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[发明专利]半导体结构及其形成方法-CN201710010912.0有效
发明人：李勇 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
申请日： 2017-01-06 - 公布日： 2021-08-06 - 主分类号： H01L29/06 文献下载
摘要：一种半导体结构及其形成方法，方法包括：提供基底，基底上形成有层间介质层，层间介质层内具有露出部分基底的开口，开口底部和侧壁形成有叠层结构，叠层结构还位于层间介质层的顶部；至少去除位于层间介质层顶部的叠层结构；至少去除部分所述叠层结构后，对基底进行退火处理；退火处理后，在开口中填充金属层，形成栅极结构。本发明通过采用至少去除位于层间介质层顶部的叠层结构的方法，以减小叠层结构的长度；从而可以减小叠层结构的膨胀量(或收缩量)，相应减小叠层结构因产生过大应力而发生破裂的可能性，以减小栅极漏电流、改善半导体结构中接触孔插塞和栅极结构之间的隔离效果
半导体结构及其形成方法

[发明专利]一种Ti-Al金属间化合物微叠层复合装甲及其制备方法-CN201911088372.3有效
发明人：原梅妮;马健;韩方洲;郑丽荣;张国庆;王凯;魏泽源;姚宇航;李立州;姚磊斌;辛乐 -专利权人：中北大学
申请日： 2019-11-08 - 公布日： 2022-03-15 - 主分类号： F41H5/04 文献下载
摘要：本发明属装甲防护技术领域，为提高钛铝金属间化合物叠层复合装甲的抗侵彻性能，提供一种Ti‑Al金属间化合物微叠层复合装甲及其制备方法。由Ti‑AlTi和Ti‑Al3Ti‑Al叠层复合材料组成的Ti‑Al金属间化合物微叠层复合装甲，其中：Ti‑AlTi叠层复合材料作为装甲前板，Ti‑Al3Ti‑Al叠层复合材料作为装甲后板，装甲前板与装甲后板用扩散焊的方式连接；装甲前板与装甲后板的厚度比为3:1‑4:1。综合Ti‑AlTi叠层复合材料高硬度、高刚度以及良好的迎弹面抗破片侵彻能力和Ti‑Al3Ti‑Al叠层复合材料高韧性，高吸能性的优点，对破片冲击有着优异的缓冲抑制能力
一种 ti al 金属化合物微叠层复合装甲及其制备方法

[发明专利]一种半导体器件的制备方法-CN202110612944.4在审
发明人：罗佳明;王建东;李拓;杨永刚;李华东;张莉 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2021-06-02 - 公布日： 2021-09-03 - 主分类号： H01L27/1157 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体器件的制备方法，先在衬底上交替堆叠层间绝缘层和层间介质层形成以叠层结构，然后形成垂直贯穿叠层结构的沟道结构，再去除层间介质层形成凹槽，最后去除部分层间绝缘层，并在凹槽内填充栅极导体层其中，在形成沟道结构之前，增加了层间绝缘层的厚度且减小了层间介质层的厚度，因此可以降低形成沟道结构的刻蚀工艺难度，且可以减小层间介质层导致的晶圆应力。另外，在最后去除了增加的层间绝缘层后，还能保证最终叠层结构中层间绝缘层和层间介质层的厚度为各自所需的厚度。
一种半导体器件制备方法

[发明专利]一种高界面结合强度的叠层铝合金制备方法-CN202210921961.0在审
发明人：刘文辉;岳小明;刘筱;丁学锋;唐昌平;陈宇强;唐建国;罗善明 -专利权人：集美大学
申请日： 2022-08-02 - 公布日： 2022-10-25 - 主分类号： B21B1/38 文献下载
摘要：本发明提供了一种高界面结合强度的叠层铝合金制备方法，属于金属复合材料制备加工技术领域。本发明先将背板、中间板、面板组合固定后，再对组合板热处理后进行第一次轧制处理，然后对得到的叠层铝合金进行搅拌摩擦处理，最后经热处理、第二次轧制处理、固溶处理和时效处理，得到高界面结合强度的叠层铝合金。本发明通过对叠层铝合金进行搅拌摩擦处理，使得搅拌区的层间结构破坏重熔为一体，层间界面消失，所制备的叠层铝合金具有空间结构。因此，叠层铝合金层间结合强度提高。
一种界面结合强度铝合金制备方法

