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[发明专利]一种DLC涂层、其制备方法及设备及复合涂层、涂覆制品-CN202210395178.5在审
发明人：宗坚 -专利权人：江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司
申请日： 2022-04-15 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： C23C16/26 文献下载
摘要：本发明具体实施方式提供一种DLC涂层、其制备方法及设备及复合涂层、涂覆制品，所述DLC涂层为由碳氢单体和硅烷单体以PECVD方法沉积，可在室温下反应沉积形成涂层，有效避免了常规镀膜方式下较高温度对基材性能的影响，进一步，本发明具体实施方式的形成的DLC涂层具有低色差、高透明和高结合强度的特性，并且其制备方法简单，有利于工艺生产，更进一步，在所述DLC涂层沉积AF涂层所获得的复合涂层具有低色差、高透明以及更加耐刮擦的特性，特别适用于触控面板等涂覆制品。
一种 dlc 涂层制备方法设备复合制品

[发明专利]一种晶圆级、高质量的氮化硼/石墨烯异质结薄膜的制备方法-CN202011087287.8有效
发明人：胡平安;杨慧慧;谭必英;张士超;苏震;刘得昌;汪礼丽 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2020-10-12 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： C23C16/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆级、高质量的氮化硼/石墨烯异质结薄膜的制备方法；它的制备方法为：步骤一：通过表面催化生长方法，在金属表面制备出连续的六方氮化硼薄膜；步骤二：通过等离子体刻蚀技术，将金属箔片一侧表面处的六方氮化硼薄膜除去；步骤三：将该金属箔片折叠为袋状进行密封；步骤四：将该金属袋置于管式炉中，升高到一定温度并通入高浓度含碳气体，实现碳原子由外表面向内表面的扩散，并在降温过程中析出，在金属与六方氮化硼界面处生成石墨烯；步骤五：将该金属袋剪开并水平铺开，转移至目标衬底表面，即可得到六方氮化硼/石墨烯垂直异质结薄膜。本发明的制备工艺适用性高，工艺参数窗口较宽；相比传统通过外延或扩散方式来制备异质结的方法，本方法有效避免原子间的掺杂现象，同时可获得晶圆级，高质量的垂直氮化硼/石墨烯异质结薄膜。
一种晶圆级质量氮化石墨烯异质结薄膜制备方法

[发明专利]一种提高负极材料电化学性能的化学气相沉积设备-CN202310897239.2在审
发明人：李敏锋;杨宇乐;姜志忠 -专利权人：浙江维思通新材料有限公司
申请日： 2023-07-21 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： C23C16/26 文献下载
摘要：本发明涉及气相沉积设备技术领域，具体涉及一种提高负极材料电化学性能的化学气相沉积设备，包括反应箱，所述反应箱的顶端设置有盖板，所述盖板的上方设置有储料箱，所述储料箱的底端固定安装有连通管，所述连通管穿过所述盖板，并与所述反应箱连通，所述反应箱的一侧设置有气体混合器，所述气体混合器的输出端固定安装有进气管，所述进气管与所述气体混合器连通，所述进气管的侧端固定安装有控制阀，所述反应箱的一侧固定安装有加热器，所述反应箱位于所述加热器的上方固定安装有温度控制器。本发明所述的一种提高负极材料电化学性能的化学气相沉积设备，连接性强，便于对排出热气进行利用，节约资源，提高负极材料电化学性能。
一种提高负极材料电化学性能化学沉积设备

[发明专利]一种平整堆垛转移二维材料的方法-CN202210683738.7在审
发明人：高力波;袁国文;刘伟林;郑航;姚冰 -专利权人：南京大学
申请日： 2022-06-16 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： C23C16/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种平整堆垛转移二维材料的方法，本发明首先通过旋转和加热辅助相结合，再调控转移溶液对二维材料的浸润性，实现了晶圆级的二维材料到目标衬底上的无损、超平整的转移。同时，在实现单次转移超平整二维材料的基础上，重复上述的转移步骤，实现堆垛转移出了晶圆级、超平整的双层、多层的二维材料范德华同质和异质结构。本发明涉及的针对二维材料的平整堆垛转移技术操作简单，对规模化转移并获得晶圆级、高质量的二维材料范德华异质结提供了一种简单、有效的制备方案。此外，制备出的晶圆级、超平整的范德华同质和异质结构，也将对实现二维材料的新功能、新原理探索以及加快未来功能应用、推动社会进步，奠定材料制备技术上的支持。
一种平整堆垛转移二维材料方法

