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[实用新型]掩膜板-CN202320375551.0有效
发明人：张丁成;李有鹏;韩冰;章紫闻;王盼盼 -专利权人：合肥维信诺科技有限公司;昆山国显光电有限公司
申请日： 2023-02-27 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请公开了一种掩膜板。其中，掩膜板包括：掩膜板主体、至少一个蒸镀部、至少两个第一张网部和至少两个第二张网部。限制两个第二张网部和其间的蒸镀部的中心沿第二方向位于同一直线；两个第二张网部沿第一方向的长度均大于或者等于2/3倍的蒸镀部沿第一方向的长度，且小于或者等于蒸镀部沿第一方向的长度，进而保证张网过程中掩膜板直线度与下垂量的平衡
掩膜板

[发明专利]一种金属掩膜板结构及其制作方法-CN201510206510.9在审
发明人：苏君海;柯贤军;吴俊雄;冉应刚;马得贵;李建华 -专利权人：信利（惠州）智能显示有限公司
申请日： 2015-04-28 - 公布日： 2015-08-19 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明公开一种金属掩膜板结构，包括分割为面积相等或面积不等的多块子掩膜板，所述多块子掩膜板拼接为一完整的掩膜板。一种金属掩膜板结构的制作方法，包括步骤1，提供用于承载子掩膜板的掩膜板框架以及多块上述子掩膜板；掩膜板框架上设有用于固定子掩膜板的固定卡位；步骤2，将多块上述子掩膜板放置在掩膜板框架上的固定卡位，由固定卡位固定所述子掩膜板；步骤3，通过焊接或铰接的方式，将多块子掩膜板拼接成一完整的掩膜板。本发明提出一种金属掩膜板结构，将分割掩膜板进一步细分为多个子掩膜板，可降低掩膜板制造工艺难度，降低掩膜板制作成本，降低整条掩膜板报废的风险，提高掩膜板重复利用寿命，提高各段掩膜板的制作精度。
一种金属板结及其制作方法

[发明专利]镀膜修正掩膜板及蒸镀系统-CN202011488995.2有效
发明人：张兴中 -专利权人：业成科技（成都）有限公司;业成光电（深圳）有限公司;英特盛科技股份有限公司
申请日： 2020-12-16 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请涉及一种镀膜修正掩膜板和蒸镀系统，包括掩膜基板及多个掩膜调节板，掩膜调节板与掩膜基板的形状及尺寸相匹配，使得掩膜基板形成底板掩膜，掩膜调节板置于掩膜基板上形成可调掩膜；多个掩膜调节板和掩膜基板共同界定形成镀膜修正掩膜板的形状；掩膜调节板被构造为能够沿第一方向滑动地连接于掩膜基板一侧，当掩膜调节板沿第一方向滑动时，进而整个镀膜修正掩膜板的形状改变；当镀膜光谱曲线发生改变时，不需要另行重新修剪甚至制作新的镀膜修正掩膜板，直接实现了镀膜修正掩膜板自身形状可调节的功能
镀膜修正掩膜板系统

[实用新型]一种掩膜板结构-CN201420746764.0有效
发明人：马得贵;吴俊雄;冉应刚;柯贤军;苏君海 -专利权人：信利（惠州）智能显示有限公司
申请日： 2014-12-03 - 公布日： 2015-07-01 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型公开一种掩膜板结构，包括设置有镀膜开口区的掩膜板、用于固定和支撑掩膜板的框架，还包括固定掩膜板，所述固定掩膜板设置在掩膜板下方并固设于框架上，所述掩膜板与固定掩膜板固定连接并与固定掩膜板相互垂直所述固定掩膜板与所述掩膜板的相交区域使用焊接技术焊接在一起；此种设计可以减小掩膜板的振动和变形，提高掩膜板的使用寿命。
一种板结

[发明专利]掩膜板及其制作方法-CN201711275668.7有效
发明人：龚建国;王衣可;杨颖;冉应刚;吴俊雄;柯贤军;苏君海;李建华 -专利权人：信利（惠州）智能显示有限公司
申请日： 2017-12-06 - 公布日： 2020-06-30 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种掩膜板及其制作方法，所述方法包括：提供掩膜板原料；对所述掩膜板原料的一面进行刻蚀，以使得所述掩膜板原料的厚度减小；对所述掩膜板原料刻蚀后的一面进行磨平处理；对磨平后的所述掩膜板原料进行刻蚀，在所述掩膜板原料上刻蚀出像素开口，形成具有所述像素开口的所述掩膜板。首先经过刻蚀，使得掩膜板原料的厚度减小，进而将掩膜板进行磨平处理后，使得该掩膜板原料能够刻蚀出像素开口间距更小的掩膜板，从而提高了掩膜板的蒸镀的PPI，并且有效避免掩膜板被刻穿，使得掩膜板的结构更为稳固，使得掩膜板的张拉性能更佳，且有效提高了掩膜板的使用寿命。
掩膜板及其制作方法