[发明专利]一种提升叠层结构层间结合力的贴合工艺-CN202211441408.3在审
发明人：金闯;高伟;刘小磊;张自豪;蒋晓明 -专利权人：江苏斯迪克新材料科技股份有限公司;太仓斯迪克新材料科技有限公司
申请日： 2022-11-17 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： B32B37/12 文献下载
摘要：本发明提供一种提升叠层结构层间结合力的贴合工艺，其特征在于，包括以下步骤：S1.在第一基材上涂布第一胶水，经过预处理后，得到具有第一胶层的第一基材；S2.在第二基材上涂布第二胶水，经过预处理后，得到具有第二胶层的第二基材；S3.将第一基材具有第一胶层的待贴合面与所述第二基材具有第二胶层的待贴合面贴合，得到膜产品；S4.将膜产品进行后固化，得到固化后膜产品；其中，所述第一胶层、第二胶层中至少一个为胶膜层。该工艺简单，生产周期短，可有效提升不同质材料所形成的膜与胶膜间、胶膜与胶膜间的结合力，使得叠层结构在不同老化条件下，叠层结构折叠不低于20万次时，叠层结构的膜与胶膜、胶膜与胶膜之间不发生层间分离的现象。
一种提升结构结合贴合工艺

[发明专利]三流体用板式热交换器及其制造方法-CN99802775.8无效
发明人：古川泰成;上殿纪夫;井上修行;铃木晃好;渡部薰;秀岛英光 -专利权人：株式会社荏原制作所;日本发条株式会社
申请日： 1999-12-08 - 公布日： 2001-04-04 - 主分类号： F28D9/00 文献下载
摘要：把板材叠层体的靠板材叠层方向一端侧的部分,作为前级热交换部13A,把靠板材叠层方向另一端侧的部分,作为后级热交换部13B。在前级热交换部13A,使第1流体La通过板材之间的板间第1流体路f1和使第2流体Lc通过的板间第2流体路f2,交替地位于板材叠层方向。在后级热交换部13B,使第1流体La通过板材之间的板间第1流体路f1和使第3流体Lb通过的板间第3流体路f3,交替地位于板材叠层方向。设有把通过了前级热交换部的板间第1流体路的第1流体,导入后级热交换部的板间第1流体路的连接路m。
三流体用板式热交换器及其制造方法

[实用新型]一种基于超大赠送面积设计的户型住宅楼-CN202121218665.1有效
发明人：许阳峰;查小霞;刘喜桃;王金丽;姜海;刘树军 -专利权人：上海执琢建筑设计事务所有限公司
申请日： 2021-06-02 - 公布日： 2021-11-30 - 主分类号： E04H1/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于超大赠送面积设计的户型住宅楼，包括：叠墅，所述叠墅由对称设置的下叠一层、下叠二层以及单独设置的上叠三层和上叠四层组成，所述下叠一层、下叠二层、上叠三层和上叠四层均为7字形结构，其中下叠一层包括庭院、客厅、厨房、独立卫生间和一个带有卫生间的卧室，所述庭院和独立卫生间呈半包围状包裹在下叠一层外，所述下叠二层由主卧、衣帽间和一个带有卫生间的次卧。本实用新型通过合理的功能分区以及功能流线，侧向几乎没有开窗，把隐私做到最好，巧妙的避免上下视线的干扰问题，完好的保证了下叠的私密性,让其真正做到引天地入院，使得叠墅庭院别墅化，设计合理其赠送面积达到90.74
一种基于超大赠送面积设计户型住宅楼