[发明专利]用于确定临近催化化学气相沉积中催化剂的热形变的装置和方法-CN201711295337.X有效
发明人：郭国平;杨晖;李海欧;曹刚;郭光灿 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2017-12-08 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C23C16/26 文献下载
摘要：本申请提供用于确定临近催化化学气相沉积中催化剂的热变形的装置及方法，所述装置包括：在竖直方向上设置的上下加热器；用于控制它们升降的电机；设置在下加热器表面上的用于安放基底的样品台；在样品台和上加热器之间的水平导轨；在水平导轨上的用于安放催化剂的载板，所述载板和样品台之间是用于临近催化化学气相沉积的反应区；设置在样品台与载板之间的光栅尺；用于检测催化剂是否与基底接触的短路检测装置和用于控制样品台升降的控制装置，其中上下加热器用于对反应区提供适合二维材料生长的温度。通过利用本发明的装置和方法，可以确定和判断催化剂在不同温度下随时间的热形变量，解决催化剂在高温下的形变对生长所导致的问题。
用于确定临近催化化学沉积催化剂形变装置方法

[发明专利]一种石墨烯复合薄膜制备装置及其制备方法-CN202310839144.5在审
发明人：陶勇 -专利权人：陶勇
申请日： 2023-07-10 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： C23C16/26 文献下载
摘要：本发明涉及一种石墨烯复合薄膜制备装置及其制备方法，包括机体、炉管、存取口、存取平台板、密封堵块、圆弧延伸板、定位滑槽、弹性基底片、金属基底膜和滑动锚块，采用上述圆弧延伸板和弹性基底片结构，实现通过在弹性基底片表面贴附金属基底膜，为石墨烯薄膜的生长提供金属基质，利用圆弧延伸板与密封堵块将弹性基底片挤压弯曲，实现将大面积的弹性基底片通过存取口实现从侧面放入炉管内，便于弹性基底片的存取替换的同时，有利于大面积的石墨烯薄膜的制备，有效提高石墨烯薄膜的制备效率。
一种石墨复合薄膜制备装置及其方法

[发明专利]一种大面积DLC镀层均匀沉积方法-CN202310782435.5在审
发明人：苏东艺 -专利权人：广州今泰科技股份有限公司
申请日： 2023-06-29 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： C23C16/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种大面积DLC镀层均匀沉积方法，制膜过程中其镀件采用如下装挂方式：四片衬板围成空心方笼，且在相邻两衬板的直角连接处留设开口，使用时两镀件待镀面相对地分装在对设的一组衬板上，衬板四周超出镀件，超出部分与镀件的待镀面取平，模拟待镀面向外延伸；制膜过程中的负偏压施加于衬板和镀件上，使空心方笼周身四个方向都产生辉光放电，通过放电量叠加形成空心阴极放电效应镀膜区，采用电磁场增强PECVD法，借助空心阴极放电效应技术，制得符合静电耗散表面电阻值的掺Si类金刚石保护膜。本发明提供了一种均匀沉积指定静电耗散级电阻率值的大面积DLC镀层的方法，有利于拓展DLC在半导体封装领域大尺寸平面工件上的应用。
一种大面积 dlc 镀层均匀沉积方法

[发明专利]一种基于垂直定向多壁碳纳米管阵列的分步间歇镀锂的方法-CN202211031157.1有效
发明人：埃泽尔·马丁·阿金诺古;何国宝;陈瑞婷;王新;周国富 -专利权人：肇庆市华师大光电产业研究院
申请日： 2022-08-26 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： C23C16/26 文献下载
摘要：本发明属于锂金属电池技术领域，具体公开了一种基于垂直定向多壁碳纳米管阵列的分步间歇镀锂的方法。包括步骤：S1、基片的预处理；S2、将缓冲层和催化剂层添加到步骤S1处理好的基片上；S3、在步骤S2的基片上生长垂直定向多壁碳纳米管阵列；S4、利用步骤S3长有垂直定向多壁碳纳米管阵列的样品作为工作电极组装电化学电池；S5、采用分步间歇电镀方法，使用步骤S4组装的电池在工作电极上进行电化学镀锂。本发明单步电镀时长，电镀电流密度，总电镀时长，单步间歇时长均可调控，可实现与CNTs为同轴结构的金属均匀沉积，增强VA‑MWCNTs的强度和稳定性，在电化学电镀和锂金属电池等领域有巨大应用潜力。
一种基于垂直定向多壁碳纳米阵列分步间歇方法

