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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]处理液供给机构-CN201110079737.3有效
发明人：中岛常长;白石俊介;竹尾俊英 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2011-03-30 - 公布日： 2011-11-09 - 主分类号： B65D83/16 文献下载
摘要：本发明提供一种能够防止处理液残留在容器主体的处理液供给机构。该处理液供给机构包括：固定筒部，自盖部向容器主体的上方突出，在其周面上形成有螺纹；移动筒部，与该固定筒部同轴地螺合设置于该固定筒部的内侧或外侧；处理液供给管，相对于由固定筒部和移动筒部构成的筒部沿轴向移动自如地贯通该筒部和上述盖部的同时由此使处理液供给管的下端抵接于容器主体的底部而被固定。
处理供给机构

[发明专利]基板液处理装置-CN201580068790.X有效
发明人：小宫洋司;高木康弘;梅野慎一;田中幸二;佐藤尊三;穴本笃史 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2015-12-15 - 公布日： 2020-06-09 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：实施方式的一形态的基板液处理装置具备输送部、处理部、贮存部、以及供液机构。输送部配置有输送基板的输送装置。处理部沿着水平方向与输送部相邻，配置有使用处理液来对基板进行处理的液处理单元。贮存部贮存处理液。供液机构将贮存到贮存部的处理液向液处理单元送出。贮存部配置于输送部的正下方。另外，供液机构配置于处理部的正下方。能够谋求基板液处理装置的省空间化。
基板液处理装置

[发明专利]处理液供给装置-CN200710111184.9有效
发明人：岛井太 -专利权人：东京应化工业株式会社
申请日： 2007-06-14 - 公布日： 2007-12-26 - 主分类号： F04B49/08 文献下载
摘要：本发明提供一种处理液供给装置，可以降低初始超程量，并且在边对基板大量处理时的显影液进行再利用边对基板进行大量处理时仍可以确保稳定的分配特性。本发明的处理液供给装置，通过在喷嘴附近设置带有累计功能的流量计，并对应流量计的变化，控制伺服马达而反馈到泵转速的控制中，因此可以持续地排出一定量而不管过滤器的网眼堵塞的情况，可使显影液在被抗蚀剂涂层的膜上
处理供给装置

[发明专利]废弃果蝇处理液-CN201510399169.3有效
发明人：刘鲁萍;倪建泉 -专利权人：清华大学
申请日： 2015-07-08 - 公布日： 2018-04-20 - 主分类号： A01N59/12 文献下载
摘要：本发明公开了废弃果蝇处理液以及利用该废弃果蝇处理液处理废弃果蝇的方法，其中，该废弃果蝇处理液包括20‑30体积份的碘伏和60‑70体积份的石蜡油。利用该处理液对废弃果蝇进行处理，可以有效地杀死果蝇，并杀灭果蝇的细菌，避免果蝇乱飞污染环境，并且该处理液不易挥发，便于长期使用，安全可靠，无刺激性气味。
废弃果蝇处理

[发明专利]基板液处理装置-CN201810150054.4有效
发明人：永井高志;佐藤秀明;北野淳一;後藤堅司 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2018-02-13 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种更精确地控制处理槽内的处理液的温度的基板液处理装置。基板液处理装置具备：处理槽(34)，其贮存处理液，并且通过将基板浸于所贮存的处理液中来进行基板的处理；循环线(50)，其与处理槽连接；泵(51)，其设置于循环线，用于形成从处理槽出来经过循环线后返回到处理槽的所述处理液的流动；以及加热器(52)，其设置于循环线，加热处理液。设置有设置于包括处理槽和循环线的循环系统内的彼此不同的位置的至少两个温度传感器(81、82、83)。控制器(90、100)基于这至少两个温度传感器的检测温度来控制加热器的发热量。
基板液处理装置

