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[发明专利]带有ITO屏蔽层的光学双模压模组封装工艺-CN202310888478.1在审
发明人：余启川;王吉;张勇庆 -专利权人： 美迪凯（浙江）智能光电科技有限公司
申请日： 2023-07-19 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H01S5/0235 文献下载
摘要：本发明公开了一种带有ITO屏蔽层的光学双模压模组封装工艺，是一种产品集成度更高、封装尺寸更小、翘曲控制较好的传感器双模压模组封装技术。本发明ITO抗电磁干扰层与PCB相连并集成于封装材料中，产品封装层占用空间较小，从而产品设计尺寸较小、较薄；从安全角度考量，如果此结构封装的传感器在产品使用过程中发现异常现象，因为ITO层与底部PCB层接地导线相连，系统会自动断电，切断模组发射光源，保护使用者的安全；采用晶圆级光学封装方式，整个工艺流程易管控，出片系数高、UPH较高、成本较低；模组结构小、厚度薄，节省系统的组装空间。
带有 ito 屏蔽光学双模模组封装工艺

[发明专利]一种在光漫反射基板上镀红外截止滤光涂层的工艺-CN202310364663.0在审
发明人：余启川;王吉;张勇庆;夏利敏 -专利权人： 美迪凯（浙江）智能光电科技有限公司
申请日： 2023-04-07 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： G02B5/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种在光漫反射基板上镀红外截止滤光涂层的工艺。通过本发明工艺成型的带有光漫反射层的红外截止滤波单片整体厚度小于100微米，大大减少整个组件的厚度，从而帮助减小了整个环境光传感器的模组厚度；本发明形成产品的光漫反射晶圆基板和红外截止滤光涂层的热膨胀系数和杨氏模量接近，材料可经过热回流工艺和产品可靠性测试，因此适应于后道工序有回流焊的模组组装产品；本发明缩减了工艺流程，可以减少工艺成本，提高产品良率，增强产品可靠性及稳定性；本发明环氧材料中加入了特制具有散射效果的透明颗粒，使得接受光信号的入射角呈现出余弦的曲线形状，达到最佳和最有效的光信号接受视角范围。
一种漫反射基板上镀红外截止滤光涂层工艺

[发明专利]一种具有抗反射作用的纳米绒微结构的制作工艺-CN202310318271.0在审
发明人：余启川;王吉;李涛;夏利敏 -专利权人： 美迪凯（浙江）智能光电科技有限公司
申请日： 2023-03-29 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G02B1/11 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有抗反射作用的纳米绒微结构的制作工艺。该具有抗反射作用的纳米绒微结构的制作工艺通过在母板的镜片表面上制作纳米绒微结构，再通过压纹模压的方式复制带有抗反射纳米绒微结构的光学镜头晶圆，使本发明得到的纳米绒微结构与光学镜头是同一种材料，热膨胀系数和杨氏模量相同。因此，在产品通过高低温冲击、高温高湿等可靠性试验时，整个产品更稳定，更容易通过可靠性试验。另外，整个光学模组可通过热回流工艺流程而不造成AR功效的丧失。
一种具有反射作用纳米微结构制作工艺

[实用新型]一种新型激光切割治具-CN202320144919.2有效
发明人：王伟;储智远;余启川;王吉;夏利敏 -专利权人： 美迪凯（浙江）智能光电科技有限公司
申请日： 2023-02-07 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： B23K26/38 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型激光切割治具，包括治具本体，治具本体表面设置有切割槽，切割槽内均匀排列分布有多排等高设置的支撑柱，各支撑柱间形成切割道，每个支撑柱的顶面中心开设有真空吸附孔，治具本体背面开设有真空吸附通道，真空吸附通道连通各真空吸附孔，真空吸附通道连接真空吸附泵。本实用新型根据产品切割图纸，相应设计及排布支撑柱的大小和间距，支撑柱的大小形状根据产品形状内缩而来，从而使得在切割过程中，使得玻璃在切割过程中处于腾空状态，从而避免玻璃被激光灼烧现象；解决了传统的覆膜切割和直接放置在载台上切割，在切割产品时，造成产品的烧膜及脏污等缺陷，严重影响生产的良率的问题，提升产品的良率。
一种新型激光切割

[发明专利]MEMS器件防电磁串扰封装工艺-CN202211419606.X在审
发明人：余启川;张勇庆;王吉;夏利敏;王伟 -专利权人： 美迪凯（浙江）智能光电科技有限公司
申请日： 2022-11-14 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种MEMS器件防电磁串扰封装工艺，使产品集成度更高、封装尺寸更小、翘曲控制更好。通过本发明工艺得到的产品，防电磁干扰层集成于黑色挡光材料中，产品封装层占用空间较小，从而产品设计尺寸较小、较薄；本发明工艺采用晶圆级封装方式，整个工艺流程易管控，UPH较高；本发明工艺得到产品的芯片由胶液完全包裹塑封，因而产品可靠性及稳定性较高。
mems 器件电磁封装工艺

