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[发明专利]一种晶圆曝光前预对准高度调节的系统及其使用方法-CN202011154132.1有效
发明人：郑华明;徐晓敏;黄俊 -专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日： 2020-10-26 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本发明提供一种晶圆曝光前预对准高度调节的系统及其使用方法，设有激光位移传感器的预对准温控平台；激光位移传感器用于接收来自报错单元的报错信号并量测预对准温控平台与晶圆间的间距，将量测的数据发送至位移控制单元；位移控制单元用于接收激光位移传感器量测的数据，并发出调整预对准温控平台高度的指令至马达驱动单元；马达驱动单元，用于接收位移控制单元发出的指令并驱动预对准温控平台下降，使卡盘上的晶圆不受预对准温控平台的阻力而正常旋转本发明通过在预对准温控平台上安装激光位移传感器，当卡盘旋转产生阻力时可自动修正预对准温控平台的高度，然后再自动做晶圆预对准动作，解决了晶圆由于晶背沾污原因造成的机台宕机和返工。
一种曝光对准高度调节系统及其使用方法

[发明专利]一种钢轨胶接自动生产方法-CN201910608580.5在审
发明人：李琪;郭坤亮;施庆峰;高银霞;朱亮亮 -专利权人：中铁宝桥集团有限公司
申请日： 2019-07-08 - 公布日： 2019-08-27 - 主分类号： E01B29/42 文献下载
摘要：本发明涉及一种钢轨胶接自动生产方法，是将两根需要胶接的钢轨分别放置于钢轨胶接自动对准夹紧装置上进行侧向和轨顶夹紧定位，使两根钢轨轨头之间留一定间隙，然后利用自动测量装置检测钢轨的对准精度，待两根需要胶接的钢轨对准后，对两根钢轨进行横向挤紧，待消除两根钢轨轨头之间的间隙后，安装胶板、夹板和高强度螺栓，接着对高强螺栓进行禁锢，当检测高强螺栓力矩达到要求后，对两根钢轨胶接部位进行加热，加热结束后松开钢轨胶接自动对准夹紧装置，整个钢轨胶接自动生产完成。本发明构思合理，操作流程简单，能提高钢轨胶接自动生产工序的自动化水平，能有效降低钢轨胶接自动生产工序的劳动强度，改善作业环境，提高产品质量。
钢轨胶接自动生产钢轨轨头高强螺栓夹紧装置自动对准加热对准侧向自动测量装置高强度螺栓自动化水平夹板操作流程发明构思夹紧定位胶接部位作业环境轨顶挤紧检测胶板松开

[发明专利]推送对准系统及货物转运系统-CN201910410711.9在审
发明人：支涛;彭亮 -专利权人：北京云迹科技有限公司
申请日： 2019-05-16 - 公布日： 2019-08-16 - 主分类号： B65G1/04 文献下载
摘要：本申请涉及无人配送技术领域，尤其是涉及一种推送对准系统及货物转运系统，推送对准系统包括：自动转运件、装载机构、顶升机构以及定位组件；定位组件设置在自动转运件的开口处；装载机构被定位为面对自动转运件的开口，且装载机构能够朝向开口移动，用于向自动转运件内装载货物；装载机构上设置有扫描装置能够识别定位组件；顶升机构设置在装载机构的下方。本申请提供的推送对准系统，扫描装置能够对定位组件进行识别，进而判断自动转运件的开口的位置，从而调整装载机构的方位，使得装载机构存放货物的货舱舱口能够快速地与自动转运件的开口对准，使得装载机构能够与自转运件实现精准对接
装载机构转运件定位组件对准系统推送顶升机构货物转运扫描装置开口货舱存放货物工作效率开口对准开口移动装载货物舱口开口处配送申请转运货物

[发明专利]一种自动对准装置及方法-CN201911202729.6有效
发明人：徐娜;李光耀;周滔;靳丹宇 -专利权人：龙铁纵横（北京）轨道交通科技股份有限公司
申请日： 2019-11-29 - 公布日： 2021-03-09 - 主分类号： B23P19/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种自动对准装置，包括轴箱固定支撑挂架、拧紧轴固定转箱、轴箱伺服驱动电机，与所述轴箱固定支撑挂架相连接，可驱动所述拧紧轴固定转箱转动；拧紧轴轴箱实时摄像位置反馈模块，与所述轴箱固定支撑挂架相连接可拍摄置于所述滑轨下运动的轮对孔位图像；定位装置，与所述轴箱固定支撑挂架相连接；可采集所述轮对的位置信息，与拍摄的轮对孔位图像进行匹配，并控制轴箱伺服驱动电机动作，驱动所述拧紧轴固定转箱转动，实现拧紧轴固定转箱与轮对孔位的自动对准本发明还公开了一种自动对准方法。本发明的自动对准装置自动完成了对多个轮对的寻址和定位作业，实现了轮对拧紧自动化作业，节省了人力，提高了作业效率和精度。
一种自动对准装置方法

