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B65G49/06
- 本发明属于掩膜版技术领域，尤其是涉及一种掩膜版固定转移机械系统，包括垂直通道和十字水平通道，垂直通道竖直插设于十字水平通道的中心处并与之连通设置，垂直通道的底部下垂于十字水平通道的下方，垂直通道的内底部固定连接有液压杆，液压杆的端部固定连接有转运机构，十字水平通道内铺设有多条相互平行的轨道槽，轨道槽内设有多个轨道轮，十字水平通道上固定连接有驱动机构，驱动机构与多根皮带传动连接。优点在于：本发明可通过专用的使用运输通道来进行使用存储两者之间的对接，使其不会直接暴露在外部环境中，从而更好的防止掩膜版本身受到伤害，进一步降低掩膜版受到损坏的概率，同时调度更加方便快捷，提高了作业的效率和安全性。
- 一种掩膜版固定转移机械系统
- [实用新型]一种CVD Mask的清洗设备-CN202023346155.0有效
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钱超;余洋;植启东;黄斌
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南京深光科技有限公司
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2020-12-31
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2021-11-12
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B08B3/08
- 本实用新型公开了一种CVD Mask的清洗设备，包括反应箱体，反应箱体的顶部连通有溶液添加釜，反应箱体的顶部连通有等离子体生成器，反应箱体内腔的两侧固定安装有三组支块组，三组支块组的顶部均活动安装有槽板，槽板中间部的内部连通有第二电磁阀，第二电磁阀的底部固定安装有连接软管，反应箱体内腔的底部开设有导流槽。通过截留滤箱，进入的气体经过PM二点五滤层将反应后生成的颗粒性物质过滤，并经过气体半透层，将未反应完全的气态物质进行截留，进而等离子过滤层，将反应过程生成的等离子物质进行过滤，完成过滤流程，通过设置观察窗，可以使得作业人员直观地观察到内部的清洗与反应的情况，进一步增加了作业人员的安全。
- 一种cvdmask清洗设备
- [实用新型]一种用于超声波清洗的固定夹具-CN202120329542.9有效
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钱超;余洋;植启东;黄斌
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南京深光科技有限公司
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2021-02-05
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2021-11-09
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B08B3/12
- 本实用新型涉及超声波清洗技术领域，且公开了一种用于超声波清洗的固定夹具，包括顶板，所述顶板的顶部固定安装有电机，所述电机的输出端固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的底部贯穿顶板的顶部并延伸至顶板的下方，所述螺纹杆的外表面螺纹套接有螺纹套管，所述螺纹套管的底部固定连接有连接板。该用于超声波清洗的固定夹具，可根据需要清洗的物体的尺寸大小，来调整各个夹持装置之间的距离，使各个物体之间不会碰撞和妨碍各自的清洗，同时两个轨道板底部的各个夹持装置可配合使用，当物体尺寸更大时，可分别由两个轨道板底部的夹持装置一起对物体进行夹持，增大物体的牢固性，实现对多种尺寸规格的物体进行夹持的目的。
- 一种用于超声波清洗固定夹具
- [发明专利]一种金属掩膜版排风干燥设备-CN202011638570.5在审
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钱超;余洋;黄斌;植启东
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南京深光科技有限公司
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2020-12-31
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2021-05-11
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F26B11/00
- 本发明公开了一种金属掩膜版排风干燥设备，包括基础底座，基础底座的顶部固定安装有固定外壳，固定外壳的内部两侧均开设有滑动凹槽，滑动凹槽的内部活动安装有滑动块，滑动块的一端固定安装有热风分配箱，热风分配箱的底部固定安装有第一转动轴，第一转动轴的底部固定安装有连接箱，连接箱的一端连通有排气管，固定外壳的内部固定安装有伸缩杆件。通过设置相关的第二转动轴、连接框架、第一通孔、第二通孔、复位弹性件以及压板等相关元件，从而使得在进行相关的干燥操作时，可以对金属掩膜版进行实时翻转操作，从而使得整体在进行相关的干燥操作时，其整体的受热更加均匀，同时也提高了整体的干燥效率。
- 一种金属掩膜版排风干设备
- [发明专利]一种柔性AMOLED掩模版的清洗工艺-CN202011638583.2在审
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钱超;余洋;植启东;黄斌
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南京深光科技有限公司
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2020-12-31
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2021-05-07
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G03F1/82
- 本发明公开了一种柔性AMOLED掩模版的清洗装置，包括机壳，所述机壳的内壁固定安装有固定装置，所述固定装置的内部包括伸缩杆，所述伸缩杆远离机壳的一端设置有活动连板，所述活动连板的内壁与伸缩杆的外壁活动连接，所述活动连板远离伸缩杆的一端固定安装有限位块，所述限位块的内部设置有旋转轴，所述旋转轴的外壁与限位块的内壁活动连接，所述旋转轴的外壁固定安装有安装凹台，所述安装凹台的内部设置有控制轴，所述控制轴的两端与安装凹台的内壁活动连接，所述控制轴的外壁固定安装有固定杆一。通过固定装置能够对掩膜版进行固定，用于不同尺寸的掩膜版，旋转轴能够带动固定装置转动，进一步带动掩膜版转动，缩短药液浸泡时间，提高清洗效率。
- 一种柔性amoled模版清洗工艺
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