[发明专利]一种三维织物叠层针刺复合材料及其制备方法-CN201910248113.6在审
发明人：宋磊磊;祝颖丹;郭启涛;吕东喜 -专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所
申请日： 2019-03-29 - 公布日： 2020-10-09 - 主分类号： B32B9/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种三维织物叠层针刺复合材料及其制备方法，所述的三维织物叠层针刺复合材料由三维织物叠层针刺预制体与基体材料复合而成；所述三维织物叠层针刺预制体为三维织物层间铺设短纤维毡后，再利用针刺工艺得到的立体结构材料本发明按照特定工艺叠层针刺得到的复合材料，不仅提高了复合材料的层间性能，还减少了生产过程的铺层次数，提高了生产效率，降低了生产周期和生产成本，适合大规模的生产应用。
一种三维织物针刺复合材料及其制备方法

[发明专利]一种多层耐高温复合阳极的制备方法-CN201811585145.7有效
发明人：温亚辉;王喆;张腾;张勇;淡新国;刘晨雨;金波;张清 -专利权人：西安瑞福莱钨钼有限公司
申请日： 2018-12-24 - 公布日： 2021-02-05 - 主分类号： B23K1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种多层耐高温复合阳极的制备方法，该方法包括：一、根据目标产物复合阳极分别制备第一金属层、第二金属层和非金属层，并从上到下依次叠放；二、在第一金属层与第二金属层的叠放面间添加第一钎料；三、在述非金属层与添加第一钎料后的第二金属的叠放面间添加第二钎料得复合阳极预焊件；四、将复合阳极预焊件进行高温真空热压焊接，使第二金属层和非金属层间形成过渡层，再经加工得到复合阳极。本发明先加工复合阳极的各层，然后将各层依次叠放并在各层之间添加钎料进行真空热压焊接，得到复合阳极，利用各层间的高温扩散连接，使得各层界面间过渡规则，界面清晰，保证了复合阳极的耐高温性能，缩小了复合阳极的动平衡偏差
一种多层耐高温复合阳极制备方法

[发明专利]Ti-Al金属间化合物叠层复合板的制备方法及其模具-CN202011242862.7在审
发明人：原梅妮;魏泽源;郑丽荣;王凯;苗雨中;梁广;马健 -专利权人：中北大学
申请日： 2020-11-10 - 公布日： 2021-03-05 - 主分类号： B21C37/02 文献下载
摘要：本发明涉及叠层复合板的制备方法，具体为Ti‑Al金属间化合物叠层复合板的制备方法及其模具。为了解决现有的Ti‑Al金属间化合物叠层复合板的制备方法在制备被当作装甲防护材料用的大尺寸的Ti‑Al金属间化合物叠层复合板时存在上述缺陷的问题，提供了一种新型的Ti‑Al金属间化合物叠层复合板的制备方法及其模具本发明首先将交替叠层好的Ti板/Al板放置于模具中，随后将装有Ti/Al叠层板的模具放入电阻炉中进行非真空热处理，使Ti/Al板间发生扩散反应；然后将装有Ti/Al叠层板的模具从电热炉中取出，迅速放置于金属挤压液压机中进行锻压，最终获得大尺寸的Ti‑Al金属间化合物叠层复合板。
ti al 金属化合物复合板制备方法及其模具

[发明专利]中子慢化剂-CN201911111008.4在审
发明人：古屋日高;真田一人;菅原佳宪;薄秀明;中村胜;竹井进一 -专利权人：日本轻金属株式会社;株式会社CICS;株式会社新特蓝德
申请日： 2015-01-20 - 公布日： 2020-02-21 - 主分类号： C04B35/553 文献下载
摘要：该中子慢化剂用于使中子减速，其包含：叠层有多个圆盘状的氟化镁烧结体的第一中间叠层体；和第二中间叠层体，其叠层在第一中间叠层体上，且在多个圆盘状的氟化镁烧结体具有孔，第二中间叠层体的最下侧的氟化镁烧结体在孔中具有与锥面及该氟化镁烧结体的下面连续且沿铅直方向延伸的铅直内壁
中子慢化