[发明专利]一种温度梯度法快速沉积制备致密飞机刹车盘的方法-CN202310835118.5在审
发明人：高晓堂;胡亚斌;曹俊英;刘锦成;袁宇杰 -专利权人：洛阳八佳电气科技股份有限公司
申请日： 2023-07-10 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： C23C16/26 文献下载
摘要：一种温度梯度法快速沉积制备致密飞机刹车盘的方法，涉及飞机刹车盘的制备领域，具体操作步骤包括：S1、依据待致密预制体工件形状与尺寸，计算设计芯模；S2、按照发热功率选择相应电阻率的石墨材料，将设计好的芯模在加工中心加工成型；S3、固定预制体工件；S4、将多个装有预制体工件的芯模堆叠安装后装入沉积炉；S5、对沉积炉内依次抽真空、通入充惰性气体至微正压、通入碳氢气体与氩气混合气体进行渗碳沉积、控制沉积温度、降温至工艺结束；S6、取出沉积后的装有预制体工件的芯模，进行脱模；本发明通过设计的芯模，既作为发热体又作为承载预制体工件的载体，即将预制体工件放置在发热体径向温度梯度中，实现短时间内获得高密度的致密效果。
一种温度梯度快速沉积制备致密飞机刹车方法

[发明专利]金属基材碳纳米膜材料制造设备及其制备方法-CN202010934100.7有效
发明人：王亚普;刘铁林;高硕;欧阳光友;田霆;王海涛;刘红涛;李来喜;赵建泽;繆建峰;黎明;孙福亭 -专利权人：河北美普兰地环保科技有限公司
申请日： 2020-09-08 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： C23C16/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种金属基材碳纳米膜材料制造设备包括真空反应炉、高频电源、供气装置以及抽真空装置，同时还公开基于上述设备的金属基材碳纳米膜制备方法，利用碳元素化学气相沉积法及碳元素磁控溅射法在金属基材表面生成一层具有SP2和SP3杂化混合结构碳纳米膜，此种金属基材碳纳米膜材料在光照和施加电场时对水分子有强催化作用，此外此种碳纳米膜具有优良的导电、防腐、抑菌等特性，此种金属基材碳纳米膜材料在污水治理、水处理、大气治理、表面防腐、保健医疗等领域均有广泛的应用前景。
金属基材纳米材料制造设备及其制备方法

[发明专利]基于铝镍金属层的不连续碳膜制备及呼吸传感器应用-CN202111382587.3有效
发明人：高坤元;刘玲玲;聂祚仁;黄晖;吴晓蓝;魏午;文胜平;荣莉 -专利权人：北京工业大学
申请日： 2021-11-19 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： C23C16/26 文献下载
摘要：基于铝镍金属层的不连续碳膜制备及呼吸传感器应用，属于碳膜制备技术领域。在该碳膜制备过程中，首先通过磁控溅射的方法在硅基衬底表面溅射不同组分的铝镍金属层，铝的加入钝化了部分镍催化活性位点，使得通过CVD法生长后得到具有不连续结构的碳膜；然后采用湿法腐蚀的方法除去硅基衬底上的铝镍催化金属层，得到直接落在衬底上的不连续碳膜。通过蒸发钛金电极进行导电性测试发现，该碳膜对呼吸具有较灵敏的响应性，表现为受到呼吸等外界湿度变化时该器件由不导电状态变为导电状态，且具有较好的响应灵敏性，可以用于开发制备可穿戴、高灵敏度、低功耗的呼吸监测装置。
基于金属连续制备呼吸传感器应用