[发明专利]基板液处理装置-CN201810292833.8有效
发明人：益富裕之;山下浩司;荒竹英将;田中幸二;土屋孝文;佐藤秀明;石井佑树;稻田尊士 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2018-03-30 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种对于防止用于向处理液供给气体的喷嘴的堵塞有效的基板液处理装置。基板液处理装置(A1)具备：处理槽(41)，其容纳处理液(43)和基板(8)；气体喷嘴(70)，其在处理槽(41)内的下部喷出气体；以及气体供给部(89)，其向气体喷嘴(70)供给气体，其中，气体喷嘴(70)具有：管状的主体(71)，其以沿着处理槽(41)的底面的方式进行配置；以及喷出孔(77)，其形成为贯通主体(71)的内表面(73)与外表面(74)之间，并且开口面积随着从内表面(73)侧朝向外表面
基板液处理装置

[发明专利]基板液处理装置-CN201810161560.3有效
发明人：永井高志;佐藤秀明;原大海;吉田博司;平山司 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2018-02-27 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种更精确地控制处理槽内的处理液的沸腾状态的基板液处理装置。基板液处理装置具备：处理槽(34A)，其贮存处于沸腾状态的处理液，并且通过将基板(8)浸于所贮存的处理液中来进行基板的处理；浓度传感器(55B)，其检测处理液中包含的药液成分的浓度；浓度调整部(7、40、41)，其基于浓度传感器的检测浓度来向处理液添加药液成分或添加稀释液，由此将处理液中包含的药液成分的浓度调整为设定浓度；水头压力传感器(86B)，其检测处理槽内的处理液的水头压力；以及浓度设定值校正运算部
基板液处理装置

[发明专利]基板液处理装置-CN201810096859.5有效
发明人：田中幸二;盐川俊行;山下浩司;益富裕之;小杉仁;稻田尊士;池田贵志;平山司 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2018-01-31 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种基板液处理装置。防止从内槽内的处理液的表面飞散的处理液的飞沫飞散到内槽的外侧的意料之外的区域。基板液处理装置具备盖体(71、72)，该盖体(71、72)能够在使内槽(34A)的上部开口封闭的封闭位置与使内槽的上部开口开放的开放位置之间移动。
基板液处理装置

[发明专利]处理液供给装置-CN201710805006.X有效
发明人：佐佐卓志;石丸大辅;桥本克也;志手英男;若水信也;木村一彦 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2017-09-08 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种能够与装置内的各部分的位置关系、配管、设置条件等无关地利用过滤器适当地去除处理液内的微粒的处理液供给装置。抗蚀剂液供给装置对涂布喷嘴供给抗蚀剂液，所述抗蚀剂液供给装置具备：缓冲罐，其暂时贮存从用于贮存抗蚀剂液的抗蚀剂液供给源供给的处理液；过滤器，其设置于涂布喷嘴与缓冲罐之间，用于将抗蚀剂液中的异物去除；以及泵，其将被过滤器去除异物后的抗蚀剂液向涂布喷嘴送出，其中，缓冲罐具有对贮存于该缓冲罐中的抗蚀剂液进行加压搬送的加压搬送功能。
处理供给装置

[发明专利]处理液排出装置-CN201110217897.X无效
发明人：金大星;李晟熙 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2011-08-01 - 公布日： 2012-03-14 - 主分类号： B05B15/02 文献下载
摘要：本发明提供处理液排出装置，为了有效去除残留于喷头的喷嘴面的微量液晶，在清洗喷头的喷嘴面的喷头清洗单元中，设有一个或多个喷嘴，所述喷嘴以喷射气体的方式将残留于吸嘴上部的液晶推向吸嘴方向。所述处理液排出装置还包括水平驱动部件，用于调节喷嘴和吸嘴之间间距；和升降部件，用于调节喷嘴的排出口的高度；和压力调节装置，用于调节喷嘴的排出口的喷射压力。
处理排出装置