[发明专利]一种掩膜板-CN201910281480.6有效
发明人：杨凯;李如;熊腾青;乔永康;潘晟恺 -专利权人：合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2019-04-09 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： G03F1/64 文献下载
摘要：本发明提供一种掩膜板，包括：掩膜层和承载层，掩膜层和承载层相互叠置，掩膜层用于成膜时形成成膜图形；承载层用于承载掩膜层；相同体积的承载层的质量小于掩膜层的质量。该掩膜板由于部分结构采用相同体积时质量小于掩膜板其他部分结构的材质，所以使得掩膜板的整体质量明显小于现有的掩膜板的质量，从而在掩膜板体积不变的情况下，降低了掩膜板的整体重量，进而降低了掩膜板的存储和传送难度，减轻了由于掩膜板过重所导致的传送效率低下以及掩膜板寿命降低的问题，提高了生产效率并提高了掩膜板的寿命。
一种掩膜板

[发明专利]一种掩膜板及其制作方法-CN201310752500.6有效
发明人：谢志生;丁涛;苏君海;柯贤军;何基强;李建华 -专利权人：信利半导体有限公司
申请日： 2013-12-31 - 公布日： 2014-03-26 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供一种掩膜板制作方法及采用该方法制作形成的掩膜板，所述掩膜板制作方法包括：提供基板；减薄所述基板的中部区域，形成掩膜区域，未减薄区域形成掩膜框；对掩膜区域中待形成掩膜图案块的区域进行刻蚀，形成掩膜通孔和掩膜线由于本发明提供的掩膜板制作方法，采用一个整体的基板，通过多次减薄和刻蚀同时形成掩膜框和掩膜，由于所述掩膜框和掩膜为整体结构，无需再通过拉网和焊接工艺固定所述掩膜框和掩膜，从而简化了所述掩膜板的工艺流程，使掩膜板制作工艺更加简单。另外，本发明提供的掩膜板由于采用上述方法制作形成，避免了拉网和焊接过程中对掩膜通孔产生的损伤，因此能够提高掩膜板的质量。
一种掩膜板及其制作方法

[发明专利]一种曝光机及其更换掩膜板的方法-CN201910800281.1有效
发明人：王威 -专利权人：武汉华星光电技术有限公司
申请日： 2019-08-28 - 公布日： 2022-02-22 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种曝光机及其更换掩膜板的方法，包括：掩膜板存放区，存放有至少一个掩膜板；掩膜板单元，连接于所述掩膜板存放区；计测装置，连接于所述掩膜板单元；掩膜板更换机构，连接于所述掩膜板单元；以及掩膜板装卸机构，连接于所述掩膜板更换机构。可以减少不同掩膜板之间的更换耗时，提高曝光机的使用率，提高产能。
一种曝光及其更换掩膜板方法

[发明专利]掩膜组件、主掩膜板及配合掩膜板-CN201810454366.4有效
发明人：韩冰;王徐亮;张玄;甘帅燕;高峰 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2018-05-14 - 公布日： 2019-07-23 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种主掩膜板、配合掩膜板及掩膜组件，该掩膜组件包括具有蒸镀区的主掩膜板，具有配合区的配合掩膜板，主掩膜板的有效蒸镀区与显示面板的显示区对应，配合掩膜板的第一配合区内布设有第一配合开口，第一配合开口在配合掩膜板上的正投影完全覆盖有效蒸镀开口在配合掩膜板上的正投影，且配合掩膜板的第二配合区遮挡主掩膜板无效蒸镀区内的无效蒸镀开口。上述掩膜组件中，主掩膜板上在异形的有效蒸镀区外开设无效蒸镀开口，可以平均有效蒸镀区边缘的应力，防止有效蒸镀区边缘因为受力不均而产生褶皱，提高蒸镀良率。同时，可以通过配合掩膜板上的第二配合区遮挡无效蒸镀区内的无效蒸镀开口，制得具有开槽区的异形显示面板。
掩膜板蒸镀配合开口掩膜组件配合区正投影遮挡褶皱受力不均显示面板异形显示开槽区显示区良率掩膜异形

