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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]衬底支撑构件及其应用方法-CN202011511981.8在审
发明人：林奕宽;阿瑟·佐默施泰因;汗·沃;凯文·巴贝拉 -专利权人：先进尼克斯有限公司
申请日： 2020-12-18 - 公布日： 2021-07-09 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：一种将凸起构件应用于半导体衬底卡盘的方法，在使用时，每个构件用于将衬底与所述卡盘间隔开，所述方法包括以下步骤：i)提供一种组件，所述组件具有载体层、粘附于所述载体层的构件以及粘附于所述载体层的剥离层，使得所述构件被围在所述载体层与所述剥离层之间；ii)去除所述剥离层；以及iii)将所述构件粘附于卡盘。
衬底支撑构件及其应用方法

[发明专利]衬底背面纹理-CN201480050820.X有效
发明人：利奥尔·胡利;杰弗里·T·史密斯;卡洛斯·A·丰塞卡;安东·德维利耶;本雅门·M·拉特扎克 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2014-08-07 - 公布日： 2018-09-21 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：可以将半导体衬底的背面纹理化。接着可以对具有经纹理化的背面的半导体衬底进行光刻工艺。为了改善变形均匀性，并且可能地，提高套刻性能，可以将接触卡盘销的半导体衬底的背面表面纹理化，以产生由于在卡盘上的晶片滑动而导致的更均匀的晶片变形。将半导体衬底的背面纹理化，以产生较小的摩擦系数，这提高了在扫描仪夹持期间整个半导体衬底背面的滑动均匀性。
衬底背面纹理

[发明专利]具有陶瓷基板的多板式静电卡盘-CN201980014976.5在审
发明人：王峰;基思·加夫;克里斯托弗·金博尔 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2019-02-15 - 公布日： 2020-10-13 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：提供了一种用于衬底处理系统的静电卡盘。该静电卡盘包含：顶板，其被配置为静电夹持衬底并且由陶瓷形成；中间层，其被设置在所述顶板下方；以及基板，其被设置在所述中间层下方并且由陶瓷形成。
具有陶瓷板式静电卡盘

[发明专利]用于支撑衬底的单元和用于使用该单元来处理衬底的设备-CN201010624115.X有效
发明人：尹靑龙;金容锡;辛在爀;金光寿 -专利权人： AP系统股份有限公司
申请日： 2010-12-29 - 公布日： 2011-09-14 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明公开一种衬底支撑单元，其包含：静电卡盘单元，其经配置为可移动的并支撑衬底；以及连接部件，其一端连接到静电卡盘单元以向静电卡盘单元供应电力，连接部件经配置以根据静电卡盘单元的移动而灵活地改变形状。连接部件包含：柔性管，其经配置以界定内部空间；以及导电线，其插入至柔性管中且其一端连接到静电卡盘单元。由于导电线插入柔性管中，因此该连接部件的移动性增加。因此，连接到静电卡盘单元的连接部件的形状根据静电卡盘单元的上下移动或旋转而灵活地改变。因此，静电卡盘单元可顺畅地移动。另外，由于连接部件的形状是柔性的，因此可在无位置和区域限制的情况下安装该连接部件。
用于支撑衬底单元使用处理设备

[发明专利]控制衬底温度的方法和装置-CN200510116536.0无效
发明人：约翰·霍兰德;瑟多若斯·帕纳果泊洛斯 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2005-10-08 - 公布日： 2006-05-31 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供一种在处理期间控制衬底温度的底座组件和方法。在一个实施例中，底座组件包括耦合到金属基座的静电卡盘。静电卡盘包括至少一个卡盘电极，金属基座包括至少两个设置在其中的流体隔离的导管环。在另一实施例中，支撑衬底示静电卡盘。在另一实施例中，底座组件具有形成在基座和支撑构件之间的沟道，用于在材料层附近提供冷却气体以进一步控制在支撑构件和基座之间的传热，由此控制设置在支撑构件上的衬底的温度分布曲线。
控制衬底温度方法装置

[发明专利]静电卡盘用电极片以及静电卡盘-CN200680046107.3有效
发明人：藤泽博;宫下欣也 -专利权人：创意科技股份有限公司
申请日： 2006-11-30 - 公布日： 2008-12-17 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：提供一种静电卡盘用电极片以及静电卡盘，可以使存在与不存在衬底时的电极间的静电电容的差增大到用现有的衬底检测装置可以正确检测的程度，且可以发挥出色的静电卡盘吸附力。该静电卡盘用电极片，具有依次层叠第一绝缘层、第一电极层、电极间绝缘层、第二电极层以及第二绝缘层而成的层叠结构，且在第一绝缘层侧吸附衬底，第一电极层在预定的平面区域内具有多个开口部，第二电极层具有：位于把第一电极层的开口部在电极片深度方向上投影得到的位置上且具有与投影了的开口部大致相同面积的开口对应部
静电卡盘用电以及

[发明专利]显示面板的制备方法-CN202110812792.2在审
发明人：匡友元 -专利权人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2021-07-19 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种显示面板的制备方法；该制备方法通过在衬底基板的第一侧形成第一发光功能部，其次在衬底基板与第一侧相对的第二侧形成牺牲层，以及在牺牲层上设置卡盘，以使卡盘与牺牲层粘合，然后在第一发光功能部上形成第二发光功能部，最后将卡盘与衬底基板分离；上述显示面板的制备方法通过物理或者化学手段改变牺牲层的特性，使牺牲层与衬底基板脱离，避免了对衬底基板进行运载时采用等离子表面处理工艺而导致对显示面板的部分发光功能层产生损伤，
显示面板制备方法