[发明专利]MEMS器件光学穿孔封装工艺-CN202211419595.5在审
发明人：王吉;张勇庆;夏利敏;王伟 -专利权人： 美迪凯（浙江）智能光电科技有限公司
申请日： 2022-11-14 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于OTEV技术的晶圆级三维集成MEMS器件光学穿孔封装工艺，具有更高的互连密度、更小的间距、更小的封装尺寸和厚度、更好的翘曲控制、更低的工具成本，具有天然的集成化优势。本发明工艺得到的MEMS器件产品的集成度高，该技术采用3合1的晶圆级制造方法，将产品的光学光路部分、导线线路和封装部分集成于一体；工艺可实现标准化、大批量生产，同时工艺步骤简单、成本较低；本发明得到的整个MEMS器件产品尺寸较小、厚度较低；整个MEMS器件产品无PCB、无焊线，因此结构更紧凑、性能更稳定；该技术采用的几种封装材料热膨胀系数一致，封装后各材料之间内应力低，产品可靠性及稳定性较高。
mems 器件光学穿孔封装工艺

[实用新型]晶圆级压印生物识别滤光片-CN202222780846.4有效
发明人：余启川;张勇庆;王吉;夏利敏;王伟 -专利权人： 美迪凯（浙江）智能光电科技有限公司
申请日： 2022-10-21 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： G02B5/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆级压印生物识别滤光片，包括玻璃基板、光学镀膜层A、光学镀膜层B、光学镜头A、光学镜头B、遮挡层和分隔层。本实用新型的光学镜头A和光学镜头B由透明环氧树脂点胶后通过模具与镀膜玻璃单体一体压印成型，制作方便；产品尺寸设计可小型化，厚度较低；遮挡层和分隔层由黑色环氧树脂通过模具一体注胶成型，并通过模具与光学镜头A、光学镜头B和镀膜玻璃单体一体融合固定，产品的工艺制成简化，产能提高，可直接组装到传感器模组中，无需增加外盖用于防止外界光路串扰。
晶圆级压印生物识别滤光

[实用新型]玻璃基板镀膜夹治具-CN202222251359.9有效
发明人：王晓刚;王伟;夏利敏;余启川;王吉 -专利权人： 美迪凯（浙江）智能光电科技有限公司
申请日： 2022-08-26 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种玻璃基板镀膜夹治具，包括具有磁吸附功能的夹具盖板和夹具底板，所述夹具底板中心设置有玻璃基板安置孔，夹具盖板中心设置有玻璃基板加工口，夹具盖板上位于玻璃基板加工口内侧设置有一圈玻璃基板外沿压紧环，玻璃基板外沿压紧环和玻璃基板安置孔内形成玻璃基板安置槽。本实用新型玻璃基板安置槽的厚度小于玻璃基板的厚度，玻璃基板外沿通过磁铁结构吸附夹具盖板压紧，吸附力均匀，长时间镀膜不容易产生翘曲，且不会因为压力过大压碎玻璃基板；夹具盖板和夹具底板的内圆与上下端面间连接处采用圆角设计，在压紧玻璃基板产品时不会产生应力集中，从而大大降低玻璃基板产品惊裂。
玻璃镀膜夹治具

[发明专利]光学玻璃重组母板制备工艺-CN202211029119.2在审
发明人：余启川;王吉;张勇庆;王伟;夏利敏 -专利权人： 美迪凯（浙江）智能光电科技有限公司
申请日： 2022-08-26 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种光学玻璃重组母板制备工艺。本发明使用压纹工艺技术和玻璃镜片重组技术制作的母板结合了光学镜片，垫片及遮挡层构造为一体。而且应用玻璃镜片直接制造出光学镜片母板也会降低镜头形状的误差性和增加光学镜片母板性能的稳定性及均匀性；本发明光学玻璃重组母板制备工艺降低了制作成本，简化了制作工艺，制作出的母板应用可大批量生产出高精度的光学模组。
光学玻璃重组母板制备工艺

[实用新型]晶圆级复合压印光学模组-CN202221733756.3有效
发明人：余启川;王吉;张勇庆 -专利权人： 美迪凯（浙江）智能光电科技有限公司
申请日： 2022-07-07 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： G02B13/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆级复合压印光学模组，包括多组光学镜头，每组光学镜头由透明环氧树脂通过模具一体注塑成型，相邻每组光学镜头的两边之间固定连接有玻璃间隔层，末组光学镜头底部的两边上也连接有玻璃间隔层，多组光学镜头和玻璃间隔层两侧上分别喷涂黑色胶液涂层。该晶圆级复合压印光学模组为采用玻塑混合的方式的晶圆级压印光学模组，相对传统纯玻璃镜头模组结构，产品尺寸设计可小型化；相对于纯塑料镜头模组，使用玻璃间隔层可以提高对焦精度，从而提高成像清晰度，降低失真率；每组光学镜头采用双面镜头一次成型，模具设计灵活；产品尺寸设计可小型化，与光学元件的键合可以在晶圆级完成，工艺较简化、产能较高；应用较广泛。
晶圆级复合压印光学模组