[发明专利]掩膜板、掩膜装置、掩膜板的制备方法-CN201811340771.X有效
发明人：朱海彬;董学;袁广才;王伟杰;张峰杰 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2018-11-12 - 公布日： 2021-08-06 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供一种掩膜板、掩膜装置、掩膜板的制备方法，属于显示基板制备技术领域。本发明的一种掩膜板，用于显示基板的制备，所述掩膜板包括：具有第一开口的刚性透明基底，所述第一开口与所述显示基板的像素单元对应；设置于所述刚性透明基底上的韧性增强层，用以增强所述掩膜板的韧性；所述韧性增强层设置有第二开口
掩膜板装置制备方法

[发明专利]掩膜板及掩膜板组件-CN202010899158.2在审
发明人：王恩霞;孙琳;李世泰;李慧;李伟丽;刘明星;甘帅燕 -专利权人：合肥维信诺科技有限公司
申请日： 2020-08-31 - 公布日： 2020-11-13 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供一种掩膜板及掩膜板组件，涉及显示技术领域，该掩膜板包括开口区以及围绕所述开口区设置的焊接区，所述开口区外设有阻挡槽。当将掩膜板焊接在框架上时，掩膜板上会形成褶皱，本发明实施例通过在掩膜板上设置阻挡槽，阻挡槽能够阻隔断褶皱的传递，避免褶皱传递至掩膜板的开口区内，进而防止开口区的位置发生偏移，提高了蒸镀精度。
掩膜板组件

[发明专利]精密掩膜板和掩膜板-CN202111367576.8在审
发明人：邱岳;王子豪;李伟丽;韩冰;李文星 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2021-11-18 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种精密掩膜板和掩膜板，精密掩膜板包括掩膜板主体，掩膜板主体包括至少一个蒸镀区域、至少部分围绕蒸镀区域的遮挡区域以及围绕蒸镀区域和遮挡区域的边缘区域，其中，蒸镀区域包括多个精密蒸镀孔，边缘区域包括多个边缘区开孔本申请中提供的精密掩膜板中，由于遮挡区域、边缘区域和各蒸镀区域的支撑强度差异小，从而可以在对精密掩膜板进行张网的过程中，使得各个区域受到的应力差异减小，从而降低张网后精密掩膜板出现褶皱的概率，提升产品良率
精密掩膜板

[发明专利]掩膜板及掩膜板组件-CN202210441277.2在审
发明人：刘颖;付佳;周皓月;赵晶晶;刘明星 -专利权人：维信诺科技股份有限公司
申请日： 2022-04-25 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供一种掩膜板及掩膜板组件。掩膜板包括蒸镀区、张网夹持区和蒸镀区与张网夹持区之间的抗内缩区；其中，抗内缩区设置有负泊松比结构。采用本发明的方案，能够减缓掩膜板上的褶皱，提高蒸镀精度。
掩膜板组件

[发明专利]掩膜板与掩膜板组件-CN202011172445.X有效
发明人：刘华猛;沈阔;白珊珊;王伟伟;刘佳宁;王蓓;张智辉 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2020-10-28 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本公开提供了一种掩膜板与掩膜板组件，该掩膜板包括：刻蚀区、焊接区、开孔区以及无刻蚀区。本公开提供的掩膜板，改善了刻蚀区的褶皱情况，减少了出现蒸镀阴影及混色的情况。
掩膜板组件

[实用新型]掩膜板框架及掩膜板-CN201921013700.9有效
发明人：韩超杰;汪仁朋;冉应刚;王红英;蔡晓义 -专利权人：信利（惠州）智能显示有限公司
申请日： 2019-06-28 - 公布日： 2020-05-15 - 主分类号： G03F1/64 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种掩膜板框架，包括框架，框架包括两个安装板和至少一个连接板，连接板的一端与一安装板连接，连接板的另一端与另一安装板连接；各安装板具有一安装面，各安装面开设有至少一个第一吸附孔，第一吸附孔贯穿安装板上述的掩膜板框架及掩膜板，保证了掩膜板本体的平整度，从而避免了在蒸镀生产时掩膜板本体与玻璃基板之间存在缝隙而产生混色。
掩膜板框架