[发明专利]洗井液处理设备-CN201210023820.3无效
发明人：梁德权;戴相富;王维忠;张子胜;祁广彬;李念;王兴朴;程鹏;鲁书成;罗煜琼;邬丹;郭全立;朱海朋 -专利权人：中原特种车辆有限公司
申请日： 2012-01-30 - 公布日： 2012-07-11 - 主分类号： E21B21/06 文献下载
摘要：洗井液处理设备，包括沿洗井液的流向依次通过管路连通的减压系统、除砂系统、除油系统、过滤系统和反冲洗管路，除砂系统主要包括旋流除砂器，旋流除砂器的排砂口与储砂器连通；除油系统主要包括沿洗井液流向依次管路连通的混合器、旋流除油器，旋流除油器的排污口与污水箱连通，混合器一入口分支与加药泵连接，由加药泵泵送药剂以絮凝洗井液中的悬浮物；过滤系统包括至少一个过滤器，过滤器的滤芯为双向楔形槽结构、滤芯采用不锈钢作为滤料。
洗井液处理设备

[发明专利]处理液供给装置-CN200610009216.X无效
发明人：竹市芳邦;加藤博己;村冈佑介 -专利权人：未来视野股份有限公司
申请日： 2006-02-14 - 公布日： 2007-02-07 - 主分类号： B08B3/00 文献下载
摘要：本发明以处理液回收型的处理液供给装置为对象，例如即使是上、下筐体用疏水性的材料形成、并且基板宽度方向以及基板搬送方向较为长大的装置，也能够有效地防止在基板处理中处理液从筐体间泄漏的情况。
处理供给装置

[实用新型]废酸液处理装置-CN201420838534.7有效
发明人：张天东;张欣泉 -专利权人：萍乡市天东电器科技有限公司
申请日： 2014-12-24 - 公布日： 2015-05-13 - 主分类号： C02F9/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种废酸液处理装置，所述的第一处理池(3)依次与第二处理池(4)、第三处理池(5)连接；所述的第一处理池(3)与第二处理池(4)之间设有第一连通管(7)；所述的第二处理池(4)与第三处理池(5)之间设有第二连通管(8)；所述真空泵(1)的进液管与第一处理池(3)连通，所述真空泵(1)的出液管与酸液过滤机(2)的进液管连通；所述酸液过滤机(2)的出液管与第二处理池(4)连通；所述的第一连通管(7)的进液口和第二连通管(8)的进液口均设有一过滤网(9)。该废酸液处理装置在处理过酸液后排出来的水中含有害化学物质少，从而避免了对环境产生污染。
废酸液处理装置

[实用新型]洗井液处理车-CN200920317151.4有效
发明人：吴娟;徐会娟;于焉君;刘丽丽;白丽艳;李自新 -专利权人：通化石油化工机械制造有限责任公司
申请日： 2009-12-11 - 公布日： 2010-08-18 - 主分类号： E21B21/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种油田专用的车载式可移动水处理设备，即洗井液处理车。它包括汽车底盘，在汽车底盘上从车后排布包括连通有旋流除砂器、集砂箱、气浮沉降箱、过滤器、清水箱、三缸柱塞泵。
洗井液处理

[实用新型]洗井液处理设备-CN201220034358.2有效
发明人：梁德权;戴相富;王维忠;张子胜;祁广彬;李念;王兴朴;程鹏;鲁书成;罗煜琼;邬丹;郭全立;朱海朋 -专利权人：中原特种车辆有限公司
申请日： 2012-01-30 - 公布日： 2012-10-03 - 主分类号： E21B21/06 文献下载
摘要：洗井液处理设备，包括沿洗井液的流向依次通过管路连通的减压系统、除砂系统、除油系统、过滤系统和反冲洗管路，除砂系统主要包括旋流除砂器，旋流除砂器的排砂口与储砂器连通；除油系统主要包括沿洗井液流向依次管路连通的混合器、旋流除油器，旋流除油器的排污口与污水箱连通，混合器一入口分支与加药泵连接，由加药泵泵送药剂以絮凝洗井液中的悬浮物；过滤系统包括至少一个过滤器，过滤器的滤芯为双向楔形槽结构、滤芯采用不锈钢作为滤料。
洗井液处理设备

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