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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]供液装置和供液方法-CN201880022733.1有效
  • 高松祐助;高木康弘;梅野慎一;福井祥吾 - 东京毅力科创株式会社
  • 2018-03-23 - 2023-06-02 - H01L21/027
  • 本发明包括：储存罐(102)，其储存包含第一处理液(硫酸)和第二处理液(过氧化氢水溶液)的处理液；使储存于储存罐(102)的处理液循环的循环路径(104)，其具有使处理液在水平方向上通过的第一管路(104a)；向处理单元(16)供给处理液的分支路径(112)；和分支部(112a)，其具有使处理液从第一管路(104a)向分支路径(112)流出的开口(1121)，在分支部(112a)中剖视第一管路(104a)时，开口(1121)设置于第一管路(104a)的周缘下方。
  • 装置方法
  • [发明专利]基板处理装置和基板处理方法-CN201780009904.2有效
  • 高木康弘;梅野慎一;永井高志;守田寿;绪方信博;高松祐助;东岛治郎 - 东京毅力科创株式会社
  • 2017-01-20 - 2022-08-16 - H01L21/304
  • 实施方式所涉及的基板处理装置具备贮存容器、基板处理部、回收路径、废弃路径、供给路径、切换部和切换控制部。回收路径使供给到基板处理部的混合液返回到贮存容器。废弃路径将所供给的混合液废弃到贮存容器以外的场所。切换部使所供给的混合液的流入目的地在回收路径与废弃路径之间切换。切换控制部对切换部进行控制，使得在从基板处理部开始供给混合液起到第一时间经过的期间，使所供给的混合液向废弃路径流入，在第一时间经过后且到基于预先决定的回收率决定的第二时间经过为止的期间，使所供给的混合液向回收路径流入，在从第二时间经过起到混合液的供给结束为止的期间，使所供给的混合液向废弃路径流入。
  • 处理装置方法
  • [发明专利]液处理装置-CN201680066935.7有效
  • 入山哲郎;梅野慎一;高木康弘;佐藤尊三 - 东京毅力科创株式会社
  • 2016-11-02 - 2022-05-31 - H01L21/304
  • 本发明的实施方式的液处理装置包括处理部、第1供给通路、第1器件、第2供给通路、第2器件、壳体和外部壳体。处理部使用处理液处理基板。第1供给通路对处理部供给第1处理液。第1器件用于对第1供给通路供给第1处理液。第2供给通路对处理部供给比第1处理液高温的第2处理液。第2器件用于对第2供给通路供给第2处理液。壳体收纳处理部。外部壳体与壳体相邻，收纳第1器件和第2器件。另外，外部壳体在第1器件和第2器件之间具有分隔壁。
  • 处理装置
  •  1 
  • 共 4 条
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