[发明专利]用于静电卡盘的多层的接地机构和相关方法-CN202010722741.6在审
发明人： S·唐奈;J·莱辛斯基;陈俊泓;刘研 -专利权人：恩特格里斯公司
申请日： 2020-07-24 - 公布日： 2021-01-29 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本申请案涉及用于静电卡盘的多层的接地机构和相关方法。描述了用以在晶片处理期间紧固和支撑晶片衬底的多层静电卡盘和相关方法，其中所述卡盘包含接地结构，所述接地结构包含接地层和接地引脚。
用于静电卡盘多层接地机构相关方法

[发明专利]带有衬底背面清扫和散热的静电夹持基座-CN201980011311.9在审
发明人：帕特里克·布莱琳;蒂莫西·S·托马斯;拉梅什·钱德拉斯哈兰;文森特·布克哈特 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2019-01-28 - 公布日： 2020-09-15 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：一种静电衬底卡盘带有衬底背面清扫，以防止偶然的背面沉积，并提供散热，以防止或减轻密封件失效。
带有衬底背面清扫散热静电夹持基座

[发明专利]探测衬底的方法-CN99106653.7无效
发明人：道格拉斯·D·勒佛沃;拉里·詹姆斯·布思特斯 -专利权人：摩托罗拉公司
申请日： 1999-05-18 - 公布日： 1999-11-24 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：一种衬底探测方法,具有一个传感器的测量工具被放置在探测系统的卡盘上。传感器和探测系统内的表面之间的距离使用传感器来测量。表面是相对平坦的。传感器在测量期间保持远离表面的间隔。测量工具被从卡盘中去除。在去除测量工具之后衬底被放置在卡盘上并使用探测系统来探测。替代地,可以使用不只一个传感器。进一步,传感器可以集成到卡盘、交界面或测试头中,从而不需要一个独立的测量工具。
探测衬底方法

[发明专利]具有射频带输入的外围射频供给及对称的射频返回-CN201280057679.7有效
发明人：南尚基;拉金德尔·迪恩赛;阿列克谢·马拉赫塔诺夫 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2012-11-19 - 公布日： 2014-09-03 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：根据一个实施方式，提供了一种用于等离子体处理的卡盘组件。所述卡盘组件包括：静电卡盘，其在第一侧具有衬底支撑表面；设施板，其在与所述衬底支撑表面相反的第二侧连接到所述静电卡盘；外围射频供给件，其被配置为输送射频功率，所述外围射频供给件具有与所述设施板的外围接触的第一部分以及将所述外围射频供给件连接到射频源的射频带
具有射频输入外围供给对称返回

[发明专利]粘性卡盘和衬底贴合设备-CN200810127086.9有效
发明人：黄载锡 -专利权人：爱德牌工程有限公司
申请日： 2008-06-20 - 公布日： 2009-03-18 - 主分类号： G02F1/1341 文献下载
摘要：一种衬底贴合设备，包括：第一室，包括其上支承第一衬底的第一表面板；与所述第一室相分隔的第二室，包括其上支承将要贴合到所述第一衬底的第二衬底的第二表面板；设置在所述第一表面板上的粘性模块，包括保持所述第一衬底的多个粘性橡胶区域
粘性卡盘衬底贴合设备

[发明专利]等离子体处理室中的边缘环磨损的补偿的方法和装置-CN03822314.7有效
发明人：罗伯特·J·斯蒂格 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2003-09-16 - 公布日： 2005-10-12 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种用于在等离子体处理系统的等离子体处理室中处理多个衬底的方法。在处理期间，每个衬底都位于卡盘上且由边缘环围绕。该方法包括根据给定处理方案在等离子体处理室中处理多个衬底中的第一衬底。该方法进一步包括其后将沿着在等离子体处理室中的等离子体鞘层与卡盘之间穿过边缘环的电容通路的电容的电容值调节给定值。该方法还包括在调节之后，根据给定处理方案在离子体处理室中处理多个衬底中的第二衬底，其中执行的调节不需要更换边缘环。
等离子体处理中的边缘磨损补偿方法装置

[发明专利]具有缓冲能力的静电卡盘-CN201810390816.8在审
发明人：金炫进;朴乘范;金钟植 -专利权人：阿普罗技术公司
申请日： 2018-04-27 - 公布日： 2019-10-18 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明涉及具有优异的缓冲能力的静电卡盘，其能够防止衬底的损坏，因为由于PE(聚乙烯)泡沫材料的缓冲单元设置在聚酰亚胺材料的夹持单元的下方，缓冲能力和恢复力优异。静电卡盘包括用静电力支撑衬底的夹持单元；设置在夹持单元下方以支撑夹持单元的基板；以及由塑料泡沫系列材料制成的缓冲单元，所述缓冲单元设置在所述夹持单元和基板之间以防止由夹持单元支撑的衬底的损坏。
夹持单元缓冲单元缓冲能力静电卡盘衬底基板聚乙烯聚酰亚胺材料泡沫材料塑料泡沫系列材料恢复力静电力支撑夹支撑

[发明专利]SOI衬底的处理方法-CN202011462756.X有效
发明人：唐怡;蒙飞 -专利权人：华虹半导体（无锡）有限公司;上海华虹宏力半导体制造有限公司
申请日： 2020-12-14 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： H01L21/762 文献下载
摘要：本发明公开了一种SOI衬底的处理方法，包括步骤：步骤一、提供SOI衬底，底部半导体层的体掺杂浓度根据SOI器件工艺需求设置；步骤二、进行背面掺杂离子注入以增加底部半导体层背面的掺杂浓度，底部半导体层背面的掺杂浓度根据增加底部半导体层和静电卡盘的静电吸附力的要求设置本发明能很好的防止SOI衬底在具有静电卡盘的工艺腔产生掉片，从而能提高产品良率。
soi 衬底处理方法

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