专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]离子轰击装置及真空镀膜生产线-CN202221100259.X有效
  • 张健宁;夏健全;吴洽 - 中山凯旋真空科技股份有限公司
  • 2022-05-09 - 2022-10-14 - H01J37/30
  • 本实用新型公开了一种离子轰击装置及真空镀膜生产线,其包括:壳体、轰击板、电连接器和绝缘结构,壳体内部设置有腔体;轰击板安装于所述腔体内,所述轰击板上设置有接线座;电连接器设置于所述壳体,所述腔体内设置有导线,所述接线座与所述电连接器通过所述导线电连接;绝缘结构设置于所述轰击板和所述壳体之间并能够对二者进行绝缘处理。轰击板相比于现有的轰击棒,在其平面一侧不仅拥有更大的有效轰击面积,并且可以直接确定轰击的方向,因此可以有效地提高原子离化的速度,并减少能量的逸散,进而大大提高镀膜的作业效率。
  • 离子轰击装置真空镀膜生产线
  • [发明专利]一种微波等离子渗镀硫工艺-CN201610315010.3有效
  • 张敬祎;高秀敏;黄富育 - 青岛普雷斯马微波科技有限公司
  • 2016-05-13 - 2018-03-23 - C23C8/38
  • 一种微波等离子渗镀硫工艺,包括以下步骤(1)、将工件放进炉内,抽真空,在真空度50Pa左右,开启离子轰击电源,起弧放电清洗工件表面;(2)、输入硫化氢至真空度60Pa,高压轰击工件1.5~2小时;全过程控制工件温度不超过180℃;(3)、停止高压轰击;开启三相轰击电源,送入氩气,溅射铁靶,制造大量铁离子;(4)、真空度控制在101Pa,开启微波电源,送入微波,适量增加硫化氢的供应量;(5)、开启负偏压电源,送上‑50V的负偏压以吸收铁离子,形成硫化铁薄膜;(6)、沉积过程中温控在180℃以下,沉积2~3小时;停止微波和输入的气体,停电停炉,工艺完成。
  • 一种微波等离子渗镀硫工艺
  • [发明专利]一种微孔镀膜装置及镀膜方法-CN202210890285.5有效
  • 田修波;郑礼清 - 松山湖材料实验室
  • 2022-07-27 - 2023-09-05 - C23C14/35
  • 本申请提供一种微孔镀膜装置及镀膜方法,涉及镀膜领域,该微孔镀膜装置通过高功率脉冲磁控技术产生超高密度等离子体离化金属靶材,获得高离化率的等离子体,通过在工件前端放置金属栅网用以产生等离子体鞘层吸引金属离子轰击工件金属靶材溅射气压在0.1Pa以下,以减少金属离子运动过程和气体分子的碰撞而损失能量。产生的高能金属离子先沉积在工件侧壁及孔内壁靠近孔口处,随着高能金属离子持续的轰击,把孔口及内壁处的首次沉积的粒子轰击形成二次溅射粒子,二次溅射粒子向孔内壁延伸,并最终沉积在孔内壁。同时高能金属离子在碰撞中也会在孔内壁进行反射并向内孔壁延伸,完成微深孔内壁的完全覆盖。
  • 一种微孔镀膜装置方法
  • [发明专利]一种精确减薄并获得高质量少层或单层石墨烯的方法-CN201610271903.2在审
  • 肖少庆;沈钢;顾晓峰;戴晓峰 - 江南大学
  • 2016-04-28 - 2016-07-20 - C01B31/04
  • 本发明涉及一种精确减薄并获得高质量少层或单层石墨烯的方法,其特征在于首先利用低压低密度氩气等离子体对石墨烯刻蚀,使得层状石墨烯被精确、均匀、有效地刻蚀掉,最终达到少层或单层,然后在管式炉中对其进行退火,本发明利用惰性的低密度低压氩气等离子体产生的离子轰击效应对石墨烯外层进行物理刻蚀,不引入任何杂质,刻蚀掉的石墨粉末随气体排出,只留下纯净均匀的石墨烯,由离子轰击效应引起的缺陷可由高温退火修复从而获得高质量的少层或单层石墨烯该方法重复性好,可控性强,能通过调节等离子体功率来调节刻蚀速率,适合大规模生产大面积高质量的少层或单层石墨烯。其应用领域包括制备石墨烯纳米结构及石墨烯电子器件等。
  • 一种精确获得质量单层石墨方法
  • [发明专利]改善金刚石表面光洁度的反应轰击方法-CN03105134.0无效
  • 韩勇;李钒;熊明 - 中国地质大学(北京)
  • 2003-03-05 - 2004-09-08 - B24B9/16
  • 本发明属于离子束加工的领域,特别涉及改善金刚石表面光洁度的反应轰击方法。采用高能离子轰击金刚石表面,气体为氧气或氩气和氧气。高能离子与金刚石表面原子发生碰撞与反应、金刚石表面原子能量增大到高于该原子的逸出功时,便飞离其表面,这样就使金刚石表面不断失去原子,其利用的是碰撞与化学反应双重作用,而不仅仅是机械冲刷作用,大大提高抛光的速度本发明特点是利用离子轰击与化学反应进行抛光,提高金刚石表面光洁度,使金刚石表面亮度增强。
  • 改善金刚石表面光洁度反应轰击方法
  • [发明专利]一种真空磁控手机后壳镀膜工艺-CN202011557266.8在审
  • 罗伟;张汐 - 苏州市三同电子科技有限公司
  • 2020-12-25 - 2021-04-02 - C23C14/35
  • 本发明公开了一种真空磁控手机后壳镀膜工艺,包括以下步骤:S1、对手机后壳进行清洗;S2、将手机后壳加热烘干;S3、将手机后壳移动至真空室内;S4、通过离子轰击将靶材上的氧化膜去除;S5、对手机后壳进行溅射镀膜对氩气的流量进行监控;S7、对手机后壳的表面进行检验;S8、将手机壳进行包装,本发明通过质谱设备对真空室内的气体环境进行检测,使得便于对真空室内氩气的流量进行实时控制,提高对手机后壳的镀膜效果,同时对靶材进行离子轰击
  • 一种真空手机镀膜工艺

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