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[发明专利]基片位置异常的检测方法与检测装置-CN202211050416.5在审
发明人：吴标平;聂鹏;吴洽;彭中业 -专利权人：中山凯旋真空科技股份有限公司
申请日： 2022-08-29 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本公开提供了一种基片位置异常的检测方法与检测装置，该检测方法包括：设定基片正常位置的各个极限位置，计算正常位置的轮廓范围，生成正常范围轮廓边缘图像；获取待测基片的图像；根据待测基片的图像确定待测基片的轮廓；通过位置异常判别算法判断当前待测基片的轮廓是否处于预设目标区域内；若判断待测基片的轮廓处于预设目标区域内，则判断当前待测基片的位置处于正常状态；若判断待测基片的轮廓未处于预设目标区域内，则判断当前待测基片的位置处于异常状态，并发送告警信息。通过获取待测基片的轮廓来判断待测基片的位置是否发生异常，能够极大提高基片位置的检测精度和准确性，进而避免了因基片放置错误而导致设备损坏情况的产生。
位置异常检测方法装置

[发明专利]机械手位置异常的检测方法与检测装置-CN202211042051.1在审
发明人：吴标平;吴洽;聂鹏 -专利权人：中山凯旋真空科技股份有限公司
申请日： 2022-08-29 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本公开实施例提供了一种机械手位置异常的检测方法与检测装置，该检测方法包括：获取机械手在检测位置时的标准图像；获取机械手重新移动至所述检测位置后的检测图像；判断所述标准图像中预设特征的位置与所述检测图像中所述预设特征的位置之间偏差是否在预设范围内；若不在所述预设范围内，则判断所述机械手重新移动至所述检测位置后的位置异常。本公开提供的机械手位置异常的检测方法，能够通过视觉检测方式识别机械手的状态是否异常。
机械手位置异常检测方法装置

[发明专利]转架位置异常的检测方法与检测装置-CN202211042552.X在审
发明人：吴标平;吴洽;聂鹏 -专利权人：中山凯旋真空科技股份有限公司
申请日： 2022-08-29 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： G01N21/84 文献下载
摘要：本公开实施例提供了一种转架位置异常的检测方法与检测装置，该检测方法包括：获取转架在检测位置时的图像；从所述图像中提取所述转架的第一特征线；从所述图像中提取机械手的第二特征线；确定所述第一特征线和第二特征线的夹角，并判断所述夹角是否大于等于预设夹角；若所述夹角大于所述预设夹角，则判断所述转架的位置异常。本公开提供的转架位置异常的检测方法，能够检测转架的状态是否异常。
位置异常检测方法装置

[实用新型]加热装置及真空镀膜机-CN202221099452.6有效
发明人：张健宁;夏健全;吴洽 -专利权人：中山凯旋真空科技股份有限公司
申请日： 2022-05-09 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种加热装置及真空镀膜机，其包括：真空仓、加热机构和电连接器；加热机构包括设置于真空仓内的固定座和电发热件，固定座连接于真空仓的内壁，电发热件安装于固定座；电连接器设置于真空仓的外壁，电连接器与真空室连通，电连接器与电发热件电连接，电连接器和真空仓的外壁之间设置有密封结构。电发热件整体均安装于真空仓内，并利用设置于真空仓外壁的电连接器实现与外部的电连接。由于电发热器完全设置于真空仓内，并且电连接器与真空仓之间通过密封结构进行密封，因此无需对电发热器的端部进行密封处理，进而得以使得对电发热件的固定和连接处理变得更加顺利、简便。
加热装置真空镀膜

[发明专利]基片位置异常的检测方法与检测装置-CN202211042514.4在审
发明人：吴标平;吴洽;聂鹏 -专利权人：中山凯旋真空科技股份有限公司
申请日： 2022-08-29 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本公开实施例提供了一种基片位置异常的检测方法与检测装置，该检测方法包括：获取基片分别位于机械手和转架上时的标准图像；获取基片重新分别位于机械手或转架上时的检测图像；判断所述标准图像中预设特征的位置与所述检测图像中所述预设特征的位置之间偏差是否在预设范围内；若不在所述预设范围内，则判断所述基片重新位于机械手或转架上的位置异常。本公开提供的基片位置异常的检测方法，能够通过视觉检测方式识别基片位置是否异常。
位置异常检测方法装置

[实用新型]离子轰击装置及真空镀膜生产线-CN202221100259.X有效
发明人：张健宁;夏健全;吴洽 -专利权人：中山凯旋真空科技股份有限公司
申请日： 2022-05-09 - 公布日： 2022-10-14 - 主分类号： H01J37/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种离子轰击装置及真空镀膜生产线，其包括：壳体、轰击板、电连接器和绝缘结构，壳体内部设置有腔体；轰击板安装于所述腔体内，所述轰击板上设置有接线座；电连接器设置于所述壳体，所述腔体内设置有导线，所述接线座与所述电连接器通过所述导线电连接；绝缘结构设置于所述轰击板和所述壳体之间并能够对二者进行绝缘处理。轰击板相比于现有的轰击棒，在其平面一侧不仅拥有更大的有效轰击面积，并且可以直接确定轰击的方向，因此可以有效地提高原子离化的速度，并减少能量的逸散，进而大大提高镀膜的作业效率。
离子轰击装置真空镀膜生产线

