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[实用新型]扫描探针显微镜上的观察装置-CN02260944.X无效
发明人： -专利权人：
申请日： 2002-10-24 - 公布日： 2003-10-01 - 主分类号： G01N13/10 文献下载
摘要：置放可动投影物镜的外套与机壳活动连接构成的精调焦机构。在置放在可动套筒顶上且压在压簧上面的机壳内，置有由不动投影物镜和可动投影物镜构成的投影物镜组。光源的发光中心置于不动投影物镜的焦点上。不动投影物镜经半反半透分光板反射光束的焦点在普通显微物镜的物面上。
扫描探针显微镜观察装置

[发明专利]一种用于投影物镜波像差绝对检测的测量装置和测量方法-CN202210538787.1在审
发明人：王青蓝;全海洋;胡松;刘俊伯;朱咸昌;王建 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2022-05-18 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于投影物镜波像差绝对检测的测量装置和测量方法，检测装置包括光源及照明系统、滤波系统、被测投影物镜、球透镜、准直系统和波前传感器，沿所述的光源及照明系统输出空间非相干光方向依次是滤波系统、被测投影物镜、球透镜、准直系统、波前传感器，沿所述的滤波系统位于被测投影物镜的物方视场，滤波系统放置在光源及照明系统的衍射极限处，形成理想球面波，被测投影物镜与光源及照明系统的衍射极限处于共焦的位置，球透镜放在与被测投影物镜共焦的位置，准直系统与球透镜也处于共焦的状态；结合随机平均法标定出投影物镜波像差检测装置的系统误差，将系统误差从相对测量结果中剔除，从而提高波前测量精度。
一种用于投影物镜波像差绝对检测测量装置测量方法

[发明专利]浸没头的集成工装及其集成方法和光刻机-CN201911380274.7有效
发明人：陈言亭;余斌 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2019-12-27 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种浸没头的集成工装及其集成方法和光刻机，所述浸没头的集成工装包括：支撑单元，用于作为光刻机的投影物镜和浸没头的载体；垂向位置探测单元，用于检测投影物镜与浸没头之间的垂直距离、投影物镜的轴心与浸没头的轴心之间的水平距离以及投影物镜与浸没头的相对的面的水平度偏差；水平位置调整单元，用于调整浸没头在水平方向上的位置，以使得浸没头的轴心与投影物镜的轴心重合；垂向位置调整单元，用于调整浸没头在垂直方向上的位置，以使得浸没头与投影物镜的相对的面平行，且使得浸没头到达所需的安装位置本发明的技术方案使得浸没头能够安全且准确地安装到投影物镜下方的所需的安装位置。
浸没集成工装及其方法光刻

[发明专利]一种三片式非远心大孔径投影镜头及数字投影车灯-CN202310099579.0在审
发明人：牛磊;杨珏晶;黄慧;蔡志鹏;王良亮;王鹏飞;宋伟;徐锋 -专利权人：华域视觉科技（上海）有限公司
申请日： 2023-02-10 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： G02B13/00 文献下载
摘要：本发明公开一种三片式非远心大孔径投影镜头及数字投影车灯，涉及投影镜头技术领域。该三片式非远心大孔径投影镜头包括沿投影光路依次设置的像素化可控数字芯片、保护玻璃、第一光学物镜、第二光学物镜和第三光学物镜，第一光学物镜的焦距为f5，第二光学物镜的焦距为f7，第三光学物镜的焦距为f10该三片式非远心大孔径投影镜头及数字投影车灯，具有大视场角、大光圈、非远心、体积小、结构简单、成像质量高、成本低廉的优点，并且能够保证长时间使用时的性能稳定性。
一种三片式非远心大孔径投影镜头数字车灯

[发明专利]具有大孔径和平面端面的投影物镜-CN200680029692.6有效
发明人： S·贝德;W·辛格;K·－H·舒斯特 -专利权人：卡尔蔡司SMT股份公司
申请日： 2006-05-26 - 公布日： 2008-08-13 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种适合于微光刻投影曝光机的投影物镜，其用于将该投影物镜的物平面(OP)中提供的图案成像到该投影物镜的像平面(IP)上，其具有多个光学元件，其对于该投影物镜的工作波长处的辐射是透明的。
具有孔径平面端面投影物镜

[实用新型]开放式底投投影电视结构-CN200620013614.4无效
发明人：李方红;周立 -专利权人：深圳市科创数字显示技术有限公司
申请日： 2006-04-19 - 公布日： 2007-06-06 - 主分类号： H04N5/74 文献下载
摘要：一种开放式底投投影电视结构，包括用于产生影像的投影光机、设置在投影光机一侧的投影物镜、竖直设置在投影物镜侧上方的反射镜、水平设置在反射镜上方的透射平板、及竖直设置在透射平板上方的投影屏幕，该投影光机产生的投影影像经过投影物镜放大后照射在反射镜上，然后经由反射镜反射到透射平板上，再由透射平板透射而投影成像于投影屏幕上。
开放式投影电视结构