[发明专利]3D存储器件的制造方法-CN202110347772.2有效
发明人：王伟哲;何亚东;刘力挽;张莉;王新胜 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2021-03-31 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： H01L27/11556 文献下载
摘要：该3D存储器件包括：栅叠层结构，位于衬底上方，包括交替堆叠的多个栅极导体和多个层间绝缘层；多个沟道柱和多个假沟道柱，贯穿所述栅叠层结构；第一黏附层，位于所述假沟道孔的侧壁，且位于多个所述层间绝缘层之间，与多个所述栅极导体相邻接；芯部，位于所述假沟道孔内部，填充所述假沟道孔的侧壁和底部，所述第一黏附层为由氮化物氧化后形成的氧化物。通过在假沟道孔的侧壁将氮化物氧化成氧化物形成第一黏附层，粘接多个层间绝缘层和芯部，以在栅叠层结构中形成支撑框架，保证对叠层结构的支撑，防止后续高温工艺的影响。
存储器件制造方法

[发明专利]存储器的制作方法、存储器及存储系统-CN202210471029.2在审
发明人：刘沙沙;高晶;张天辉;张红;霍宗亮 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2022-04-28 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： H01L27/11582 文献下载
摘要：所述方法包括：提供第一堆叠层，以及位于第一堆叠层上的第二堆叠层；在核心区形成贯穿第二堆叠层和第一堆叠层的第一沟道孔；在第二堆叠层上形成第三堆叠层；第一堆叠层、第二堆叠层和第三堆叠层均包括多个交替堆叠的层间牺牲层和层间绝缘层；在核心区形成至少贯穿第三堆叠层的第二沟道孔，且第一沟道孔与第二沟道孔相连通；在第一沟道孔和第二沟道孔中形成沟道结构；将第一堆叠层和所述第三堆叠层中的层间牺牲层置换为栅极层，并至少保留核心区的第二堆叠层中的层间牺牲层
存储器制作方法存储系统

[发明专利]栅极硬掩膜的去除方法-CN202210625582.7在审
发明人：雷海波;孙晨岑;李刚;洪庆旋 -专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日： 2022-06-02 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： H01L21/336 文献下载
摘要：本发明提供一种栅极硬掩膜的去除方法，提供衬底，衬底上形成有叠层，叠层由自下而上堆叠的伪栅、第一硬掩膜层、第二硬掩膜层形成，叠层的侧壁形成有侧墙；刻蚀去除侧墙，在衬底表面形成覆盖叠层的刻蚀停止层与覆盖刻蚀停止层的层间介质层，之后研磨层间介质层至刻蚀停止层的上表面；刻蚀层间介质层，使得叠层顶端的刻蚀停止层裸露；刻蚀刻蚀停止层、层间介质层和叠层，使得伪栅的顶端裸露。本发明的方法去除硬掩膜层，少了一层光刻层，节约了成本；本发明涉及的工艺及设备均为现有，且工艺成熟；本发明的方法可以改善工艺缺陷，扩大工艺窗口。
栅极硬掩膜去除方法

[发明专利]一种甲胺铅碘/可调带隙非晶硅锗叠层薄膜电池组装技术-CN201611216127.2在审
发明人：朱晓萌;曹丙强 -专利权人：济南大学
申请日： 2016-12-26 - 公布日： 2017-05-31 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明属于叠层电池组装技术，特别涉及一种甲胺铅碘/可调带隙非晶硅锗四终端叠层薄膜电池组装技术，电池结构依次包括甲胺铅碘前子电池、可调带隙非晶硅锗后子电池以及两电池间的空气隔层；所述前子电池光吸收层材料为钙钛矿结构的CH3NH3PbI3，后子电池为可调带隙的非晶硅锗合金材料。采用这该种子电池具有可调带隙的叠层电池结构，可以实现各电池之间能带的匹配，改善光生载流子的传输效率，拓展了太阳光谱吸收范围。该种电池还采用了四终端的电池结构，避免了子电池间电流的匹配，从而构造出高性能的叠层电池。本发明还公开了一种四终端叠层电池的制备方法。
一种甲胺铅碘可调带隙非晶硅锗叠层薄膜电池组装技术

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