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[实用新型]掩膜板-CN201620603007.7有效
发明人：林治明;王震;黄俊杰;张健;周猛 -专利权人：鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2016-06-17 - 公布日： 2016-11-09 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种掩膜板，该掩膜板包括图形部分和边框部分，还包括：切割线结构，所述切割线结构作为所述图形部分和所述边框部分的分界线，沿着所述切割线结构的延伸方向，所述掩膜板能够被折断；未刻蚀部分，位于所述切割线结构的至少一个端部区域或中间区域，所述未刻蚀部分到所述掩膜板边缘的距离大于预设长度值。通过本实用新型，达到了有效地缓解手动折断掩膜板而产生的边缘褶皱或翘起的发生的效果。
掩膜板

[实用新型]掩膜板-CN201620658090.8有效
发明人：林治明;王震 -专利权人：鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2016-06-28 - 公布日： 2016-12-14 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种掩膜板，涉及显示设备制造领域，能够解决由于玻璃基板与掩膜板的结合状态不统一导致的显示不良问题。本实用新型的掩膜板包括：框架和包含有效开口的掩膜条，所述掩膜条设置于所述框架上；所述框架包括：与所述掩膜条平行的第一边框，与所述掩膜条垂直的第二边框，所述第一边框上用于设置基板的表面为下凹的曲面，或者，
掩膜板

[实用新型]掩膜板-CN201721684631.5有效
发明人：农艳菲;龚建国;王衣可;冉应刚;吴俊雄;柯贤军;苏君海;李建华 -专利权人：信利（惠州）智能显示有限公司
申请日： 2017-12-06 - 公布日： 2018-07-03 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种掩膜板，包括：掩膜框架和掩膜基板，所述掩膜基板与所述掩膜框架连接，所述掩膜基板上开设有多个蒸镀开口；所述掩膜框架设置有识别部，所述识别部的表面设置有磨砂层，所述磨砂层上设置有识别码。通过在刻蚀识别码的识别部上设置磨砂层，从而使得光线在磨砂层上产生漫反射，避免光线集中反射，使得识别码易于识别，避免读码失败，且磨砂层在摩擦力作用下不易磨损，从而提高了掩膜板的使用寿命，并且使得识别码能够长时间使用而清晰可见，有效提高了掩膜板的识别效率，避免影响生产效率。
磨砂层识别码掩膜掩膜基板掩膜板影响生产效率摩擦力作用表面设置光线集中框架连接框架设置使用寿命漫反射读码刻蚀喷涂蒸镀反射磨损开口失败

[实用新型]掩膜板-CN201721139667.5有效
发明人：谢志生;宋小进;苏君海;李建华 -专利权人：信利（惠州）智能显示有限公司
申请日： 2017-09-05 - 公布日： 2018-06-29 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：一种掩膜板，包括：掩膜框架和与掩膜框架连接的掩膜基板；掩膜基板开设有若干第一开口和若干第二开口，每一第一开口与一第二开口对应；对于每一第一开口与每一第二开口，掩膜基板在第一开口的边沿向第一开口的中部延伸设置第一延伸部，掩膜基板在第二开口的边沿向第二开口的中部延伸设置第二延伸部，且各第一延伸部和各第二延伸部的朝向均相同；每一第一开口用于绕掩膜框架的几何中心转动180°后与一第二开口对齐，且第一开口设置有第一延伸部的边沿与第二开口设置有第二延伸部的边沿重合，每一第一延伸部用于绕掩膜框架的几何中心转动180°后与一第二延伸部对齐。上述掩膜板，通过两次使用，制得的显示器件具有中间不显示、外围显示的显示效果。
开口延伸部掩膜基板掩膜掩膜板几何中心开口设置延伸设置对齐转动框架连接显示器件显示效果重合外围

[实用新型]掩膜板-CN201720932459.4有效
发明人：安乐平;李高敏;郝力强;刘宏俊 -专利权人：昆山维信诺科技有限公司
申请日： 2017-07-28 - 公布日： 2018-02-13 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：一种掩膜板，用于基板上OLED器件的制备，所述基板上设置有器件区和设置于所述器件区至少一侧的电极引线区，所述器件区用于设置所述OLED器件，所述电极引线区用于设置与所述OLED器件的电极电连接的电极引线层，所述掩膜板沿其厚度方向设置有相互连接的第一开口和第二开口，所述第一开口与所述器件区相对应，所述第二开口大于所述第一开口，且与所述第一开口共同形成台阶面，所述台阶面能够覆盖所述电极引线区，所述第二开口的深度大于所述电极引线层的厚度本实用新型提供的掩膜板，不会蹭伤电极引线层，大大提高了OLED制备的良率。
掩膜板

