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- [实用新型]一种金属掩膜版清洗装置-CN202120824485.1有效
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钱超;余洋
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南京深光科技有限公司
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2021-04-21
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2022-11-11
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B08B3/12
- 本实用新型提出的一种金属掩膜版清洗装置，包括线性模组，所述线性模组上方设有多个安装支架，所述线性模组下方配设有滑块，所述滑块下方安装有升降机构，所述升降机构的下端安装有掩膜版夹具，所述线性模组的下方设有掩膜版清洗流水线，本实用新型通过设置多个单独的溶液清洗槽单独有机溶剂清洗，对不同的有机材料选用不同的有机溶剂，以保证获得最大的溶解度，然后再通过反复抽插浸泡去除残留在掩膜版上的有机材料，本实用新型可以实现整套流水线式掩膜版清洗系统自动化批量清洗，可以节省大量人力成本，清洗流水线可以根据需要自由配设，可以满足不同类型的掩膜版批量清洗。
- 一种金属掩膜版清洗装置
- [发明专利]一种掩膜版自动辅助夹具-CN202011121532.2有效
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钱超;余洋
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南京深光科技有限公司
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2020-10-20
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2022-09-23
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G03F9/00
- 本发明属于半导体生产技术领域，尤其是涉及一种掩膜版自动辅助夹具，包括连接座，连接座的侧壁上固定连接有多根支撑柱，支撑柱上设有夹紧机构，连接座与支撑柱内均设有空腔且相互连通，连接座上固定连接有连接柱，连接柱内设有用于配合夹紧机构的往复机构，连接柱上设有转动机构，连接柱的一侧设有用于配合转动机构的升降机构。优点在于：本发明可在对掩膜版就行清洗时具有良好的夹紧作用，同时不会使其出现受力不均匀或夹持过度而导致损伤的效果，同时可在完成清洗后将其自动的提升出清洗的区域，方便操作人员拿取，进一步降低其出现误操作的可能性。
- 一种掩膜版自动辅助夹具
- [实用新型]一种镀膜设备靶组件检修装置-CN202220397051.2有效
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陈从悦;钱超;余洋;黄斌;植启东
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南京深光科技有限公司
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2022-02-25
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2022-09-16
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C23C14/24
- 本实用新型提出的一种镀膜设备靶组件检修装置，涉及镀膜设备检修技术领域。该检修装置包括用于安装靶组件的承载件和用于支撑承载件的支撑件，承载件两端分别连接有转轴，支撑件上安装有轴承座，两段转轴相向设置且分别安装在相应的轴承座上，至少一段转轴的外端上设置有手轮；还包括至少一个安全栓组件，该安全栓组件包括栓体和栓座，栓座设置在支撑件上，栓体设置在栓座上，承载件上具有供栓体插入的栓孔。将靶组件固定在承载件上，然后由人工转动手轮，即可轻松完成对靶组件翻面；借助安全栓组件可以让靶组件稳定住，以让操作人员脱离手轮去对靶组件进行相应的维护。通过本装置不仅可以实现省时、省力，提升效率，还可以节省人员成本。
- 一种镀膜设备组件检修装置
- [实用新型]一种减震托盘-CN202221021964.0有效
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植启东;吕利鑫;余洋;钱超
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南京深光科技有限公司
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2022-04-29
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2022-08-19
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B65D19/38
- 本实用新型提出的一种减震托盘，涉及掩膜版运输领域。该减震托盘包括固定座和载料板，固定座上设置有数个缓冲单元，载料板设置在所述缓冲单元上；还包括挡件、第一固定扣和第二固定扣；数个挡件设置在载料板的上侧，并环绕围成一个供掩膜版包装箱放置的容置区；数个第一固定扣设置在载料板的上侧，并围绕在容置区的外围；数个第二固定扣分布在所述载料板的外侧面上。本实用新型在运输如掩膜版包装箱这类垂直高度较高的货物时，能够降低因运输颠簸造成的货物损坏的发生几率。
- 一种减震托盘
- [发明专利]一种掩膜版金属框传送模块-CN202011599253.7有效
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钱超;余洋;植启东;黄斌
