专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]导体处理装置-CN202111076005.9在审
  • 温子瑛 - 无锡华瑛微电子技术有限公司
  • 2021-09-14 - 2022-03-15 - H01L21/687
  • 本发明提供了一种半导体处理装置,其包括:第一腔室部;第二腔室部。第一腔室部具有第一槽道,第二腔室部具有第二槽道,在第二腔室部相对于第一腔室部位于关闭位置且微腔室内容纳有半导体晶圆时,第一槽道和第二槽道连通并在晶圆边缘处共同形成边缘微处理空间,容纳于微腔室内的半导体晶圆的外缘伸入边缘微处理空间第一腔室部上具有位于第一槽道外侧的密封接合部,第二腔室部上具有与密封接合部对应的接合凹槽借助边缘微处理空间,本发明能够实现对半导体晶圆的外缘的处理。
  • 半导体处理装置
  • [发明专利]一种半导体生产用清洗设备-CN202111235430.8在审
  • 鲁强 - 鲁强
  • 2021-10-22 - 2022-03-15 - H01L21/67
  • 本发明公开了一种半导体生产用清洗设备,所述半导体生产用清洗设置包括:底板和所述底板上表面两侧呈竖直设置的两个支撑柱,所述支撑柱用于对所述半导体生产用清洗设置中零部件起到支撑与固定;驱动部件,所述驱动部件包括安装架且固定在两个所述支撑柱之间,本发明在夹持部件旋转的时固定在旋转杆上的行星齿与固定集水腔上的太阳齿啮合,在太阳齿不动的情况下,夹持部件在围绕集水腔旋转的同时自身也在转动,能够配合集水腔上的雾化喷口喷出的清洗液,达到对半导体板更好的清洗效果
  • 一种半导体生产清洗设备
  • [发明专利]导体装置及其制造方法-CN202180004519.5在审
  • 赵起越;石瑜 - 英诺赛科(苏州)科技有限公司
  • 2021-11-10 - 2022-03-18 - H01L29/40
  • 一种半导体装置包含第一和第二氮化物基半导体层、第一和第二电极、第一栅极电极、第一和第二场板。所述第一场板安置在所述第二氮化物基半导体层上方,且从所述第一电极和所述第一栅极电极之间的区延伸到所述第一栅极电极的正上方的区。所述第二场板安置在所述第二氮化物基半导体层上方,且从所述第一电极和所述第一场板之间的区延伸到所述第一场板的正上方的区。所述第二场板与所述第一栅极电极水平地间隔开。
  • 半导体装置及其制造方法
  • [发明专利]导体器件及其形成方法-CN202011094813.3在审
  • 刘志拯 - 长鑫存储技术有限公司
  • 2020-10-14 - 2022-04-19 - H01L27/108
  • 本公开提供一种半导体器件及其形成方法,涉及半导体技术领域。该半导体器件包括衬底、栅极结构及自对准接触结构,其中:衬底包括源极和漏极;栅极结构形成于衬底上,且位于源极和漏极之间;自对准接触结构形成于衬底上,并在垂直于衬底的方向上包括依次连接的第一接触结构、第二接触结构及第三接触结构本公开的半导体器件及其形成方法可减小接触电阻,降低工艺难度。
  • 半导体器件及其形成方法

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