[发明专利]核电厂阀杆的涂层结构和阀杆及其制备方法-CN202210279438.2在审
发明人：柏广海;耿建桥;张晏玮;梅金娜;杭玉桦;韩姚磊;季骅;朱金辉;王文奋 -专利权人：苏州热工研究院有限公司;广东核电合营有限公司;中国广核集团有限公司;中国广核电力股份有限公司
申请日： 2022-03-21 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： C23C16/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种核电厂阀杆的涂层结构和阀杆及其制备方法，所述涂层结构包括由内向外依次设置的过渡层和无氢类金刚石层，所述过渡层的微观结构为纳米孪晶，所述涂层结构均匀地覆盖在所述阀杆表面。所述制备方法包括如下步骤：清洗阀杆后对阀杆进行等离子体表面活化，依次沉积过渡层和无氢类金刚石层，得到所述阀杆。本发明的核电厂阀杆的涂层结构和阀杆及其制备方法，有效提高阀杆表面的硬度，降低了阀杆的摩擦损失，使其抗耐磨性好，摩擦系数减小，提升了作业效率，进而提升阀杆的使用寿命，能够满足高温高压水环境下对阀杆抗冲击韧性、耐腐蚀性、抗磨损性能的技术性能要求，有效降低生产成本。
核电厂涂层结构及其制备方法

[发明专利]基于浮动催化CVD的CNT薄膜及制备方法-CN202310807294.8在审
发明人：潘建新;张陆贤 -专利权人：广德天运新技术股份有限公司
申请日： 2023-07-04 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： C23C16/26 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于浮动催化CVD的CNT薄膜及制备方法，浮动催化CVD的CNT薄膜包括有：CNT薄膜基体，CNT薄膜基体的外表面贴附设置有纳米金属薄膜，纳米金属薄膜的外表面层状过渡金属硫族化合物薄膜；在厚度方向的低维化所带来的尺度效应，赋予其极佳的柔性变形性能，通过充分优化沉积工艺条件，调控薄膜材料的成分和显微组织结构，使其具有最佳的电学性能和柔性变形性能，行双面沉积过渡金属硫族化合物薄膜，使复合材料在微观上具有极佳的阻滞裂纹扩展的能力，因而提高了其抗弯折疲劳性能；同时，CNT薄膜在微观上形成了高导电通道，大大提高了复合薄膜材料的电导率，通过超快焦耳热相应实现CNT薄膜表面镀纳米金属膜获得应用范围更广效果更好的CNT薄膜。
基于浮动催化 cvd cnt 薄膜制备方法

[发明专利]基于CNT薄膜焦耳热响应行为的功能性复合膜及制备方法-CN202310807284.4在审
发明人：潘建新;张陆贤 -专利权人：广德天运新技术股份有限公司
申请日： 2023-07-04 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： C23C16/26 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于CNT薄膜焦耳热响应行为的功能性复合膜及制备方法，功能性复合膜包括有若干层CNT薄膜，CNT薄膜的基底上蒸发沉积有纳米金属膜层，CNT薄膜与纳米金属膜层之间合成设置有金属碳化物层，通过先在CNT薄膜表面涂覆纳米金属颗粒再蒸发沉积而形成纳米金属膜层，最终焦耳热响应合成金属碳化物层；在CNT薄膜的基础上通过焦耳热响应方式蒸发纳米金属颗粒而在CNT薄膜表面形成纳米金属膜，并通过牺牲薄膜骨架碳的方式，在惰性气氛中合成金属碳化物进而获得基于CNT薄膜焦耳热响应行为的功能性复合膜，使复合材料在微观上具有极佳的阻滞裂纹扩展的能力，因而提高了其抗弯折疲劳性能，同时，CNT薄膜在微观上形成了高导电通道，显著提高材料的导电导热性。
基于 cnt 薄膜焦耳响应行为功能复合制备方法

[发明专利]用于临近催化化学气相沉积的装置和方法-CN201711296987.6有效
发明人：郭国平;杨晖;李海欧;曹刚;郭光灿 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2017-12-08 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： C23C16/26 文献下载
摘要：本申请提供用于临近催化化学气相沉积的装置及方法，所述装置包括：在竖直方向上设置的上加热器和下加热器；用于控制它们升降的电机；在下加热器表面上的用于安放基底的样品台；在样品台和上加热器之间的水平导轨；和用于安放催化剂的载板，所述载板和所述样品台之间为用于临近催化化学气相沉积的反应区；其中上下加热器用于对反应区提供二维材料生长所需的温度。通过利用本发明的装置和方法，可以使得在催化剂表面催化得到的二维材料的活性物质扩散到基底，使得在基底上沉积所需的薄膜；同时可以在不具有催化功能的基底上生长强烈依赖催化剂的二维材料的薄膜或异质结。
用于临近催化化学沉积装置方法

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