[发明专利]用感光材料制作的母板制作子模板再制作工作模具的工艺-CN202210792704.1在审
发明人：余启川;张勇庆;王吉 -专利权人： 美迪凯（浙江）智能光电科技有限公司
申请日： 2022-07-07 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：本发明公开了本发明提供了一种使用感光材料制作的母板来制作子模板再制作工作模具的工艺，该工艺技术提高了模板制造工作模具的寿命。大大降低了生产成本并提高工作模具的稳定性以提升产品良率。此工艺是一种适合大批量生产且制程新颖、简易、成本低廉的工作模具制作流程工艺。
感光材料制作母板模板工作模具工艺

[实用新型]晶圆级压印光学模组-CN202220187743.4有效
发明人：王吉;余启川 -专利权人： 美迪凯（浙江）智能光电科技有限公司
申请日： 2022-01-24 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： B29C45/33 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆级压印光学模组，包括多组光学镜头，每组光学镜头包括A面镜头、B面镜头、遮挡层和分隔层，A面镜头和B面镜头由透明环氧树脂通过模具一体压印成型，遮挡层和分隔层由黑色环氧树脂通过模具一体注胶成型，遮挡层和分隔层包覆A面镜头和B面镜头的外沿一圈过模具一体融合固定，多组光学镜头间通过在遮挡层和分隔层间添加粘结胶键合而成。本实用新型每组光学镜头的双面镜头通过液态注胶模式一次成型，胶液流动性好，因而产品模具较少局限，模具设计灵活；产品尺寸设计可小型化；产品的工艺制成简化，产能提高，与光学元件的键合可以在晶圆级完成，应用较广泛，光学设计多元化。
晶圆级压印光学模组

[发明专利]一种晶圆级光学复合滤波片压印工艺-CN202210485487.1在审
发明人：余启川;王吉;张勇庆 -专利权人： 美迪凯（浙江）智能光电科技有限公司
申请日： 2022-05-06 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： H01L31/0216 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆级光学复合滤波片压印工艺。本发明晶圆级光学复合滤波片压印工艺采用玻璃基板上下表面镀膜并切割成单体结合注胶模具注胶成型的工艺，工艺步骤简易，工艺成本低，且制作完成的复合滤波片的整体厚度较薄，尺寸精小，对下游器件的组装提供了更多安装空间，提高产品的可靠性。
一种晶圆级光学复合滤波压印工艺

[实用新型]一种旋涂工艺涂胶夹具-CN202220828898.1有效
发明人：李涛;余启川;王吉;王伟 -专利权人： 美迪凯（浙江）智能光电科技有限公司
申请日： 2022-04-12 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： B05C13/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种旋涂工艺涂胶夹具，包括夹具座，夹具座上向内凹陷设置有基板安置槽，基板安置槽的形状尺寸与待加工基板形状尺寸配合，夹具座上基板安置槽内设置有与吸附平台配合的一圈定位标记线，夹具座上定位标记线外沿定位标记线均匀设置有多个与定位标记线相切的定位孔，定位孔固定连接有向下凸出设置的定位柱，夹具座上定位标记线内对应吸附平台的真空口设置有多个真空吸附通道。通过该旋涂工艺涂胶夹具的设置，针对不同形状尺寸的基板进行旋涂工艺时只需要更换对应夹具座，更换方便快捷，更换成本低，节约成本。且夹具座和吸附平台卡合安装方便，效率高。
一种工艺涂胶夹具

[实用新型]一种晶圆级点胶装置-CN202221140695.X有效
发明人：张勇庆;余启川;王吉 -专利权人： 美迪凯（浙江）智能光电科技有限公司
申请日： 2022-05-13 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： B05C1/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆级点胶装置，包括上模和下模，上模和下模间设置有对位结构，上模和下模通过对位结构对位合并，上模底部安装有浸渍模具，浸渍模具上对应工件的点胶点分别对应设置有点胶凸起，下模上对位浸渍模具设置有安置位，安置位上可对位安置托盘和工件，托盘上对应点胶凸起设置有填胶口，填胶口内填充有胶液，托盘安置在下模上，上模和下模合并时，点胶凸起接触胶液，工件安置在下模上，上模和下模合并时，点胶凸起接触工件上点胶点。本实用新型设计了一种晶圆级点胶装置，制作简单，成本低，一次性完成所有点胶点的点胶，点胶效率高；点胶时间短，提高点胶的均匀性。
一种晶圆级点胶装置

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