[实用新型]掩膜板-CN201721423403.2有效
发明人：张微;曹鹏 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2017-10-31 - 公布日： 2018-05-08 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型提供一种掩膜板，包括掩膜板本体，所述掩膜板本体上设置有掩膜图形，所述掩膜板本体包括相对的第一表面和第二表面，所述第一表面上设置有凹槽，所述凹槽位于所述掩膜图形以外的区域，所述凹槽底部设置有贯穿所述掩膜板本体的第一通孔本实用新型能够提高蒸镀时掩膜板的对位精度，从而改善蒸镀效果。
掩膜板

[实用新型]掩膜板-CN201821957502.3有效
发明人：杜雷 -专利权人：合肥晶合集成电路有限公司
申请日： 2018-11-23 - 公布日： 2019-06-28 - 主分类号： G03F1/42 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种掩膜板，包括用以形成对准标记图案的若干全透光部分、用以形成阱区图案的若干半透光部分及除所述全透光部分和所述半透光部分之外的不透光部分，即所述掩膜板具有三种透光形态，进行曝光工艺后，使用所述全透光部分来定义出对准标记，所述半透光部分定义出阱区，节约了一块掩膜板，同时节省一次曝光工艺和一次光刻胶去除工艺，有效减少了晶圆制造曝光次数，可达到降低成本和提高产能的目的。
透光半透光掩膜板阱区对准标记对准标记图案对位基准曝光工艺一次曝光有效减少不透光胶去除产能次光晶圆掩膜图案曝光节约制造

[实用新型]掩膜板-CN202021231049.5有效
发明人：丁彦红;张少雄;李娟;王威;王魁 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2020-06-29 - 公布日： 2020-12-25 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请公开了一种掩膜板，涉及显示技术领域。该掩膜板包括的掩膜板本体的一端可以与第一条状子凸台和第二条状子凸台中的至少一个条状子凸台连接，该掩膜板本体的另一端可以与第三条状子凸台和第四条状子凸台中的至少一个条状子凸台连接。由于可以将掩膜板本体的两端分别与至少一个条状子凸台连接，因此能够保证该掩膜板本体的两端与条状子凸台连接的可靠性，该掩膜板的质量较好。进而，能够保证采用该掩膜板制备得到的膜层的质量，提高显示面板的良率。
掩膜板

[实用新型]掩膜板-CN202020529356.5有效
发明人：曾辉;胡君;朱佳玲 -专利权人：上海和辉光电股份有限公司
申请日： 2020-04-10 - 公布日： 2020-12-01 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种掩膜板，包括：框架，所述框架设有一镂空形成的蒸镀区域；凸台，形成于所述框架的一侧，所述凸台的沿环绕所述蒸镀区域的矩形轨迹延伸，所述凸台的至少一组对边的表面设有平行于所述对边的凹槽；填充于所述凹槽的金属层，所述金属层的表面与所述凸台的表面齐平；以及至少一个掩膜条，跨接于所述凸台的所述一组对边并且局部覆盖所述蒸镀区域，其中，所述掩膜条与所述金属层由同种金属制成，于所述掩膜条与所述凸台的所述金属层的交叉处焊接所述掩膜条和所述金属层，该金属层与掩膜条采用的相同的材质，从而保证了掩膜条和框架之间的焊接强度；框架的材质则是采用了普通的不锈钢材质，从而减少了整个蒸镀过程中的成本。
掩膜板

[实用新型]掩膜板-CN201921759856.1有效
发明人：李晓凯;陈凯凯 -专利权人：上海和辉光电有限公司
申请日： 2019-10-18 - 公布日： 2020-05-19 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种掩膜板，该掩膜板用于对至少一显示面板进行蒸镀，所述掩膜板包括一平面状的掩膜板本体，所述掩膜板本体被分区图案化至少形成：至少一蒸镀区，所述蒸镀区设有供蒸镀材料通过的通孔，所述蒸镀区与所述显示面板的有效显示区相匹配；以及至少一遮盖区，所述遮盖区的至少一侧设有阻挡蒸镀材料通过的第一盲孔，所述遮盖区与摄像头组件所在的区域相匹配；本实用新型解决了原有掩膜板存在的张网过程中内部受力不均匀的问题，通过减轻掩膜板遮盖区的强度
掩膜板