[发明专利]综合运输车自动对准装置和方法-CN201910706801.2在审
发明人：张剑;向小波;卢建旭 -专利权人：郴州远大住宅工业有限公司
申请日： 2019-08-01 - 公布日： 2019-12-20 - 主分类号： B65G35/00 文献下载
摘要：本发明涉及综合运输车自动对准装置和方法，包括第一感应部件，与工位架相对静止设置；第一感应单元，用于形成第一感应信号，从而确定综合运输车的位置；综合运输车从第一感应单元与第一感应部件的配合位置运行到与目标工位架的对准位置通过本发明的自动对准装置，可实现综合运输车小车横移轨道自动对准工位架轨道，从而节约人力，提高生产效率，提高设备的自动化程度。
运输车感应信号自动对准装置感应部件感应单元制动系统工位架制动控制信号对准位置横移轨道计算分析目标工位配合位置生产效率通信连接相对静止自动对准电连接小车自动化节约轨道

[实用新型]综合运输车自动对准装置-CN201921233632.7有效
发明人：张剑;向小波;卢建旭 -专利权人：郴州远大住宅工业有限公司
申请日： 2019-08-01 - 公布日： 2020-04-10 - 主分类号： B65G35/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及综合运输车自动对准装置，包括第一感应部件，与工位架相对静止设置；第一感应单元，用于形成第一感应信号，从而确定综合运输车的位置；综合运输车从第一感应单元与第一感应部件的配合位置运行到与目标工位架的对准位置通过本实用新型的自动对准装置，可实现综合运输车小车横移轨道自动对准工位架轨道，从而节约人力，提高生产效率，提高设备的自动化程度。
综合运输车自动对准装置

[发明专利]功率元件及其制造方法-CN202110973733.3在审
发明人：叶昱廷;罗国轩;黄建豪;陈巨峰;翁武得 -专利权人：立锜科技股份有限公司
申请日： 2021-08-24 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： H01L29/78 文献下载
摘要：功率元件包含：半导体层、阱区、本体区、栅极、源极与漏极、场氧化区以及自动对准漂移区。其中，场氧化区形成于半导体层的上表面上，且场氧化区介于栅极与漏极之间。场氧化区由化学机械研磨工艺步骤形成。自动对准漂移区形成于半导体层中，且自动对准漂移区完全位于并连接于场氧化区正下方。
功率元件及其制造方法

[发明专利]半导体器件及半导体器件的制备方法-CN202111264323.8在审
发明人：陈峤;梁一鸣 -专利权人：深圳赛意法微电子有限公司
申请日： 2022-01-29 - 公布日： 2022-02-25 - 主分类号： H01L23/544 文献下载
摘要：由第一对准件和第二对准件所构成的对准结构能够确保第二基板以及贴装在第二基板上的第二连接层与第二基板在水平方向，即在X、Y轴上实现精确对准，有效地改善第二基板在贴装过程中由于设备本身的误差而造成位置偏差的问题同时，对准凹部还设置有允许对准凸部自动滑落的第一区域，有利于器件在封装过程自动矫正偏差，进一步避免因材料层位置偏移而带来的质量问题。
半导体器件制备方法

[发明专利]一种调平及水平误差测试设备-CN201710580637.6有效
发明人：郑涛;王林;马浩亮;刘敏;郭鹏飞;司高潞;凌强;鲍立国 -专利权人：北京航天控制仪器研究所
申请日： 2017-07-17 - 公布日： 2020-05-08 - 主分类号： G01C15/00 文献下载
摘要：本发明是一种调平及水平误差测试设备，包括基座、花岗岩平板、调平瞄准装置、传动系统、电控箱，其中调平瞄准装置包括光电自准直仪、五棱镜、硅油盘、单轴激光对准器、支架，光电自准直仪用于平台调平误差的光学瞄准，五棱镜用于将光电自准直仪的测量光轴折转90°后对准平台基准六面体，硅油盘用于光电自准直仪的零位校正，单轴激光对准器用于自准直仪光轴的精确对准，支架用于光电自准直仪、五棱镜、硅油盘、单轴激光对准器的安装。本发明能实现光轴的自动对准，同时实现调平误差的自动测量，测试效率高，测试数据一致性好。
一种水平误差测试设备

