专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种直写光刻机控制面板的锁紧机构-CN202021867030.X有效
  • 王群 - 江苏九迪激光装备科技有限公司
  • 2020-09-01 - 2021-04-20 - G03F7/20
  • 本实用新型公开了一种直写光刻机控制面板的锁紧机构,包括光刻机本体和控制箱,所述光刻机本体的正面开设有矩形凹槽,且该矩形凹槽的内顶壁固定连接有第一阻尼转轴,所述第一阻尼转轴的表面固定连接有第一转动套,所述控制箱的上表面固定连接有第二阻尼转轴该直写光刻机控制面板的锁紧机构,通过设置锁紧装置和开关按钮,便于按动开关按钮使线圈带电,同时使硅钢柱的表面带磁并吸引锁紧舌,使该直写光刻机控制面板可以通过锁紧舌的伸缩来锁紧和拉出,从而使操作者在外部维修和操作光刻机控制面板更加的便捷
  • 一种直写式光刻控制面板机构
  • [发明专利]一种激光微熔覆专用设备-CN201010562229.6有效
  • 蔡志祥;曾晓雁;段军;张洁;李祥友;王泽敏 - 华中科技大学
  • 2010-11-26 - 2011-04-13 - C23C24/10
  • 本发明公开了一种激光微熔覆专用设备,该设备包括工作台、激光加工系统和控制系统,其特征在于,该系统还包括CCD监测定位系统和直写系统;CCD监测定位系统包括同轴CCD传感器、旁轴CCD传感器、变焦透镜、成像目镜、变焦光学系统、旁轴成像物镜和外接监视器;直写系统包括微细笔直写装置和微喷直写装置;微细笔直写装置包括支架,导轨、气缸、滑块、活塞杆、千分表、微距调节螺母和微细笔;微喷直写装置包括水浴锅、导气管、微压表和微喷工具;该设备合理设计了激光光路、微喷和微细笔的安装工位及工作方式,将激光加工与微细笔、微喷直写系统集成在同一个工作平台上,实现多种加工手段的优势互补。
  • 一种激光微熔覆专用设备
  • [发明专利]超精密回转轴与激光直写直写光轴空间对准方法-CN200510076827.1有效
  • 谭久彬;刘俭;杨文国;金国良;邱丽蓉;邹丽敏;赵晨光 - 哈尔滨工业大学
  • 2005-06-17 - 2005-10-26 - G02B27/42
  • 本发明公开了一种超精密回转轴与激光直写直写光轴空间对准方法,该方法利用极坐标直写机系统的差动像散离焦检测装置、调焦伺服系统、精密定位机构以及位相光栅,实现回转轴与直写光轴的对准,所述方法包括以下步骤:把测量范围划分成精确测量区和定位测量区,并使定位测量区的分辨率极限值小于精确测量区的范围;借助差动像散离焦检测装置的检焦功能,使光斑处于准焦状态;产生光斑离焦产生轴对准偏离量测量信号;根据对准偏离量测量信号,使直写光轴进入所述定位测量区;测量对准偏离量,借助直写机系统精密定位机构的精密定位功能使光轴移动到所述精确测量区;再次测量对准偏离量,并借助直写机系统精密定位机构的精密定位功能实现最终对准。
  • 精密回转激光直写机直写光轴空间对准方法
  • [发明专利]直写光刻系统和直写光刻方法-CN201911303595.7有效
  • 浦东林;朱鹏飞;朱鸣;邵仁锦;张瑾;王冠楠;陈林森 - 苏州苏大维格科技集团股份有限公司;苏州大学
  • 2019-12-17 - 2023-01-24 - G03F7/20
  • 一种直写光刻系统和直写光刻方法,其中直写光刻系统包括直写光源、运动机构、中央控制器、光斑图形输入装置以及投影光学装置;运动机构用于带动投影光学装置沿预设路径扫描,并用于发出参考点的位置数据;中央控制器用于根据位置数据读取光斑图形文件序列中对应的光斑图像数据;光斑图形输入装置用于根据光斑图像数据将直写光源提供的起始光束调制生成图形光;投影光学装置用于根据图形光向光刻件的表面投影出变形光斑,并在运动机构的带动下沿预设路径扫描,在扫描过程中光斑图像数据随位置数据而变化本发明的直写光刻系统和直写光刻方法实现了复杂表面三维形貌结构的无掩模灰度光刻,并提高了光刻精度和光刻效率。
  • 光刻系统方法

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