[发明专利]转架及具有其的镀膜设备-CN201911180983.0有效
发明人：吴洽;聂鹏;黄志云;阮利平 -专利权人：中山凯旋真空科技股份有限公司
申请日： 2019-11-27 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本公开涉及镀膜技术领域，提出了一种转架及具有其的镀膜设备。转架包括第一转盘、第二转盘、转动杆、第一驱动组件以及第二驱动组件，第一转盘与第二转盘相对设置，且同步可转动地设置；转动杆穿设在第一转盘与第二转盘上，且相对于第一转盘与第二转盘可转动地设置；第一驱动组件与第一转盘驱动连接，以驱动第一转盘、第二转盘以及转动杆绕第一轴线同步转动；第二驱动组件与转动杆驱动连接，以驱动转动杆绕第二轴线转动。通过转动杆的公转和自转，以及第一转盘和第二转盘的转动，可以适应不同产品在镀膜过程中对转动过程的要求，以此保证产品的镀膜效果。
具有镀膜设备

[实用新型]晶圆托架及具有其的晶圆镀膜机-CN202121357436.8有效
发明人：张健宁;李永胜;吴洽;田耕涛 -专利权人：中山凯旋真空科技股份有限公司
申请日： 2021-06-11 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型涉及镀膜机技术领域，提出了一种晶圆托架及具有其的晶圆镀膜机。晶圆托架包括：主体，主体具有容纳空间；转盘平台，转盘平台位于容纳空间内，转盘平台上设置有多个通孔；多个晶圆承载盘，晶圆承载盘设置在转盘平台上，晶圆承载盘的至少部分位于通孔内，且晶圆承载盘相对于通孔可转动地设置；驱动机构以及传动机构，驱动机构通过传动机构与转盘平台以及晶圆承载盘均驱动连接，以驱动转盘平台绕第一轴线转动，各个晶圆承载盘绕第一轴线转动的同时绕相应的第二轴线转动，即转盘平台带动各个晶圆承载盘绕第一轴线公转的同时绕着第二轴线进行自转，以此保证晶圆承载盘上的晶圆所镀膜层更均匀，且提高了镀膜良率。
托架具有镀膜

[实用新型]螺栓真空镀膜用夹具-CN202121624625.7有效
发明人：田耕涛;黄志云;张建宁;吴洽 -专利权人：中山凯旋真空科技股份有限公司
申请日： 2021-07-16 - 公布日： 2022-01-04 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种螺栓真空镀膜用夹具，包括转动架、支撑板、以及限位组件；转动架能够绕自身的轴线转动，并相对溅射靶设置；支撑板固定在转动架上；限位组件用于限位螺栓；限位组件设置在支撑板上，并能够沿靠近和背离溅射靶的方向固定于支撑板上的不同位置。将螺栓限位于限位组件上后，转动架转到预设位置，使得螺栓在预设位置和溅射靶相对应，以用于螺栓的后序真空镀膜。限位组件够沿靠近和背离溅射靶的方向固定于支撑板上的不同位置，从而能够调节限位组件上的螺栓和溅射靶之间距离，提高镀膜的效果。
螺栓真空镀膜夹具

[实用新型]真空尾气处理装置-CN202121310244.1有效
发明人：田耕涛;吴洽;黄志云 -专利权人：中山凯旋真空科技股份有限公司
申请日： 2021-06-11 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： B01D53/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及工业尾气处理技术领域，提供一种真空尾气处理装置。所述真空尾气处理装置包括：冷却腔室，所述冷却腔室内设有冷却盘管；可视筒体，设于所述冷却腔室的下方，所述可视筒体通过密封法兰与所述冷却腔室连接；储液罐，设于所述可视筒体的下方，所述储液罐通过阀门与所述可视筒体连接；以及液位计，与所述储液罐连通。本实用新型能够实现真空尾气经冷凝处理被收集，减少环境污染，增进环保效益，并通过可视筒体观察冷凝液体，清晰方便，还通过与储液罐连通的液位计显示液位情况，整个装置结构轻型，加工简单，安装方便，节省成本，可以进行批量制作。
真空尾气处理装置