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南京深光科技有限公司
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2020-12-30
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2022-07-01
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G03F7/20
- 本发明属于掩膜版技术领域，尤其是涉及一种掩膜版金属框传送模块，包括掩膜版金属框托盘，掩膜版金属框托盘的两端边缘处均设有多个缺口，掩膜版金属框托盘的四角处分别设有第一滑槽，第一滑槽内滑动连接有与之相匹配的第一滑块，嵌槽设置于缺口之间，嵌槽内设有稳定机构，述掩膜版金属框托盘的侧边固定连接有L形支撑杆，L形支撑杆上竖直设有第二滑槽，第二滑槽内滑动连接有与之相匹配的第二滑块，第二滑块与稳定机构固定连接。优点在于：本发明可使得掩膜版金属框在进行传输的过程中不直接与输送轨道相接触，并且还可更好的克服运动时的惯性摩擦，从而保证掩膜版金属框的表面规整干净，没有划痕，降低了刮伤的风险。
- 一种掩膜版金属传送模块
- [发明专利]一种掩膜版固定转移机械系统-CN202110269531.0有效
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钱超;余洋;黄斌;植启东
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南京深光科技有限公司
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2021-03-12
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2022-05-20
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B65G49/06
- 本发明属于掩膜版技术领域，尤其是涉及一种掩膜版固定转移机械系统，包括垂直通道和十字水平通道，垂直通道竖直插设于十字水平通道的中心处并与之连通设置，垂直通道的底部下垂于十字水平通道的下方，垂直通道的内底部固定连接有液压杆，液压杆的端部固定连接有转运机构，十字水平通道内铺设有多条相互平行的轨道槽，轨道槽内设有多个轨道轮，十字水平通道上固定连接有驱动机构，驱动机构与多根皮带传动连接。优点在于：本发明可通过专用的使用运输通道来进行使用存储两者之间的对接，使其不会直接暴露在外部环境中，从而更好的防止掩膜版本身受到伤害，进一步降低掩膜版受到损坏的概率，同时调度更加方便快捷，提高了作业的效率和安全性。
- 一种掩膜版固定转移机械系统
- [实用新型]一种CVD Mask的清洗设备-CN202023346155.0有效
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钱超;余洋;植启东;黄斌
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南京深光科技有限公司
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2020-12-31
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2021-11-12
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B08B3/08
- 本实用新型公开了一种CVD Mask的清洗设备，包括反应箱体，反应箱体的顶部连通有溶液添加釜，反应箱体的顶部连通有等离子体生成器，反应箱体内腔的两侧固定安装有三组支块组，三组支块组的顶部均活动安装有槽板，槽板中间部的内部连通有第二电磁阀，第二电磁阀的底部固定安装有连接软管，反应箱体内腔的底部开设有导流槽。通过截留滤箱，进入的气体经过PM二点五滤层将反应后生成的颗粒性物质过滤，并经过气体半透层，将未反应完全的气态物质进行截留，进而等离子过滤层，将反应过程生成的等离子物质进行过滤，完成过滤流程，通过设置观察窗，可以使得作业人员直观地观察到内部的清洗与反应的情况，进一步增加了作业人员的安全。
- 一种cvdmask清洗设备
- [实用新型]一种用于超声波清洗的固定夹具-CN202120329542.9有效
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钱超;余洋;植启东;黄斌
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南京深光科技有限公司
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2021-02-05
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2021-11-09
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B08B3/12
- 本实用新型涉及超声波清洗技术领域，且公开了一种用于超声波清洗的固定夹具，包括顶板，所述顶板的顶部固定安装有电机，所述电机的输出端固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的底部贯穿顶板的顶部并延伸至顶板的下方，所述螺纹杆的外表面螺纹套接有螺纹套管，所述螺纹套管的底部固定连接有连接板。该用于超声波清洗的固定夹具，可根据需要清洗的物体的尺寸大小，来调整各个夹持装置之间的距离，使各个物体之间不会碰撞和妨碍各自的清洗，同时两个轨道板底部的各个夹持装置可配合使用，当物体尺寸更大时，可分别由两个轨道板底部的夹持装置一起对物体进行夹持，增大物体的牢固性，实现对多种尺寸规格的物体进行夹持的目的。
- 一种用于超声波清洗固定夹具
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