[实用新型]分离式阵面、馈源自动展开对准装置-CN201020599483.9无效
发明人：向熠;瞿亦峰 -专利权人：中国电子科技集团公司第十四研究所
申请日： 2010-11-09 - 公布日： 2011-05-25 - 主分类号： G01S7/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种分离式阵面、馈源自动展开对准装置,包括发射转台、阵面自动展开机构、馈源自动展开机构，阵面自动展开机构和馈源自动展开机构位于发射转台内;通过阵面、馈源自动对准装置完成阵面、馈源的展开对准和撤收
分离式阵面馈源自动展开对准装置

[实用新型]自动对准的U盘装置-CN201521111439.8有效
发明人：周天驰;储善鹏;俞晓东;陈胜;谢辉 -专利权人：河海大学
申请日： 2015-12-29 - 公布日： 2016-06-08 - 主分类号： G06K19/077 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种自动对准的U盘装置，包括U盘和USB接口，USB接口与U盘的USB接头相互匹配，USB接头的尾端与U盘本体固定连接，U盘本体的外部套设有外壳，U盘本体与外壳之间安装有轴承，USB接头的前端具有第一磁铁，USB接头的前端具有第二磁铁，当USB接口与USB接头对准时，第一磁铁与第二磁铁相互吸引。本实用新型采用的磁性对准装置，可以在使用时自动对准，使用方便快捷。
自动对准装置

[发明专利]对准标记的检测方法、对准方法及蒸镀方法-CN201710548743.6有效
发明人：小林康信 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2017-07-07 - 公布日： 2020-09-04 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供一种对准标记的检测方法、对准方法及蒸镀方法，在检测工序中不能检测对准标记的情况下，使设有对准标记的基体自动地移动，由此能够不使装置停止而再次尝试对准标记的检测。该对准标记的检测方法包括：用于使用光学机构而检测基体上的对准标记的第一检测工序；在所述第一检测工序之后，基于该第一检测工序的判定结果而使所述基体移动的第一移动工序；以及用于使用所述光学机构而再次检测所述对准标记的第二检测工序
对准标记检测方法

[发明专利]用于自动化实验室系统的模块-CN202110596552.3在审
发明人： C·切鲁比尼;A·德雷克斯勒;R·许泽尔;I·海因策 -专利权人：豪夫迈·罗氏有限公司
申请日： 2021-05-28 - 公布日： 2021-12-03 - 主分类号： G01N35/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于自动化实验室系统(100)的模块(106)。所述模块(106)包括：模块连接件(120)，所述模块连接件配置为可释放地连接到所述自动化实验室系统(100)的部件(106,108)；检测器(146)，所述检测器至少配置为检测位于所述部件(106,108所述位置数据指示所述模块(106)的实际位置；处理器(156)，所述处理器配置为基于所述位置数据来计算所述模块(106)相对由所述部件(106,108)限定的目标位置的位置偏差，并且基于所述位置偏差来计算位置对准数据；以及对准装置(164)，所述对准装置配置为基于所述位置对准数据将所述模块(106)对准所述目标位置。此外，本发明公开了一种自动化实验室系统(100)和一种用于对准模块(106)的方法。
用于自动化实验室系统模块

[发明专利]光刻对位标记及其自适应设计方法、装置和对准方法-CN202210529078.7在审
发明人：赖强;张萌佳;郭东升 -专利权人：联合微电子中心有限责任公司
申请日： 2022-05-16 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种光刻对位标记及其自适应设计方法、装置和对准方法，自适应设计方法包括：基于预设的版图设计规则以及工艺需求进行分析，得到分析结果，分析结果至少包括以下一种或多种：图形形状、图形尺寸和图形密度对准方法包括：在TSV层版图上放置两组光刻对位标记，两组光刻对位标记沿Y轴镜像，一组用于正照光刻层自动对准，另一组用于键合后的背照光刻层自动对准。本发明基于预设版图设计规则及工艺需求，对光刻对位标记的图形形状、图形尺寸和图形密度进行自适应设计，解决了对位标记与特殊工艺不兼容的问题，并利用该光刻对位标记实现TSV工艺全自动对准，提高图形分辨率、对准精度及产量
光刻对位标记及其自适应设计方法装置对准

[发明专利]印刷机用CCD调节装置-CN201310310308.1有效
发明人：张世强;邴守东;李海彬 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十五研究所
申请日： 2013-07-23 - 公布日： 2013-11-20 - 主分类号： G01D11/30 文献下载
摘要：本发明印刷机用CCD调节装置的固定机架刚性高，安装其上的CCD调节装置不会发生微量抖动，与印刷品对准误差小。CCD调节装置的调节范围大，适应大面积自动对准印刷机的使用需要。锁紧机构对CCD部件以及相机锁紧效果好，相机对准精度高。本发明解决了大面积自动对准印刷机所需的高刚性结构下安装的CCD调节装置不抖动问题。用于自动对准印刷机，本发明既提高了相机的对准精度，又操作方便。
印刷机 ccd 调节装置

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