[实用新型]掩膜板-CN202022100093.9有效
发明人：李威;宋小来;王士敏;朱泽力;古海裕 -专利权人：深圳莱宝高科技股份有限公司
申请日： 2020-09-22 - 公布日： 2021-08-27 - 主分类号： G03F1/32 文献下载
摘要：本实用新型涉及显示技术领域，提供一种掩膜板，包括板体，所述板体上布设有若干个图案单元，各所述图案单元上分别设置有掩膜，所述掩膜的半透率根据对应的所述图案单元进行适应性调整。本实用新型提供的掩膜板的板体上布设若干个图案单元，并在各个图案单元上分别设置半透率不同的掩膜，从而利用各个图案单元上不同半透率的掩膜以得到不同高度差的产品，即实现一块掩膜板能够满足多个高度差产品的需求。
掩膜板

[实用新型]掩膜板-CN202120268334.2有效
发明人：崔雪 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2021-01-29 - 公布日： 2021-10-08 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请公开了一种掩膜板，包括通用掩膜板和掩膜条，其中，通用掩膜板包括具有通用蒸镀开口的框式主体和由所述框式主体向所述通用蒸镀开口延伸的遮挡区域，所述遮挡区域上开设有减重部，所述减重部的厚度小于所述框式主体的厚度；掩膜条设置于所述通用掩膜板，且所述掩膜条的蒸镀区域覆盖所述通用蒸镀开口，所述蒸镀区域包括多个精密蒸镀开口。该掩膜板张网时平整度高，从而有助于提升显示面板良率。
掩膜板

[实用新型]掩膜板-CN202023021368.6有效
发明人：赵建成;徐鹏;王玉;张国栋;邓江涛;赵钰;肖磊芳;王笑鸽;张强;李仁佑;李旭伟;杭宗秋;赵天龙 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2020-12-14 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请公开了一种掩膜板，属于显示技术领域。掩膜板包括：框架以及位于框架上的掩膜支架，掩膜支架包括安装于框架上的多个第一支撑条和多个遮挡条，多个第一支撑条和多个遮挡条交错排布，遮挡条朝向蒸镀材料的一侧具有第一凹槽；掩膜板还包括至少一个第二支撑条，每个第二支撑条均具有对应的第一支撑条，第二支撑条层叠在对应的第一支撑条上；掩膜板还包括位于设置有第二支撑条的框架上的多个掩膜条。双层支撑条的结构提高了对于掩膜条的支撑效果，减少了掩膜条的下垂量。解决了掩膜条的下垂量较大导致掩膜条与衬底基板贴合不良的问题，达到了减少掩膜条的下垂量以及提高掩膜条与衬底基板贴合的紧密性的效果。
掩膜板

[实用新型]掩膜板-CN202122436360.4有效
发明人：李世泰;赵莹;李慧;刘明星 -专利权人：合肥维信诺科技有限公司
申请日： 2021-10-08 - 公布日： 2022-03-22 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种掩膜板，包括掩膜本体，掩膜本体具有蒸镀面和背面；掩膜板本体上设置有贯穿其的蒸镀孔；蒸镀孔包括贯穿蒸镀面的第一蒸镀孔，以及与第一蒸镀孔连通且贯穿背面的第二蒸镀孔；第二蒸镀孔的内壁从靠近背面的一端向远离背面的另一端逐渐收拢；掩膜本体还包括设置于背面的下沉槽，下沉槽与至少部分第二蒸镀孔一一对应，且围绕第二蒸镀孔设置以连通第二蒸镀孔；第二蒸镀孔的内壁所在圆弧面与背面相交且形成第一夹角，第二蒸镀孔的内壁与下沉槽的底壁相交设置且形成第二夹角上述掩膜板，第二蒸镀孔的孔壁与背面的过渡更加平缓，从而降低了支撑柱被掩膜板刮伤的风险。
掩膜板

[实用新型]掩膜板-CN202220223717.2有效
发明人：罗骁霄;扈映茹;宋阳;段勤肄;刘佳丽;张童鑫;华梓同;蒋涛 -专利权人：成都天马微电子有限公司
申请日： 2022-01-26 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： G03F1/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种掩膜板，涉及半导体光刻图形制作技术领域，包括透光区和非透光区，掩膜板包括：衬底，包括相对设置的第一表面和第二表面，所述第一表面包括多个异形结构，所述异形结构位于所述非透光区；遮光层，位于所述衬底的所述第二表面远离所述第一表面的一侧如此，在利用本申请的掩膜板进行光刻时，有利于提升光刻过程中光能量的有效利用率，提高曝光效率。
掩膜板