[发明专利]微平版印刷投影曝光装置的投影物镜-CN200910266224.6无效
发明人： B·尼尔;N·瓦布拉;T·格鲁纳;A·艾普勒;S·贝德;S·辛格 -专利权人：卡尔蔡司SMT股份公司
申请日： 2004-12-27 - 公布日： 2010-06-09 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种微平版印刷投影曝光装置的投影物镜。该微平版印刷投影曝光装置(110)的投影物镜是为其中浸渍液(134)与感光层(126)邻接的浸渍操作而设计的。漫渍液的折射率大于在投影物镜(120；120’；120”)的物体侧与浸渍液相邻的介质(L5；142；L205；LL7；LL8；LL9)的折射率。投影物镜设计成在浸渍操作期间浸渍液(134)朝物面(122)凸出地弯曲。
平版印刷投影曝光装置物镜

[发明专利]微平版印刷投影曝光装置的投影物镜-CN200480041615.3有效
发明人： B·尼尔;N·瓦布拉;T·格鲁纳;A·艾普勒;S·贝德;W·辛格 -专利权人：卡尔蔡司SMT股份有限公司
申请日： 2004-12-27 - 公布日： 2007-02-14 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种微平版印刷投影曝光装置的投影物镜。该微平版印刷投影曝光装置(110)的投影物镜是为其中浸渍液(134)与感光层(126)邻接的浸渍操作而设计的。浸渍液的折射率大于在投影物镜(120；120’；120”)的物体侧与浸渍液相邻的介质(L5；142；L205；LL7；LL8；LL9)的折射率。投影物镜设计成在浸渍操作期间浸渍液(134)朝物面(122)凸出地弯曲。
平版印刷投影曝光装置物镜

[发明专利]一种波像差测量装置-CN201310140324.0有效
发明人：马明英 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2013-04-22 - 公布日： 2017-02-08 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明提出一种波像差测量装置，用于光刻装置投影物镜波像差的测量，包括光源；照明系统，所述光源发出的光经所述照明系统后形成照明光束入射到所述投影物镜物面的物面掩模；物面掩模，包括小孔标记，所述照明光束经所述小孔衍射形成理想球面波；投影物镜，所述理想球面铂金所属物镜后形成携带有所述投影物镜波像差的球面波投射到像面探测单元；像面探测单元对所述携带有投影物镜波像差的球面波进行探测以获取所述投影物镜波像差信息，其特征在于所述像面探测单元包括基底及探测器，所述基底上表面包含光栅标记，下表面包含窗口标记，所述携带有投影物镜波像差的球面波进所述光栅标记衍射产生+1级光与‑1级光会聚于基底下表面上的窗口标记，经所述窗口标记后所述+1级光与‑1级光重叠干涉形成干涉图像
一种波像差测量装置

[发明专利]光刻机投影物镜的温度控制装置-CN200910054733.2有效
发明人：聂宏飞;黄友任;李小平;金敏;余小虎 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2009-07-14 - 公布日： 2009-12-23 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种光刻机投影物镜的温度控制装置，包括：至少一水套，该水套包括水套体和双螺旋缠绕在该水套体外壁的水管；用于感测该光刻机的投影物镜的温度的至少一温度传感器；分流集流板通过该分流集流管向该水套体的水管提供循环水并接收该水套体的水管内的回流水，该分流集流管上设置有用于控制该水管内的循环水流量的调节阀；循环水控制单元控制循环水的温度，并通过该传输管向该分流集流板提供循环水；投影物镜温度控制单元用于接收该温度传感器感测到的该投影物镜的温度，该投影物镜温度控制单元根据该投影物镜温度值调节该循环水控制单元提供的循环水的温度和该调节阀的打开程度本发明的光刻机投影物镜的温度控制装置能够保证该投影物镜整体温度的均匀性与稳定性。
光刻投影物镜温度控制装置