[实用新型]定位结构-CN202121321739.4有效
发明人：黄志云;吴洽;王松沛 -专利权人：中山凯旋真空科技股份有限公司
申请日： 2021-06-11 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： B65G1/04 文献下载
摘要：本实用新型公开一种定位结构，用于定位可相对移动的第一物体和第二物体，定位结构包括活动件、固定件和球头柱塞。活动件连接于第一物体，并能够随动于第一物体；活动件具有抵压面，抵压面凹设有定位凹槽；固定件连接于第二物体；球头柱塞包括本体和可伸缩地容置于本体的球头，本体连接于固定件，当球头受到抵压面抵压，能够缩回本体；其中，当第一物体相对于第二物体移动至预定位置时，球头卡入定位凹槽内，以定位第一物体和第二物体。
定位结构

[实用新型]滤光片-CN202121322044.8有效
发明人：章艺锋;聂鹏;吴标平;吴洽;陈进文 -专利权人：中山凯旋真空科技股份有限公司
申请日： 2021-06-11 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： G02B5/28 文献下载
摘要：本实用新型涉及光学技术领域，提出了一种滤光片，包括：透明基底，透明基底包括相对的第一表面和第二表面；透明导电薄膜，透明导电薄膜设置在第一表面上；滤光膜，滤光膜设置在透明导电薄膜上；减反射增透膜，减反射增透膜设置在第二表面上。透明导电薄膜可以起到电磁信号屏蔽作用，且对红外波段透过率无较大影响。减反射增透膜可以使得第二表面在可见光区域做减反射，滤光片使用在车载等项目上起到防炫目功能，对对面车辆驾驶人员或者路人起到不刺眼，不炫目作用，增强安全系数。
滤光

[发明专利]旋转驱动机构及平面阴极装置-CN202110929695.1在审
发明人：胡双丽;黄志云;田耕涛;张健宁;吴洽 -专利权人：中山凯旋真空科技股份有限公司
申请日： 2021-08-13 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开了旋转驱动机构及具有该旋转驱动机构的平面阴极装置，旋转驱动机构包括机架；连接组件，转动设于机架，用于固连平面阴极，具有进流通道和回流通道，进流通道和回流通道分别连通平面阴极的内部流道的两端；通水套，具有能够与进流通道保持连通的进液腔和与回流通道保持连通的排液腔；旋转驱动器，用于驱动连接组件转动以使平面阴极翻转；当旋转驱动器驱使连接组件时，用于冷却的液体依次经过进液腔、进流通道、平面阴极的内部流道、回流通道和排液腔，实现了平移阴极转动的同时保持冷却回路连通，无需配置挡板即可阻止平面阴极上的靶材遭受污染，提高真空腔室的空间利用率，提高靶基距设计的自由度，保障镀膜的均匀性。
旋转驱动机构平面阴极装置

[发明专利]夹具及具有其的镀膜设备-CN201911050398.9有效
发明人：吴洽;聂鹏;高峰;黄志云 -专利权人：中山凯旋真空科技股份有限公司
申请日： 2019-10-31 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本公开涉及镀膜技术领域，尤其涉及一种夹具及具有其的镀膜设备，夹具包括本体部、压条以及第一限位板；压条设置在本体部上，压条为多个，相邻两个压条与本体部之间形成用于夹设工件的容纳空间，容纳空间的至少部分位于压条的下方；第一限位板设置在本体部上，且位于相邻两个压条的端部，以限制工件从容纳空间的一端滑出；其中，相邻两个压条中的至少一个可移动地设置，以调节容纳空间的大小。由于相邻两个压条中的至少一个可移动地设置，即容纳空间可以适应不同大小的工件，从而实现了对多尺寸工件的放置。
夹具具有镀膜设备

[实用新型]螺旋输送机和真空浇注设备-CN201822216924.1有效
发明人：梁伟文;井峰;邝光照;吴洽 -专利权人：中山凯旋真空科技股份有限公司
申请日： 2018-12-27 - 公布日： 2019-09-13 - 主分类号： B65G33/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及浇注设备技术领域，提出一种螺旋输送机和真空浇注设备。该螺旋输送机包括套筒、转轴、第一密封支撑部以及第二密封支撑部；套筒上间隔设置有进料口和出料口；转轴设于套筒内，转轴具有相对设置的第一端和第二端，转轴上设置有第一旋转叶片和第二旋转叶片，第一旋转叶片和第二旋转叶片的旋转方向相反，第一旋转叶片和第二旋转叶片位于出料口的两侧；第一密封支撑部用于支撑并密封转轴的第一端；第二密封支撑部用于支撑并密封转轴的第二端。使用该螺旋输送机不会出现填料堆积或堵塞，不必停止工作进行维修，不会耽误工作时间。螺旋输送机可以将填料输送到较高的高度，而不必修建三层平台或四层钢架平台，降低成本。
旋转叶片螺旋输送机密封支撑部转轴套筒真空浇注设备密封转轴出料口第一端旋转方向相反本实用新型钢架平台间隔设置浇注设备填料输送相对设置进料口三层支撑堆积堵塞维修修建

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