[发明专利]一种光刻曝光系统集成装配方法-CN201010619287.8有效
发明人：郭勇;储兆祥 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2010-12-31 - 公布日： 2012-07-11 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明一种光刻曝光系统的光学集成装配方法，包括下述步骤：第一步，利用点能量传感器和投影物镜对准掩模标定投影物镜最佳像面的中心和方向；第二步，测量曝光系统的远心，根据远心值计算照明模块相对于所述投影物镜的倾斜；第三步，测量所述投影物镜对准掩模中心小孔和照明对准工装中心小孔的位置偏差，计算所述照明模块相对于所述投影物镜的偏心；第四步，测量所述投影物镜对准掩模多个辅助小孔和照明对准工装多个辅助小孔的位置偏差，计算所述照明模块相对于所述投影物镜的旋转；第五步，测量所述照明对准工装中心小孔的半影宽度以计算所述照明模块相对于所述投影物镜的Z向调整量；第六步，根据以上测量结果，确定所述照明模块所需的机械调整量；第七步，对所述照明模块进行机械调整，重复第二步
一种光刻曝光系统集成装配方法

[实用新型]用于光刻机系统的在线检测装置-CN201820656769.2有效
发明人：苏佳妮;齐月静;卢增雄;杨光华;王宇 -专利权人：中国科学院光电研究院
申请日： 2018-05-03 - 公布日： 2018-12-07 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型旨在解决投影物镜在安装前后检测到的数值孔径存在差异的技术问题。为此目的，本实用新型提供了一种用于光刻机系统的在线检测装置，该在线检测装置包括能够设置于掩模台上的散射元件、能够设置于工件台上的数值孔径测量装置，光源经散射元件的散射光束覆盖投影物镜并通过投影物镜投影在数值孔径测量装置上，数值孔径测量装置能够根据散射光束投影在数值孔径测量装置上的投影光束检测投影物镜的数值孔径。本实用新型的在线检测装置能够对安装完成后的投影物镜的数值孔径进行原位在线、快速测量，从而提高投影物镜的数值孔径检测准确性。
在线检测装置投影物镜数值孔径测量本实用新型数值孔径光刻机散射光束散射元件检测检测技术领域投影物镜投影快速测量投影光束性能参数掩模光源投影覆盖

[发明专利]一种系统误差自校准的光刻机投影物镜波像差在线检测装置-CN201110128071.6有效
发明人：李艳秋;汪海;刘克 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2011-05-17 - 公布日： 2011-09-28 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种系统误差自校准的投影物镜波像差在线检测装置，能够实现对光刻机投影物镜波相差的高精度检测。采用设有方形针孔阵列的物方掩模板，通过方形针孔阵列产生理想的球面波，消除了照明系统对光刻机投影物镜波像差检测的影响，从而进一步提高了检测精度。利用针孔阵列滤波的系统误差自校准，通过在光刻机投影物镜的物面放置方孔掩模板和像面放置针孔阵列掩模板，在保证曝光光源利用率的同时，实现了对待测照明系统残留像差和投影物镜波像差的空间滤波，从而可以快速，高精度的获得投影物镜的波像差
一种系统误差校准光刻投影物镜波像差在线检测装置

[发明专利]一种虚像投影物镜和一种超广角物镜-CN201210574929.6无效
发明人：马韬 -专利权人：苏州大学
申请日： 2012-12-26 - 公布日： 2013-04-03 - 主分类号： G02B13/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种虚像投影物镜，包括依次排列的第一透镜、第二透镜和第三透镜，其中，第一透镜的第一光焦度Φ1、第二透镜的第二光焦度Φ2、第三透镜的第三光焦度Φ3和虚像投影物镜的总光焦度Φ之间存在以下关系式：本发明还提供了一种超广角物镜，该超广角物镜的主要结构组成中包括上述虚像投影物镜，其中，虚像投影物镜的入瞳存在光阑球差。根据上述技术方案得出的具体实验结果可以看出，本发明实施例提供的虚像投影物镜和超广角物镜中的第一透镜、第二透镜和第三透镜可以获取视场角度为170°的超广视场角，在虚拟测试环境中，满足超广角光学系统的成像模拟需要
一种虚像投影物镜广角

[发明专利]一种应用于投影光刻机的大视场投影曝光物镜-CN201410477962.6有效
发明人：朱咸昌;胡松;赵立新 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2014-09-18 - 公布日： 2014-12-10 - 主分类号： G02B13/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种应用于投影光刻机的大视场投影曝光物镜，其作用是把投影光刻机掩模版上的图形经过成像复制后转移到硅片上。投影曝光物镜是光刻机的核心部件，决定了光刻机的主要性能。本发明所涉及的大视场投影曝光物镜由26片透镜组成，物镜分辨力1.5μm，放大倍率为-1.25倍，曝光视场132mm×132mm。本投影曝光物镜采用4面非球面校正系统场曲、畸变和波像差；同时，选用对i线(365nm)透过率较高的玻璃材料，提高系统光学透过率，满足大视场投影光刻机的高精度及高产率需求。
一种应用于投影光刻视场曝光物镜